2025-02-23T12:23:25-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-104167%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T12:23:25-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-104167%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T12:23:25-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T12:23:25-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Влияние постоянного отрицательного потенциала смещения на структуру, субструктуру и напряжённо-деформированное состояние TiN-покрытий

Влияние постоянного отрицательного потенциала смещения на структуру, субструктуру и напряжённо-деформированное состояние TiN-покрытий

Установлены закономерности влияния подаваемого на подложку во время осаждения отрицательного потенциала смещения с абсолютной величиной 5—230 В при двух рабочих давлениях азотной атмосферы 2∙10⁻³ и 5∙10⁻³ торр на изменения фазового состава, структуры, субструктурных характеристик и напряжённо-деформ...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Соболь, О.В., Андреев, А.А., Григорьев, С.Н., Волосова, М.А., Столбовой, В.А., Фильчиков, В.Е., Киданова, Н.В., Антоненкова, Г.В., Черкасова, Н.Ю.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2013
Series:Металлофизика и новейшие технологии
Subjects:
Металлические поверхности и плёнки
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/104167
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Description
Summary:Установлены закономерности влияния подаваемого на подложку во время осаждения отрицательного потенциала смещения с абсолютной величиной 5—230 В при двух рабочих давлениях азотной атмосферы 2∙10⁻³ и 5∙10⁻³ торр на изменения фазового состава, структуры, субструктурных характеристик и напряжённо-деформированных состояний вакуумно-дуговых TiN-покрытий.

Similar Items