Изменение структуры и оптических свойств многослойных рентгеновских зеркал C/Si при нагреве
Проведено исследование влияния отжига в диапазоне 300—1050°С на структуру и рентгенооптические свойства многослойных наноразмерных рентгеновских зеркал C/Si.
Збережено в:
| Дата: | 2013 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2013
|
| Назва видання: | Металлофизика и новейшие технологии |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/104170 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Изменение структуры и оптических свойств многослойных рентгеновских зеркал C/Si при нагреве / И.А. Журавель, Е.А. Бугаев, Д.Л. Воронов, В.В. Кондратенко // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 7. — С. 981-991. — Бібліогр.: 24 назв. — рос. |