Квазиоптическое масштабное моделирование влияния локализованных дефектов поверхности металлов на данные оптической эллипсометрии

• Datum: 2014
• Hauptverfasser: Беляева, А.И., Галуза, A.A., Киселев, В.К., Коленов, И.В., Савченко, А.А., Кулешов, Е.М., Серебрянский, С.Ю.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Інститут радіофізики і електроніки ім. А.Я. Усикова НАН України 2014
• Schriftenreihe: Радіофізика та електроніка
• Schlagworte: Микроволновая и терагерцевая техника
• Online Zugang: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/106053
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Квазиоптическое масштабное моделирование влияния локализованных дефектов поверхности металлов на данные оптической эллипсометрии / А.И. Беляева, A.A. Галуза, В.К. Киселев, И.В. Коленов, А.А. Савченко, Е.М. Кулешов, С.Ю. Серебрянский // Радіофізика та електроніка. — 2014. — Т. 5(19), № 1. — С. 66-73. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Ранее было выдвинуто предположение, что локализованные дефекты при определенных условиях могут не влиять на эллипсометрические данные. Целью работы является проверка этой гипотезы путем проведения систематических исследований влияния дефектов в форме параллелепипедов различных размеров на эллипсомет...