Розмірна залежність механічних напружень у металічних конденсатах на кремнії
В роботі експериментально досліджено зовнішній і внутрішній розмірні ефекти, що реалізуються у внутрішніх (власних) і термічних напруженнях мідних конденсатів на підложжях монокристалічного кремнію. Вивчено поведінку максимальних внутрішніх напружень зі зміною товщини плівки та швидкости осадження....
Збережено в:
| Дата: | 2014 |
|---|---|
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian |
| Опубліковано: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2014
|
| Назва видання: | Металлофизика и новейшие технологии |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/106999 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Розмірна залежність механічних напружень у металічних конденсатах на кремнії / Б.П. Коман, В.М. Юзевич // Металлофизика и новейшие технологии. — 2014. — Т. 36, № 8. — С. 1113-1128. — Бібліогр.: 27 назв. — укр. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-106999 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1069992016-10-11T03:02:24Z Розмірна залежність механічних напружень у металічних конденсатах на кремнії Коман, Б.П. Юзевич, В.М. Металлические поверхности и плёнки В роботі експериментально досліджено зовнішній і внутрішній розмірні ефекти, що реалізуються у внутрішніх (власних) і термічних напруженнях мідних конденсатів на підложжях монокристалічного кремнію. Вивчено поведінку максимальних внутрішніх напружень зі зміною товщини плівки та швидкости осадження. Формування внутрішніх напружень пояснюється з позиції міжфазної взаємодії в системі конденсат—підложжя та в структурі конденсату. Показано, що процес конденсації металу на підложжя супроводжується орієнтаційною зміною енергетичних параметрів міжфазної взаємодії: міжфазної енергії, міжфазного натягу, енергії адгезійних зв’язків і роботи адгезії на стадіях наноконденсату (поверхня кремнію—металічний наноконденсат) і суцільної плівки (попередній шар—наступний шар). Досліджено вплив розмірної залежности механічних параметрів плівки на термічну компоненту механічних напружень. В работе экспериментально исследованы внешний и внутренний размерные эффекты, реализуемые во внутренних (собственных) и термических напряжениях медных конденсатов на подложках монокристаллического кремния. Изучено поведение максимальных внутренних напряжений с изменением толщины плёнки и скорости осаждения. Формирование внутренних напряжений объясняется с позиции межфазного взаимодействия в системе конденсат—подложка и в структуре конденсата. Показано, что процесс конденсации металла на подложку сопровождается ориентационным изменением энергетических параметров межфазного взаимодействия: межфазной энергии, межфазного натяжения, энергии адгезионных связей и работы адгезии на стадиях наноконденсата (поверхность кремния—металлический наноконденсат) и сплошной плёнки (предыдущий слой—следующий слой). Исследовано влияние размерной зависимости механических параметров плёнки на термическую компоненту механических напряжений. This paper experimentally examines the external and internal size effects implemented in the internal (intrinsic) and thermal stresses of copper condensates on the silicon single-crystal substrates. The behaviours of maximum tension with changing film thickness and deposition rate are studied. Formation of internal stresses is caused by the position of the interfacial interaction in the condensate system—substrate and the very structure of the condensate. As shown, the process of condensation on the metal substrate is accompanied by a change in orientation of interfacial interaction energy parameters: interfacial energy, interfacial tension, adhesion-bonds’ energy, and work of adhesion at the nanocondensate stages (silicon surface—metallic nanocondensate) and continuous film (previous layer—next layer). The influence of the size dependence of film mechanical parameters on the thermal component of mechanical stress is investigated. 2014 Article Розмірна залежність механічних напружень у металічних конденсатах на кремнії / Б.П. Коман, В.М. Юзевич // Металлофизика и новейшие технологии. — 2014. — Т. 36, № 8. — С. 1113-1128. — Бібліогр.: 27 назв. — укр. 1024-1809 PACS: 68.35.bd, 68.35.Gy, 68.35.Md, 68.35.Np, 68.55.J-, 81.07.Bc, 81.15.Gh DOI: http://dx.doi.org/10.15407/mfint.36.08.1113 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/106999 uk Металлофизика и новейшие технологии Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Ukrainian |
| topic |
Металлические поверхности и плёнки Металлические поверхности и плёнки |
| spellingShingle |
Металлические поверхности и плёнки Металлические поверхности и плёнки Коман, Б.П. Юзевич, В.М. Розмірна залежність механічних напружень у металічних конденсатах на кремнії Металлофизика и новейшие технологии |
| description |
В роботі експериментально досліджено зовнішній і внутрішній розмірні ефекти, що реалізуються у внутрішніх (власних) і термічних напруженнях мідних конденсатів на підложжях монокристалічного кремнію. Вивчено поведінку максимальних внутрішніх напружень зі зміною товщини плівки та швидкости осадження. Формування внутрішніх напружень пояснюється з позиції міжфазної взаємодії в системі конденсат—підложжя та в структурі конденсату. Показано, що процес конденсації металу на підложжя супроводжується орієнтаційною зміною енергетичних параметрів міжфазної взаємодії: міжфазної енергії, міжфазного натягу, енергії адгезійних зв’язків і роботи адгезії на стадіях наноконденсату (поверхня кремнію—металічний наноконденсат) і суцільної плівки (попередній шар—наступний шар). Досліджено вплив розмірної залежности механічних параметрів плівки на термічну компоненту механічних напружень. |
| format |
Article |
| author |
Коман, Б.П. Юзевич, В.М. |
| author_facet |
Коман, Б.П. Юзевич, В.М. |
| author_sort |
Коман, Б.П. |
| title |
Розмірна залежність механічних напружень у металічних конденсатах на кремнії |
| title_short |
Розмірна залежність механічних напружень у металічних конденсатах на кремнії |
| title_full |
Розмірна залежність механічних напружень у металічних конденсатах на кремнії |
| title_fullStr |
Розмірна залежність механічних напружень у металічних конденсатах на кремнії |
| title_full_unstemmed |
Розмірна залежність механічних напружень у металічних конденсатах на кремнії |
| title_sort |
розмірна залежність механічних напружень у металічних конденсатах на кремнії |
| publisher |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| publishDate |
2014 |
| topic_facet |
Металлические поверхности и плёнки |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/106999 |
| citation_txt |
Розмірна залежність механічних напружень у металічних конденсатах на кремнії / Б.П. Коман, В.М. Юзевич // Металлофизика и новейшие технологии. — 2014. — Т. 36, № 8. — С. 1113-1128. — Бібліогр.: 27 назв. — укр. |
| series |
Металлофизика и новейшие технологии |
| work_keys_str_mv |
AT komanbp rozmírnazaležnístʹmehaníčnihnapruženʹumetalíčnihkondensatahnakremníí AT ûzevičvm rozmírnazaležnístʹmehaníčnihnapruženʹumetalíčnihkondensatahnakremníí |
| first_indexed |
2023-10-18T20:14:11Z |
| last_indexed |
2023-10-18T20:14:11Z |
| _version_ |
1796149329491132416 |