Зависимость структурных свойств SBT-плёнок от температуры синтеза

Золь—гель-методом синтезированы плёнки с общей формулой SrBi₂Ta₂O₉ (SBT-плёнки). При формировании SBT-плёнок применялась методика послойного нанесения золя методом центрифугирования с последующей термообработкой каждого слоя при температуре 300°C в течение 5 минут. В качестве подложки использовали м...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2014
Автори:	Сидский, В.В., Рыбаков, А.Г., Семченко, А.В., Осипова, И.Ю., Колос, В.В., Турцевич, А.С., Асадчий, А.Н.
Формат:	Стаття
Мова:	Russian
Опубліковано:	Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2014
Назва видання:	Металлофизика и новейшие технологии
Теми:	Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
Онлайн доступ:	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/107023
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Зависимость структурных свойств SBT-плёнок от температуры синтеза / В.В. Сидский, А.Г. Рыбаков, А.В. Семченко, И.Ю. Осипова, В.В. Колос, А.С. Турцевич, А.Н. Асадчий // Металлофизика и новейшие технологии. — 2014. — Т. 36, № 9. — С. 1237-1246. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	irk-123456789-107023
record_format	dspace
spelling	irk-123456789-1070232016-10-12T03:02:21Z Зависимость структурных свойств SBT-плёнок от температуры синтеза Сидский, В.В. Рыбаков, А.Г. Семченко, А.В. Осипова, И.Ю. Колос, В.В. Турцевич, А.С. Асадчий, А.Н. Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов Золь—гель-методом синтезированы плёнки с общей формулой SrBi₂Ta₂O₉ (SBT-плёнки). При формировании SBT-плёнок применялась методика послойного нанесения золя методом центрифугирования с последующей термообработкой каждого слоя при температуре 300°C в течение 5 минут. В качестве подложки использовали монокристаллический кремний с платиновым подслоем. Результаты рентгеновских исследований показывают, что при получении SBT-плёнок золь—гель-методом формирование фазы перовскита начинается при температуре 700°C и завершается в диапазоне 750—800°C. Исследование морфологии поверхности методом атомно-силовой микроскопии показало, что при термообработке в атмосфере кислорода при 750°C наблюдается более равномерное распределение зёрен по размерам. Полученная золь—гель-методом SBT-плёнка, отожжённая при температуре 750°C в течение 60 минут, имеет максимальный пик диэлектрической проницаемости на частоте 100 Гц при температуре Кюри Tk = 300—370°C, что свидетельствует о сегнетоэлектрических переходах в парафазе. Золь—ґель-методою синтезовано плівки з загальною формулою SrBi₂Ta₂O₉ (SBT-плівки). При формуванні SBT-плівок застосовувалася методика пошарового нанесення золю методою центрифуґування з подальшою термообробкою кожного шару при температурі 300°C протягом 5 хвилин. Як підложжя використовували монокристалічний кремній з платиновим підшаром. Результати Рентґенівських досліджень показують, що при одержанні SBT-плівок золь—ґель-методою формування фази перовськіту починається при температурі 700°C та завершується в діяпазоні 750— 800°C. Дослідження морфології поверхні методою атомно-силової мікроскопії показало, що при термообробці в атмосфері кисню при 750°C спостерігається більш рівномірний розподіл зерен за розмірами. Одержана золь—ґель-методою SBT-плівка, що піддавалася відпалу при температурі 750°C протягом 60 хвилин, має максимальний пік діелектричної проникности на частоті 100 Гц при температурі Кюрі Tk = 300—370°C, що свідчить про сеґнетоелектричні переходи в парафазі. Sol—gel SrBi₂Ta₂O₉ films (SBT films) are synthesized and their properties are investigated. Sol—gel SBT films are layered by centrifugation with following heat treatment of each layer at the temperature of 300°C during 5 minutes. Monocrystalline silicon with a platinum sublayer is used as a substrate. The results of X-ray studies show that, in the fabrication of SBT films by sol—gel method, the perovskite-phase formation begins at 700°C, and it is completed at 750—800°C. During the heat treatment at 750°C in oxygen atmosphere, more uniform distribution of the grain sizes over the surface is observed by atomic force microscopy. Sol—gel SBT films annealed at 750°C for 60 minutes have the dielectric constant maximum at 100 Hz at the Curie temperature Tk = 300—370°C, showing the ferroelectric transitions in the paraelectric phase. 2014 Article Зависимость структурных свойств SBT-плёнок от температуры синтеза / В.В. Сидский, А.Г. Рыбаков, А.В. Семченко, И.Ю. Осипова, В.В. Колос, А.С. Турцевич, А.Н. Асадчий // Металлофизика и новейшие технологии. — 2014. — Т. 36, № 9. — С. 1237-1246. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. 1024-1809 PACS: 68.37.Ps, 68.55.J-, 68.55.Nq, 77.55.fb, 81.20.Fw, 81.40.Ef, 81.40.Tv DOI: http://dx.doi.org/10.15407/mfint.36.09.1237 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/107023 ru Металлофизика и новейшие технологии Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
language	Russian
topic	Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
spellingShingle	Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов Сидский, В.В. Рыбаков, А.Г. Семченко, А.В. Осипова, И.Ю. Колос, В.В. Турцевич, А.С. Асадчий, А.Н. Зависимость структурных свойств SBT-плёнок от температуры синтеза Металлофизика и новейшие технологии
description	Золь—гель-методом синтезированы плёнки с общей формулой SrBi₂Ta₂O₉ (SBT-плёнки). При формировании SBT-плёнок применялась методика послойного нанесения золя методом центрифугирования с последующей термообработкой каждого слоя при температуре 300°C в течение 5 минут. В качестве подложки использовали монокристаллический кремний с платиновым подслоем. Результаты рентгеновских исследований показывают, что при получении SBT-плёнок золь—гель-методом формирование фазы перовскита начинается при температуре 700°C и завершается в диапазоне 750—800°C. Исследование морфологии поверхности методом атомно-силовой микроскопии показало, что при термообработке в атмосфере кислорода при 750°C наблюдается более равномерное распределение зёрен по размерам. Полученная золь—гель-методом SBT-плёнка, отожжённая при температуре 750°C в течение 60 минут, имеет максимальный пик диэлектрической проницаемости на частоте 100 Гц при температуре Кюри Tk = 300—370°C, что свидетельствует о сегнетоэлектрических переходах в парафазе.
format	Article
author	Сидский, В.В. Рыбаков, А.Г. Семченко, А.В. Осипова, И.Ю. Колос, В.В. Турцевич, А.С. Асадчий, А.Н.
author_facet	Сидский, В.В. Рыбаков, А.Г. Семченко, А.В. Осипова, И.Ю. Колос, В.В. Турцевич, А.С. Асадчий, А.Н.
author_sort	Сидский, В.В.
title	Зависимость структурных свойств SBT-плёнок от температуры синтеза
title_short	Зависимость структурных свойств SBT-плёнок от температуры синтеза
title_full	Зависимость структурных свойств SBT-плёнок от температуры синтеза
title_fullStr	Зависимость структурных свойств SBT-плёнок от температуры синтеза
title_full_unstemmed	Зависимость структурных свойств SBT-плёнок от температуры синтеза
title_sort	зависимость структурных свойств sbt-плёнок от температуры синтеза
publisher	Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
publishDate	2014
topic_facet	Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
url	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/107023
citation_txt	Зависимость структурных свойств SBT-плёнок от температуры синтеза / В.В. Сидский, А.Г. Рыбаков, А.В. Семченко, И.Ю. Осипова, В.В. Колос, А.С. Турцевич, А.Н. Асадчий // Металлофизика и новейшие технологии. — 2014. — Т. 36, № 9. — С. 1237-1246. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.
series	Металлофизика и новейшие технологии
work_keys_str_mv	AT sidskijvv zavisimostʹstrukturnyhsvojstvsbtplënokottemperaturysinteza AT rybakovag zavisimostʹstrukturnyhsvojstvsbtplënokottemperaturysinteza AT semčenkoav zavisimostʹstrukturnyhsvojstvsbtplënokottemperaturysinteza AT osipovaiû zavisimostʹstrukturnyhsvojstvsbtplënokottemperaturysinteza AT kolosvv zavisimostʹstrukturnyhsvojstvsbtplënokottemperaturysinteza AT turcevičas zavisimostʹstrukturnyhsvojstvsbtplënokottemperaturysinteza AT asadčijan zavisimostʹstrukturnyhsvojstvsbtplënokottemperaturysinteza
first_indexed	2025-07-07T19:23:39Z
last_indexed	2025-07-07T19:23:39Z
_version_	1837017302193668096
fulltext	1237 PACS numbers:68.37.Ps, 68.55.J-,68.55.Nq,77.55.fb,81.20.Fw,81.40.Ef, 81.40.Tv Зависимость структурных свойств SBT-плёнок от температуры синтеза В. В. Сидский, А. Г. Рыбаков, А. В. Семченко, И. Ю. Осипова, В. В. Колос , А. С. Турцевич , А. Н. Асадчий * УО «Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины», ул. Советская, 104, 246019 Гомель, Беларусь *ОАО «Интеграл», ул. Корженевского, 12, 220108 Минск, Беларусь Золь—гель-методом синтезированы плёнки с общей формулой SrBi2Ta2O9 (SBT-плёнки). При формировании SBT-плёнок применялась методика послойного нанесения золя методом центрифугирования с последующей термообработкой каждого слоя при температуре 300С в течение 5 минут. В качестве подложки использовали монокристаллический кремний с платиновым подслоем. Результаты рентгеновских исследований показы- вают, что при получении SBT-плёнок золь—гель-методом формирование фазы перовскита начинается при температуре 700C и завершается в диа- пазоне 750—800C. Исследование морфологии поверхности методом атом- но-силовой микроскопии показало, что при термообработке в атмосфере кислорода при 750С наблюдается более равномерное распределение зёрен по размерам. Полученная золь—гель-методом SBT-плёнка, отожжённая при температуре 750С в течение 60 минут, имеет максимальный пик ди- электрической проницаемости на частоте 100 Гц при температуре Кюри ТК  300—370С, что свидетельствует о сегнетоэлектрических переходах в парафазе. Золь—ґель-методою синтезовано плівки з загальною формулою SrBi2Ta2O9 (SBT-плівки). При формуванні SBT-плівок застосовувалася методика по- шарового нанесення золю методою центрифуґування з подальшою термо- обробкою кожного шару при температурі 300С протягом 5 хвилин. Як підложжя використовували монокристалічний кремній з платиновим підшаром. Результати Рентґенівських досліджень показують, що при одержанні SBT-плівок золь—ґель-методою формування фази перовськіту починається при температурі 700С та завершується в діяпазоні 750— 800С. Дослідження морфології поверхні методою атомно-силової мікро- скопії показало, що при термообробці в атмосфері кисню при 750С спо- Металлофиз. новейшие технол. / Metallofiz. Noveishie Tekhnol. 2014, т. 36, № 9, сс. 1237—1246 Оттиски доступны непосредственно от издателя Фотокопирование разрешено только в соответствии с лицензией 2014 ИМФ (Институт металлофизики им. Г. В. Курдюмова НАН Украины) Напечатано в Украине. 1238 В. В. СИДСКИЙ, А. Г. РЫБАКОВ, А. В. СЕМЧЕНКО и др. стерігається більш рівномірний розподіл зерен за розмірами. Одержана золь—ґель-методою SBT-плівка, що піддавалася відпалу при температурі 750С протягом 60 хвилин, має максимальний пік діелектричної проник- ности на частоті 100 Гц при температурі Кюрі ТК  300—370С, що свід- чить про сеґнетоелектричні переходи в парафазі. Sol—gel SrBi2Ta2O9 films (SBT films) are synthesized and their properties are investigated. Sol—gel SBT films are layered by centrifugation with following heat treatment of each layer at the temperature of 300C during 5 minutes. Monocrystalline silicon with a platinum sublayer is used as a substrate. The results of X-ray studies show that, in the fabrication of SBT films by sol—gel method, the perovskite-phase formation begins at 700C, and it is completed at 750—800C. During the heat treatment at 750C in oxygen atmosphere, more uniform distribution of the grain sizes over the surface is observed by atomic force microscopy. Sol—gel SBT films annealed at 750C for 60 minutes have the dielectric constant maximum at 100 Hz at the Curie temperature TC  300—370С, showing the ferroelectric transitions in the paraelectric phase. Ключевые слова: SBT-плёнка, перовскит, сегнетоэлектрик, золь, термо- обработка, золь—гель-метод, рентгеноструктурный анализ, атомно-сило- вая микроскопия. (Получено 21 ноября 2013 г.) 1. ВВЕДЕНИЕ Один из важных параметров синтеза SBT-плёнок, используемых в качестве активных слоёв для энергонезависимой памяти, является температура. С одной стороны она должна быть достаточна для формирования кристаллической структуры перовскита и необхо- димой мобильности ионов, обеспечивающей кристаллизацию мо- нофазного соединения. С другой стороны, увеличение температуры синтеза ведет к повышению подвижности кислорода и образованию дополнительного оксидного слоя [1]. Кроме того, возрастает шеро- ховатость поверхности, а также образуются трещины, пустоты в пленке, что также сопровождается ухудшением сегнетоэлектриче- ских параметров пленок SBT, что является очень существенным фактором для устройств FRAM высокой плотности [2]. В настоящее время наиболее распространенным режимом отжига SBT является термообработка при 800С в течение 1 часа. Частичное замещение стронция кальцием в SBT позволило авторам [3] снизить темпера- туру кристаллизации до 750С. Такие пленки имеют более высокое по сравнению с SBT значение спонтанной поляризации, что, одна- ко, сопровождается увеличением коэрцитивного поля. Исследова- телями [4] получены тонкие пленки сегнетоэлектрических слои- стых материалов SBTN (SrBi2(Ta,Nb)2O9), которые были синтезиро- ЗАВИСИМОСТЬ СТРУКТУРНЫХ СВОЙСТВ SBT-ПЛЁНОК ОТ ТЕМПЕРАТУРЫ 1239 ваны с использованием металлоорганического разложения (MOD– Metal—Organic Decomposition). Дополнительное введение ионов ни- обия позволило авторам понизить температуру кристаллизации до 750С, при этом плёнки, по сравнению с SBT обладают малыми усталостными характеристиками. Авторы [5] дополнительно леги- руют SBTN вольфрамом. По их мнению, дополнительное введение вольфрама в систему SBTN приведёт к улучшению усталостных ха- рактеристик и понижению температуры синтеза. Однако на сего- дняшний день недостаточно хорошо изучено, как повлияет легиро- вание оксидами металла на сегнетоэлектрические свойства матери- ала, а также возможность их контролирования. Поэтому в данной работе остановимся на рассмотрении зависимости структурных свойств SBT-плёнок, не содержащих примесных ионов, от темпера- туры синтеза. Одним из перспективных методов синтеза композиционных ма- териалов, в том числе для использования в качестве конденсатор- ных слоев, является золь—гель-метод, основанный на совместном осаждении гидроксидов металлов с последующей кристаллизацией оксидов при термической обработке. Этот метод достаточно прост и позволяет в широких пределах варьировать свойства получаемых материалов, достигать значительного взаимодействия компонентов и требуемой дисперсности. Золь—гель-технология является гораздо более экономичной и экологически чистой, чем, например, вакуум- ные и плазменные методы напыления тонких пленок. Применение золь—гель-метода для синтеза конденсаторных слоев SBT может обеспечить высокое качество на подложках большой площади при относительно низкой стоимости технологического процесса. 2. МАТЕРИАЛЫ И МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТА Для снижения температуры синтеза необходимо, чтобы состав и пространственное распределение ионов металлов внутри пленки перед последней стадией высокотемпературного синтеза были мак- симально приближены к его кристаллической структуре. В качестве исходных соединений использовались неорганиче- ские соли металлов класса ОСЧ. Молярное соотношение между стронцием, висмутом и танталом составляло 1:2:2. Пленки нанесе- ны на пластины монокристаллического кремния с платиновым подслоем методом центрифугирования с различной частотой вра- щения подложки (500—1000 об/мин). Для достижения требуемой толщины (200—250 нм) применялось послойное нанесение золя (2—3 слоя) с последующей термообработкой каждого слоя при темпера- туре 300С в течение 5 минут. Затем выполняли повторный отжиг, с целью формирования структуры перовскита, в атмосфере кислоро- 1240 В. В. СИДСКИЙ, А. Г. РЫБАКОВ, А. В. СЕМЧЕНКО и др. да при температуре 600—800С в течение 60 мин. На рисунке 1 пред- ставлена схема золь—гель-синтеза плёнок с общей формулой SrBi2Ta2O9. Структурные свойства тонких плёнок SrBi2Ta2O9 в зависимости от температуры синтеза изучали методом атомно-силовой микро- скопии (ACM) SOLVER Pro 47 (производство фирмы «NT-MDT») и методом рентгеноструктурного анализа на дифрактометре ARL X’tra (Thermo Fisher Scientific, Швейцария) в режиме отражения (геометрия Брэгга—Брентано) с использованием CuK1- и K2-излу- чения. Съемка выполнялась методом скользящего падения рентге- новского излучения. Для обработки изображений, полученных на атомно-силовом и электронном микроскопах, использовалась мо- дульная программа анализа данных сканирующей зондовой микро- скопии Gwyddion [6]. Для измерения зависимости диэлектрической проницаемости от температуры используется термостат и измеритель иммитанса Е7- 20. Измеритель иммитанса (RLC) Е7-20 – прецизионный прибор класса точности 0,1 с широким диапазоном рабочих частот 25 Гц — 1 МГц и высокой скоростью измерений до 25 измерений/сек. 3. РЕЗУЛЬТАТЫ И ОБСУЖДЕНИЕ Исследование рентгенограмм пленок SBT (рис. 2), отожженных при различных температурах, показывает, что кристалличность пленок Рис. 1. Блок-схема синтеза золь—гель-методом слоев на основе SrBi2Ta2O9- пленок. ЗАВИСИМОСТЬ СТРУКТУРНЫХ СВОЙСТВ SBT-ПЛЁНОК ОТ ТЕМПЕРАТУРЫ 1241 возрастает с температурой отжига, о чем свидетельствует уменьше- ние полуширины пика (115). Интенсивный узкий пик при 2  28, наблюдаемый при темпе- ратурах отжига образцов 750С и 800С, относится к основному пи- ку (115) фазы SBT, который указывает на образование фазы перов- скита в SBT. Второй узкий пик 2  40 относится к платиновому электроду с ориентацией платины (111). При температуре отжига 600—650С наблюдается начало образо- вания фазы перовскита, о чем свидетельствует появление широкого основного пика (115) и дополнительных (2010), (1113). При темпе- ратуре отжига 650—700С возникает еще одна группа пиков (45   2  50), которая соответствует образованию фазы перовскита. Для образцов, отожженных при температуре 750—800С в течение часа, интенсивность пиков возрастает, что свидетельствует о за- вершении фазового преобразования. При температуре отжига 800С пики фазы перовскита становятся более резкими, что указы- вает на повышение степени кристалличности материала. При тем- пературе обработки выше 700С положения максимумов пиков Рис. 2. Рентгенограммы SBT-плёнок в зависимости от температуры отжига в атмосфере кислорода. 1242 В. В. СИДСКИЙ, А. Г. РЫБАКОВ, А. В. СЕМЧЕНКО и др. сдвигаются вправо, и пики, соответствующие фазе перовскита, ста- новятся доминирующими, а их интенсивность увеличивается. Исследована также морфология поверхности синтезированных золь—гель-методом SBT-плёнок методом атомно-силовой микроско- пии (АСМ) в зависимости от температуры обработки (рис. 3, 4). При исследовании АСМ-изображений можно проследить измене- ние структуры поверхности, а также процесс образования зёрен на поверхности SBT-плёнок в зависимости от температуры обработки. Обработку изображений выполняли с использованием модульной программы анализа данных сканирующей зондовой микроскопии Рис. 3. АСМ-изображение SBT-плёнок в зависимости от температуры от- жига в атмосфере кислорода. ЗАВИСИМОСТЬ СТРУКТУРНЫХ СВОЙСТВ SBT-ПЛЁНОК ОТ ТЕМПЕРАТУРЫ 1243 Gwyddion (рис. 4). Для уменьшения погрешности статистической обработки анализ АСМ-изображений выполняли на площади по- верхности 44 мкм в зависимости от температуры (рис. 5). При увеличении температуры отжига от 650 до 700С наблюдает- ся уменьшение зерна до 97—98 нм и увеличение числа зёрен соот- ветственно. При дальнейшем увеличении температуры отжига до 750—800С, крупные, различные по размерам кристаллические зерна превращаются в мелкие, одинаковые по размерам зерна по- рядка 80 нм (см. табл. 1). Рис. 4. АСМ-изображение SBT-плёнок в зависимости от температуры от- жига в атмосфере кислорода после обработки в модульной программе Gwyddion. 1244 В. В. СИДСКИЙ, А. Г. РЫБАКОВ, А. В. СЕМЧЕНКО и др. Рис. 5. Распределение частиц по размерам SBT-плёнок на площади по- верхности 44 мкм в зависимости от температуры отжига. ТАБЛИЦА 1. Характеристика зёрен SBT-плёнок на площади поверхности 44 мкм в зависимости от температуры отжига. Характеристика Тотж., С 600 650 700 750 800 Число зёрен 432 488 505 765 816 Шероховатость Ra, нм 6,05 4,72 5,31 4,03 3,73 Средний размер зерна, нм 110 98 97 80 82 Рис. 6. Температурные и частотные зависимости диэлектрической прони- цаемости SBT-плёнки, отожженной при температуре 750С в течение 60 минут. ЗАВИСИМОСТЬ СТРУКТУРНЫХ СВОЙСТВ SBT-ПЛЁНОК ОТ ТЕМПЕРАТУРЫ 1245 Снижение температуры Кюри ТК является показателем сниже- ния стабильности сегнетоэлектрической фазы SBT-структур. Зави- симость диэлектрической проницаемости от температуры   f(T) исследовали при помощи измерителя иммитанса Е7-20. Как было показано ранее, при термообработке 750—800С в атмо- сфере кислорода наблюдается более равномерное распределение зё- рен по поверхности. Эти данные согласуются с ростом сегнетоэлек- трических свойств SBT-пленки, отожженной при термообработке 750С. Полученная золь—гель-методом SBT-плёнка, отожженная при температуре 750С в течение 60 минут, имеет максимум на кривой диэлектрической проницаемости при температуре Кюри ТК  300— 370С, что свидетельствует о сегнетоэлектрических переходах в па- рафазе. Из рисунка 6 видно, что SBT-плёнки характеризуются мак- симальной диэлектрической проницаемостью на частоте 100 Гц. Характер кривых частотной и температурной зависимостей ди- электрической проницаемости SBT-плёнки свидетельствует о хо- рошей стехиометрии фазового состава SBT. 4. ЗАКЛЮЧЕНИЕ Золь—гель-методом синтезированы SBT-плёнки с общей формулой SrBi2Ta2O9. При формировании SBT-плёнок применялась методика послойного нанесение золя методом центрифугирования с последу- ющей термообработкой каждого слоя при температуре 300С в те- чение 5 минут. В качестве подложки использовали монокристалли- ческий кремний с платиновым подслоем. Результаты рентгенов- ских исследований показывают, что при получении SBT-плёнок золь—гель-методом, формирование фазы перовскита начинается при температуре 700C и завершается в диапазоне 750—800C. Ис- следование морфологии поверхности методом атомно-силовой мик- роскопии показало, что при термообработке в атмосфере кислорода при 750С наблюдается более равномерное распределение зёрен по размерам. Полученная золь—гель-методом SBT-плёнка, отожжен- ная при температуре 750С в течение 60 минут, имеет максималь- ный пик диэлектрической проницаемости на частоте 100 Гц при температуре Кюри ТК  300—370С, что свидетельствует о сегнето- электрических переходах в парафазе. ЦИТИРОВАННАЯ ЛИТЕРАТУРА–REFERENCES 1. C.-H. Park, J.-H. Kim, M.-C. Kim, Y.-G. Son, and M.-S. Won, Appl. Surf. Sci., 249: 16 (2005). 2. J. Y. Son, B. G. Kim, and J. H. Cho, Thin Solid Films, 500: 360 (2006). 3. R. R. Das, P. Bhattacharya, W. Pérez, and R. S. Katiyar, Ceramics 1246 В. В. СИДСКИЙ, А. Г. РЫБАКОВ, А. В. СЕМЧЕНКО и др. International, 30: 1175 (2004). 4. V. Joshi, J. D. Cuchiaro, J. W. Bacon, N. Solayappan, and C. A. Araujo, Ferroelectric Properties of Non Stoichiometric Layered Perovskites (Symetrix Corporation, 5055 Mark Dablins Blvd., Colorado Springs, CO 80918, U.S.A.). 5. N. L. Amsei, A. Z. Simoes, A. A. Cavalheiro, S. M. Zanetti, E. Longo, and J. A. Varela, J. Alloys Compd., 454: 61 (2008). 6. D. Nečas and P. Klapetek, Gwyddion–Free SPM (AFM, SNOM/NSOM, STM, MFM) Data Analysis Software (Electronic resource: 2008). Mode of access: http://gwyddion.net (Data of access: 20.03.2012). << /ASCII85EncodePages false /AllowTransparency false /AutoPositionEPSFiles true /AutoRotatePages /None /Binding /Left /CalGrayProfile (Dot Gain 20%) /CalRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1) /CalCMYKProfile (U.S. Web Coated \050SWOP\051 v2) /sRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1) /CannotEmbedFontPolicy /Error /CompatibilityLevel 1.4 /CompressObjects /Tags /CompressPages true /ConvertImagesToIndexed true /PassThroughJPEGImages true /CreateJobTicket false /DefaultRenderingIntent /Default /DetectBlends true /DetectCurves 0.0000 /ColorConversionStrategy /CMYK /DoThumbnails false /EmbedAllFonts true /EmbedOpenType false /ParseICCProfilesInComments true /EmbedJobOptions true /DSCReportingLevel 0 /EmitDSCWarnings false /EndPage -1 /ImageMemory 1048576 /LockDistillerParams false /MaxSubsetPct 100 /Optimize true /OPM 1 /ParseDSCComments true /ParseDSCCommentsForDocInfo true /PreserveCopyPage true /PreserveDICMYKValues true /PreserveEPSInfo true /PreserveFlatness true /PreserveHalftoneInfo false /PreserveOPIComments true /PreserveOverprintSettings true /StartPage 1 /SubsetFonts true /TransferFunctionInfo /Apply /UCRandBGInfo /Preserve /UsePrologue false /ColorSettingsFile () /AlwaysEmbed [ true ] /NeverEmbed [ true ] /AntiAliasColorImages false /CropColorImages true /ColorImageMinResolution 300 /ColorImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleColorImages true /ColorImageDownsampleType /Bicubic /ColorImageResolution 300 /ColorImageDepth -1 /ColorImageMinDownsampleDepth 1 /ColorImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeColorImages true /ColorImageFilter /DCTEncode /AutoFilterColorImages true /ColorImageAutoFilterStrategy /JPEG /ColorACSImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /ColorImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /JPEG2000ColorACSImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /JPEG2000ColorImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /AntiAliasGrayImages false /CropGrayImages true /GrayImageMinResolution 300 /GrayImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleGrayImages true /GrayImageDownsampleType /Bicubic /GrayImageResolution 300 /GrayImageDepth -1 /GrayImageMinDownsampleDepth 2 /GrayImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeGrayImages true /GrayImageFilter /DCTEncode /AutoFilterGrayImages true /GrayImageAutoFilterStrategy /JPEG /GrayACSImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /GrayImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /JPEG2000GrayACSImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /JPEG2000GrayImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /AntiAliasMonoImages false /CropMonoImages true /MonoImageMinResolution 1200 /MonoImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleMonoImages true /MonoImageDownsampleType /Bicubic /MonoImageResolution 1200 /MonoImageDepth -1 /MonoImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeMonoImages true /MonoImageFilter /CCITTFaxEncode /MonoImageDict << /K -1 >> /AllowPSXObjects false /CheckCompliance [ /None ] /PDFX1aCheck false /PDFX3Check false /PDFXCompliantPDFOnly false /PDFXNoTrimBoxError true /PDFXTrimBoxToMediaBoxOffset [ 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 ] /PDFXSetBleedBoxToMediaBox true /PDFXBleedBoxToTrimBoxOffset [ 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 ] /PDFXOutputIntentProfile () /PDFXOutputConditionIdentifier () /PDFXOutputCondition () /PDFXRegistryName () /PDFXTrapped /False /CreateJDFFile false /Description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> /CHS <FEFF4f7f75288fd94e9b8bbe5b9a521b5efa7684002000410064006f006200650020005000440046002065876863900275284e8e9ad88d2891cf76845370524d53705237300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c676562535f00521b5efa768400200050004400460020658768633002> /CHT <FEFF4f7f752890194e9b8a2d7f6e5efa7acb7684002000410064006f006200650020005000440046002065874ef69069752865bc9ad854c18cea76845370524d5370523786557406300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c4f86958b555f5df25efa7acb76840020005000440046002065874ef63002> /CZE <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> /DAN <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> /DEU <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> /ESP <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> /ETI <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> /FRA <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> /GRE <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a stvaranje Adobe PDF dokumenata najpogodnijih za visokokvalitetni ispis prije tiskanja koristite ove postavke. Stvoreni PDF dokumenti mogu se otvoriti Acrobat i Adobe Reader 5.0 i kasnijim verzijama.) /HUN <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> /ITA <FEFF005500740069006c0069007a007a006100720065002000710075006500730074006500200069006d0070006f007300740061007a0069006f006e00690020007000650072002000630072006500610072006500200064006f00630075006d0065006e00740069002000410064006f00620065002000500044004600200070006900f900200061006400610074007400690020006100200075006e00610020007000720065007300740061006d0070006100200064006900200061006c007400610020007100750061006c0069007400e0002e0020004900200064006f00630075006d0065006e007400690020005000440046002000630072006500610074006900200070006f00730073006f006e006f0020006500730073006500720065002000610070006500720074006900200063006f006e0020004100630072006f00620061007400200065002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000200065002000760065007200730069006f006e006900200073007500630063006500730073006900760065002e> /JPN <FEFF9ad854c18cea306a30d730ea30d730ec30b951fa529b7528002000410064006f0062006500200050004400460020658766f8306e4f5c6210306b4f7f75283057307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103055308c305f0020005000440046002030d530a130a430eb306f3001004100630072006f0062006100740020304a30883073002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d3067958b304f30533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a306b306f30d530a930f330c8306e57cb30818fbc307f304c5fc59808306730593002> /KOR <FEFFc7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020ace0d488c9c80020c2dcd5d80020c778c1c4c5d00020ac00c7a50020c801d569d55c002000410064006f0062006500200050004400460020bb38c11cb97c0020c791c131d569b2c8b2e4002e0020c774b807ac8c0020c791c131b41c00200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002e> /LTH <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> /LVI <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> /NLD (Gebruik deze instellingen om Adobe PDF-documenten te maken die zijn geoptimaliseerd voor prepress-afdrukken van hoge kwaliteit. De gemaakte PDF-documenten kunnen worden geopend met Acrobat en Adobe Reader 5.0 en hoger.) /NOR <FEFF004200720075006b00200064006900730073006500200069006e006e007300740069006c006c0069006e00670065006e0065002000740069006c002000e50020006f0070007000720065007400740065002000410064006f006200650020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e00740065007200200073006f006d00200065007200200062006500730074002000650067006e0065007400200066006f00720020006600f80072007400720079006b006b0073007500740073006b00720069006600740020006100760020006800f800790020006b00760061006c0069007400650074002e0020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e00740065006e00650020006b0061006e002000e50070006e00650073002000690020004100630072006f00620061007400200065006c006c00650072002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000200065006c006c00650072002000730065006e006500720065002e> /POL <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> /PTB <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> /RUM <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> /RUS <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> /SKY <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> /SLV <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> /SUO <FEFF004b00e40079007400e40020006e00e40069007400e4002000610073006500740075006b007300690061002c0020006b0075006e0020006c0075006f00740020006c00e400680069006e006e00e4002000760061006100740069007600610061006e0020007000610069006e006100740075006b00730065006e002000760061006c006d0069007300740065006c00750074007900f6006800f6006e00200073006f00700069007600690061002000410064006f0062006500200050004400460020002d0064006f006b0075006d0065006e007400740065006a0061002e0020004c0075006f0064007500740020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e00740069007400200076006f0069006400610061006e0020006100760061007400610020004100630072006f0062006100740069006c006c00610020006a0061002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e0030003a006c006c00610020006a006100200075007500640065006d006d0069006c006c0061002e> /SVE <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> /TUR <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> /UKR <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> /ENU (Use these settings to create Adobe PDF documents best suited for high-quality prepress printing. Created PDF documents can be opened with Acrobat and Adobe Reader 5.0 and later.) >> /Namespace [ (Adobe) (Common) (1.0) ] /OtherNamespaces [ << /AsReaderSpreads false /CropImagesToFrames true /ErrorControl /WarnAndContinue /FlattenerIgnoreSpreadOverrides false /IncludeGuidesGrids false /IncludeNonPrinting false /IncludeSlug false /Namespace [ (Adobe) (InDesign) (4.0) ] /OmitPlacedBitmaps false /OmitPlacedEPS false /OmitPlacedPDF false /SimulateOverprint /Legacy >> << /AddBleedMarks false /AddColorBars false /AddCropMarks false /AddPageInfo false /AddRegMarks false /ConvertColors /ConvertToCMYK /DestinationProfileName () /DestinationProfileSelector /DocumentCMYK /Downsample16BitImages true /FlattenerPreset << /PresetSelector /MediumResolution >> /FormElements false /GenerateStructure false /IncludeBookmarks false /IncludeHyperlinks false /IncludeInteractive false /IncludeLayers false /IncludeProfiles false /MultimediaHandling /UseObjectSettings /Namespace [ (Adobe) (CreativeSuite) (2.0) ] /PDFXOutputIntentProfileSelector /DocumentCMYK /PreserveEditing true /UntaggedCMYKHandling /LeaveUntagged /UntaggedRGBHandling /UseDocumentProfile /UseDocumentBleed false >> ] >> setdistillerparams << /HWResolution [2400 2400] /PageSize [612.000 792.000] >> setpagedevice

Зависимость структурных свойств SBT-плёнок от температуры синтеза

Репозитарії

Схожі ресурси