Термостабильность наноразмерных плёнок Co—Sb
Исследовано формирование фазового состава и структуры в наноразмерных плёнках CoSbx (30 нм) (1,82 ≤ х ≤ 4,16), осаждённых методом молекулярно-лучевой эпитаксии на подложки окислённого монокристаллического кремния при комнатной температуре и температуре 200°C с последующей термической обработкой в ва...
Збережено в:
| Дата: | 2014 |
|---|---|
| Автори: | , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2014
|
| Назва видання: | Металлофизика и новейшие технологии |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/107072 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Термостабильность наноразмерных плёнок Co—Sb / Ю.Н. Макогон, Е.П. Павлова, С.И. Сидоренко, Д. Беке, А. Чик, Р.А. Шкарбань // Металлофизика и новейшие технологии. — 2014. — Т. 36, № 12. — С. 1621-1634. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-107072 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1070722016-10-13T03:02:24Z Термостабильность наноразмерных плёнок Co—Sb Макогон, Ю.Н. Павлова, Е.П. Сидоренко, С.И. Беке, Д. Чик, А. Шкарбань, Р.А. Металлические поверхности и плёнки Исследовано формирование фазового состава и структуры в наноразмерных плёнках CoSbx (30 нм) (1,82 ≤ х ≤ 4,16), осаждённых методом молекулярно-лучевой эпитаксии на подложки окислённого монокристаллического кремния при комнатной температуре и температуре 200°C с последующей термической обработкой в вакууме в интервале температур 300—700°C. Досліджено формування фазового складу і структури в нанорозмірних плівках CoSbx (30 нм) (1,82 ≤ х ≤ 4,16), осаджених методою молекулярно-променево ї епітаксі ї на підложжя окисненого монокристалічного кремнію за кімнатно ї температури і температури 200°C з подальшим термічним обробленням у вакуумі в інтервалі температур 300—700°C. Formation of phase composition and structure is investigated in nanoscale CoSbx (30 nm) (1.82 ≤ х ≤ 4.16) films deposited by the method of molecular-beam epitaxy on the substrates of the oxidized monocrystalline silicon at room temperature and 200°C with subsequent thermal treatment in a vacuum within the temperature range of 300—700°C. 2014 Article Термостабильность наноразмерных плёнок Co—Sb / Ю.Н. Макогон, Е.П. Павлова, С.И. Сидоренко, Д. Беке, А. Чик, Р.А. Шкарбань // Металлофизика и новейшие технологии. — 2014. — Т. 36, № 12. — С. 1621-1634. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. 1024-1809 PACS: 68.37.Ps, 68.55.Nq, 68.60.Dv, 73.50.Lw, 82.80.Yc, 84.60.Rb, 85.80.Fi DOI: http://dx.doi.org/10.15407/mfint.36.12.1621 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/107072 ru Металлофизика и новейшие технологии Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Металлические поверхности и плёнки Металлические поверхности и плёнки |
| spellingShingle |
Металлические поверхности и плёнки Металлические поверхности и плёнки Макогон, Ю.Н. Павлова, Е.П. Сидоренко, С.И. Беке, Д. Чик, А. Шкарбань, Р.А. Термостабильность наноразмерных плёнок Co—Sb Металлофизика и новейшие технологии |
| description |
Исследовано формирование фазового состава и структуры в наноразмерных плёнках CoSbx (30 нм) (1,82 ≤ х ≤ 4,16), осаждённых методом молекулярно-лучевой эпитаксии на подложки окислённого монокристаллического кремния при комнатной температуре и температуре 200°C с последующей термической обработкой в вакууме в интервале температур 300—700°C. |
| format |
Article |
| author |
Макогон, Ю.Н. Павлова, Е.П. Сидоренко, С.И. Беке, Д. Чик, А. Шкарбань, Р.А. |
| author_facet |
Макогон, Ю.Н. Павлова, Е.П. Сидоренко, С.И. Беке, Д. Чик, А. Шкарбань, Р.А. |
| author_sort |
Макогон, Ю.Н. |
| title |
Термостабильность наноразмерных плёнок Co—Sb |
| title_short |
Термостабильность наноразмерных плёнок Co—Sb |
| title_full |
Термостабильность наноразмерных плёнок Co—Sb |
| title_fullStr |
Термостабильность наноразмерных плёнок Co—Sb |
| title_full_unstemmed |
Термостабильность наноразмерных плёнок Co—Sb |
| title_sort |
термостабильность наноразмерных плёнок co—sb |
| publisher |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| publishDate |
2014 |
| topic_facet |
Металлические поверхности и плёнки |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/107072 |
| citation_txt |
Термостабильность наноразмерных плёнок Co—Sb / Ю.Н. Макогон, Е.П. Павлова, С.И. Сидоренко, Д. Беке, А. Чик, Р.А. Шкарбань // Металлофизика и новейшие технологии. — 2014. — Т. 36, № 12. — С. 1621-1634. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. |
| series |
Металлофизика и новейшие технологии |
| work_keys_str_mv |
AT makogonûn termostabilʹnostʹnanorazmernyhplënokcosb AT pavlovaep termostabilʹnostʹnanorazmernyhplënokcosb AT sidorenkosi termostabilʹnostʹnanorazmernyhplënokcosb AT beked termostabilʹnostʹnanorazmernyhplënokcosb AT čika termostabilʹnostʹnanorazmernyhplënokcosb AT škarbanʹra termostabilʹnostʹnanorazmernyhplënokcosb |
| first_indexed |
2024-03-30T09:07:17Z |
| last_indexed |
2024-03-30T09:07:17Z |
| _version_ |
1796149337160417280 |