Реологические свойства композиционных суспензий на основе силикатного золя и наноразмерных частиц диоксида кремния для применения в электронике

В работе исследовано реологическое поведение композиционных суспензий на основе силикатного золя и наноразмерных частиц диоксида кремния, которые могут быть использованы на II-й стадии полировки пластин монокристаллического кремния и других полупроводниковых материалов. Приводятся физически обоснова...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Видавець:	Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
Дата:	2014
Автори:	Косенок, Я.А., Гайшун, В.Е., Тюленкова, О.И., Туров, В.В., Савицкий, Д.П.
Формат:	Стаття
Мова:	Russian
Опубліковано:	Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2014
Назва видання:	Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
Онлайн доступ:	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/107163
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Цитувати:	Реологические свойства композиционных суспензий на основе силикатного золя и наноразмерных частиц диоксида кремния для применения в электронике / Я.А. Косенок, В.Е. Гайшун, О.И. Тюленкова, В.В. Туров, Д.П. Савицкий // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2014. — Т. 12, № 2. — С. 269–277. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

Репозиторії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	irk-123456789-107163
record_format	dspace
spelling	irk-123456789-1071632016-10-15T03:01:46Z Реологические свойства композиционных суспензий на основе силикатного золя и наноразмерных частиц диоксида кремния для применения в электронике Косенок, Я.А. Гайшун, В.Е. Тюленкова, О.И. Туров, В.В. Савицкий, Д.П. В работе исследовано реологическое поведение композиционных суспензий на основе силикатного золя и наноразмерных частиц диоксида кремния, которые могут быть использованы на II-й стадии полировки пластин монокристаллического кремния и других полупроводниковых материалов. Приводятся физически обоснованные формулы для описания эффективной вязкости в зависимости от степени равновесного разрушения и тиксотропного восстановления связей структуры в процессе течения композиционной суспензии. Формулы сравниваются с результатами, полученными экспериментальным путём. Приводятся данные о режимах полировки и качестве поверхности пластин монокристаллического кремния после полировки с использованием композиционной суспензии. У роботі досліджено поведінку реології композиційних суспензій на основі силікатного золю і нанорозмірних частинок діоксиду кремнію, які можуть бути використані на II-й стадії полірування пластин монокристалічного кремнію та інших напівпровідникових матеріялів. Наведено фізично обґрунтовані формули для опису ефективної в’язкости залежно від ступеня рівноважного руйнування і тиксотропного відновлення зв’язків структури в процесі плину композиційної суспензії. Формули порівнюються з результатами , одержаними експериментальним шляхом. Наведено дані про режими полірування та якість поверхні пластин монокристалічного кремнію після полірування з використанням композиційної суспензії. The rheological behaviour of the composite suspensions based on silica sol and silica nanoparticles, which can be used at the II-nd stage of polishing of mono-crystalline silicon wafers or other semiconductor materials, is investigated. Physically based formulas are presented to describe the effective viscosity depending on degree of balanced destruction and thixotropic reduction of bonds of structure in the process of flow of composite suspension. The resulting formulas are compared with the experimental data. The data on both the regimes of polishing and surface quality of monocrystalline silicon wafers after polishing using the composite suspension are presented. 2014 Article Реологические свойства композиционных суспензий на основе силикатного золя и наноразмерных частиц диоксида кремния для применения в электронике / Я.А. Косенок, В.Е. Гайшун, О.И. Тюленкова, В.В. Туров, Д.П. Савицкий // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2014. — Т. 12, № 2. — С. 269–277. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. 1816-5230 PACS numbers: 66.20.Ej, 81.16.Dn, 81.65.Ps, 82.70.Kj, 83.50.Uv, 83.60.Pq, 83.80.Hj http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/107163 ru Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
language	Russian
description	В работе исследовано реологическое поведение композиционных суспензий на основе силикатного золя и наноразмерных частиц диоксида кремния, которые могут быть использованы на II-й стадии полировки пластин монокристаллического кремния и других полупроводниковых материалов. Приводятся физически обоснованные формулы для описания эффективной вязкости в зависимости от степени равновесного разрушения и тиксотропного восстановления связей структуры в процессе течения композиционной суспензии. Формулы сравниваются с результатами, полученными экспериментальным путём. Приводятся данные о режимах полировки и качестве поверхности пластин монокристаллического кремния после полировки с использованием композиционной суспензии.
format	Article
author	Косенок, Я.А. Гайшун, В.Е. Тюленкова, О.И. Туров, В.В. Савицкий, Д.П.
spellingShingle	Косенок, Я.А. Гайшун, В.Е. Тюленкова, О.И. Туров, В.В. Савицкий, Д.П. Реологические свойства композиционных суспензий на основе силикатного золя и наноразмерных частиц диоксида кремния для применения в электронике Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
author_facet	Косенок, Я.А. Гайшун, В.Е. Тюленкова, О.И. Туров, В.В. Савицкий, Д.П.
author_sort	Косенок, Я.А.
title	Реологические свойства композиционных суспензий на основе силикатного золя и наноразмерных частиц диоксида кремния для применения в электронике
title_short	Реологические свойства композиционных суспензий на основе силикатного золя и наноразмерных частиц диоксида кремния для применения в электронике
title_full	Реологические свойства композиционных суспензий на основе силикатного золя и наноразмерных частиц диоксида кремния для применения в электронике
title_fullStr	Реологические свойства композиционных суспензий на основе силикатного золя и наноразмерных частиц диоксида кремния для применения в электронике
title_full_unstemmed	Реологические свойства композиционных суспензий на основе силикатного золя и наноразмерных частиц диоксида кремния для применения в электронике
title_sort	реологические свойства композиционных суспензий на основе силикатного золя и наноразмерных частиц диоксида кремния для применения в электронике
publisher	Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
publishDate	2014
url	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/107163
citation_txt	Реологические свойства композиционных суспензий на основе силикатного золя и наноразмерных частиц диоксида кремния для применения в электронике / Я.А. Косенок, В.Е. Гайшун, О.И. Тюленкова, В.В. Туров, Д.П. Савицкий // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2014. — Т. 12, № 2. — С. 269–277. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.
series	Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
work_keys_str_mv	AT kosenokâa reologičeskiesvojstvakompozicionnyhsuspenzijnaosnovesilikatnogozolâinanorazmernyhčasticdioksidakremniâdlâprimeneniâvélektronike AT gajšunve reologičeskiesvojstvakompozicionnyhsuspenzijnaosnovesilikatnogozolâinanorazmernyhčasticdioksidakremniâdlâprimeneniâvélektronike AT tûlenkovaoi reologičeskiesvojstvakompozicionnyhsuspenzijnaosnovesilikatnogozolâinanorazmernyhčasticdioksidakremniâdlâprimeneniâvélektronike AT turovvv reologičeskiesvojstvakompozicionnyhsuspenzijnaosnovesilikatnogozolâinanorazmernyhčasticdioksidakremniâdlâprimeneniâvélektronike AT savickijdp reologičeskiesvojstvakompozicionnyhsuspenzijnaosnovesilikatnogozolâinanorazmernyhčasticdioksidakremniâdlâprimeneniâvélektronike
first_indexed	2023-10-18T20:14:34Z
last_indexed	2023-10-18T20:14:34Z
_version_	1796149346856599552

Реологические свойства композиционных суспензий на основе силикатного золя и наноразмерных частиц диоксида кремния для применения в электронике

Репозиторії

Схожі ресурси