Реологические свойства композиционных суспензий на основе силикатного золя и наноразмерных частиц диоксида кремния для применения в электронике

Реологические свойства композиционных суспензий на основе силикатного золя и наноразмерных частиц диоксида кремния для применения в электронике

В работе исследовано реологическое поведение композиционных суспензий на основе силикатного золя и наноразмерных частиц диоксида кремния, которые могут быть использованы на II-й стадии полировки пластин монокристаллического кремния и других полупроводниковых материалов. Приводятся физически обоснова...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2014
Автори: Косенок, Я.А., Гайшун, В.Е., Тюленкова, О.И., Туров, В.В., Савицкий, Д.П.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2014
Назва видання:Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/107163
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Реологические свойства композиционных суспензий на основе силикатного золя и наноразмерных частиц диоксида кремния для применения в электронике / Я.А. Косенок, В.Е. Гайшун, О.И. Тюленкова, В.В. Туров, Д.П. Савицкий // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2014. — Т. 12, № 2. — С. 269–277. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-107163
record_format dspace
spelling irk-123456789-1071632016-10-15T03:01:46Z Реологические свойства композиционных суспензий на основе силикатного золя и наноразмерных частиц диоксида кремния для применения в электронике Косенок, Я.А. Гайшун, В.Е. Тюленкова, О.И. Туров, В.В. Савицкий, Д.П. В работе исследовано реологическое поведение композиционных суспензий на основе силикатного золя и наноразмерных частиц диоксида кремния, которые могут быть использованы на II-й стадии полировки пластин монокристаллического кремния и других полупроводниковых материалов. Приводятся физически обоснованные формулы для описания эффективной вязкости в зависимости от степени равновесного разрушения и тиксотропного восстановления связей структуры в процессе течения композиционной суспензии. Формулы сравниваются с результатами, полученными экспериментальным путём. Приводятся данные о режимах полировки и качестве поверхности пластин монокристаллического кремния после полировки с использованием композиционной суспензии. У роботі досліджено поведінку реології композиційних суспензій на основі силікатного золю і нанорозмірних частинок діоксиду кремнію, які можуть бути використані на II-й стадії полірування пластин монокристалічного кремнію та інших напівпровідникових матеріялів. Наведено фізично обґрунтовані формули для опису ефективної в’язкости залежно від ступеня рівноважного руйнування і тиксотропного відновлення зв’язків структури в процесі плину композиційної суспензії. Формули порівнюються з результатами , одержаними експериментальним шляхом. Наведено дані про режими полірування та якість поверхні пластин монокристалічного кремнію після полірування з використанням композиційної суспензії. The rheological behaviour of the composite suspensions based on silica sol and silica nanoparticles, which can be used at the II-nd stage of polishing of mono-crystalline silicon wafers or other semiconductor materials, is investigated. Physically based formulas are presented to describe the effective viscosity depending on degree of balanced destruction and thixotropic reduction of bonds of structure in the process of flow of composite suspension. The resulting formulas are compared with the experimental data. The data on both the regimes of polishing and surface quality of monocrystalline silicon wafers after polishing using the composite suspension are presented. 2014 Article Реологические свойства композиционных суспензий на основе силикатного золя и наноразмерных частиц диоксида кремния для применения в электронике / Я.А. Косенок, В.Е. Гайшун, О.И. Тюленкова, В.В. Туров, Д.П. Савицкий // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2014. — Т. 12, № 2. — С. 269–277. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. 1816-5230 PACS numbers: 66.20.Ej, 81.16.Dn, 81.65.Ps, 82.70.Kj, 83.50.Uv, 83.60.Pq, 83.80.Hj http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/107163 ru Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
description В работе исследовано реологическое поведение композиционных суспензий на основе силикатного золя и наноразмерных частиц диоксида кремния, которые могут быть использованы на II-й стадии полировки пластин монокристаллического кремния и других полупроводниковых материалов. Приводятся физически обоснованные формулы для описания эффективной вязкости в зависимости от степени равновесного разрушения и тиксотропного восстановления связей структуры в процессе течения композиционной суспензии. Формулы сравниваются с результатами, полученными экспериментальным путём. Приводятся данные о режимах полировки и качестве поверхности пластин монокристаллического кремния после полировки с использованием композиционной суспензии.
format Article
author Косенок, Я.А.
Гайшун, В.Е.
Тюленкова, О.И.
Туров, В.В.
Савицкий, Д.П.
spellingShingle Косенок, Я.А.
Гайшун, В.Е.
Тюленкова, О.И.
Туров, В.В.
Савицкий, Д.П.
Реологические свойства композиционных суспензий на основе силикатного золя и наноразмерных частиц диоксида кремния для применения в электронике
Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
author_facet Косенок, Я.А.
Гайшун, В.Е.
Тюленкова, О.И.
Туров, В.В.
Савицкий, Д.П.
author_sort Косенок, Я.А.
title Реологические свойства композиционных суспензий на основе силикатного золя и наноразмерных частиц диоксида кремния для применения в электронике
title_short Реологические свойства композиционных суспензий на основе силикатного золя и наноразмерных частиц диоксида кремния для применения в электронике
title_full Реологические свойства композиционных суспензий на основе силикатного золя и наноразмерных частиц диоксида кремния для применения в электронике
title_fullStr Реологические свойства композиционных суспензий на основе силикатного золя и наноразмерных частиц диоксида кремния для применения в электронике
title_full_unstemmed Реологические свойства композиционных суспензий на основе силикатного золя и наноразмерных частиц диоксида кремния для применения в электронике
title_sort реологические свойства композиционных суспензий на основе силикатного золя и наноразмерных частиц диоксида кремния для применения в электронике
publisher Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
publishDate 2014
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/107163
citation_txt Реологические свойства композиционных суспензий на основе силикатного золя и наноразмерных частиц диоксида кремния для применения в электронике / Я.А. Косенок, В.Е. Гайшун, О.И. Тюленкова, В.В. Туров, Д.П. Савицкий // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2014. — Т. 12, № 2. — С. 269–277. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.
series Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
work_keys_str_mv AT kosenokâa reologičeskiesvojstvakompozicionnyhsuspenzijnaosnovesilikatnogozolâinanorazmernyhčasticdioksidakremniâdlâprimeneniâvélektronike
AT gajšunve reologičeskiesvojstvakompozicionnyhsuspenzijnaosnovesilikatnogozolâinanorazmernyhčasticdioksidakremniâdlâprimeneniâvélektronike
AT tûlenkovaoi reologičeskiesvojstvakompozicionnyhsuspenzijnaosnovesilikatnogozolâinanorazmernyhčasticdioksidakremniâdlâprimeneniâvélektronike
AT turovvv reologičeskiesvojstvakompozicionnyhsuspenzijnaosnovesilikatnogozolâinanorazmernyhčasticdioksidakremniâdlâprimeneniâvélektronike
AT savickijdp reologičeskiesvojstvakompozicionnyhsuspenzijnaosnovesilikatnogozolâinanorazmernyhčasticdioksidakremniâdlâprimeneniâvélektronike
first_indexed 2023-10-18T20:14:34Z
last_indexed 2023-10-18T20:14:34Z
_version_ 1796149346856599552

Схожі ресурси