Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства
Исследуются пленки диоксида олова, получаемые методом магнетронного распыления на постоянном токе. Приведены результаты исследований изменения фазового состава и электрической проводимости пленок оксида олова полученных при температурах осаждения (150—350) °С при проведении последующего отжига на во...
Збережено в:
| Дата: | 2014 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2014
|
| Назва видання: | Физическая инженерия поверхности |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/108474 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства / Г.С. Хрипунов, А.В. Пирогов, В.А. Новиков // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 3. — С. 329-337. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
Репозиторії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-108474 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1084742016-11-06T03:02:11Z Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства Хрипунов, Г.С. Пирогов, А.В. Новиков, В.А. Исследуются пленки диоксида олова, получаемые методом магнетронного распыления на постоянном токе. Приведены результаты исследований изменения фазового состава и электрической проводимости пленок оксида олова полученных при температурах осаждения (150—350) °С при проведении последующего отжига на воздухе при температуре 500 °С на протяжении 1 часа. Досліджуються плівки діоксиду олова, що отримуються методом магнетронного розпилення на постійному струмі. Наведені результати досліджень зміни фазового складу і електричної провідності плівок оксиду олова, отриманих при температурах осадження (150—350) °С при проведенні подальшого відпалу на повітрі при температурі 500 °С на протязі 1 години. The magnetron sputtering by direct current tin dioxide thin films are investigated. Results over of researches of change of phase composition and electric conductivity of tin oxide thin film obtained by temperature substrate (150—350) °С during subsequent annealing on air at the temperature of 500 °С on the during 1 hour are given. 2014 Article Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства / Г.С. Хрипунов, А.В. Пирогов, В.А. Новиков // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 3. — С. 329-337. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/108474 621.762.214 ru Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| description |
Исследуются пленки диоксида олова, получаемые методом магнетронного распыления на постоянном токе. Приведены результаты исследований изменения фазового состава и электрической проводимости пленок оксида олова полученных при температурах осаждения (150—350) °С при проведении последующего отжига на воздухе при температуре 500 °С на протяжении 1 часа. |
| format |
Article |
| author |
Хрипунов, Г.С. Пирогов, А.В. Новиков, В.А. |
| spellingShingle |
Хрипунов, Г.С. Пирогов, А.В. Новиков, В.А. Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства Физическая инженерия поверхности |
| author_facet |
Хрипунов, Г.С. Пирогов, А.В. Новиков, В.А. |
| author_sort |
Хрипунов, Г.С. |
| title |
Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства |
| title_short |
Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства |
| title_full |
Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства |
| title_fullStr |
Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства |
| title_full_unstemmed |
Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства |
| title_sort |
влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| publishDate |
2014 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/108474 |
| citation_txt |
Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства / Г.С. Хрипунов, А.В. Пирогов, В.А. Новиков // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 3. — С. 329-337. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
| series |
Физическая инженерия поверхности |
| work_keys_str_mv |
AT hripunovgs vliânietermičeskiaktivirovannyhstrukturnyhprevraŝenijvplenkahdioksidaolovanaihélektričeskiesvojstva AT pirogovav vliânietermičeskiaktivirovannyhstrukturnyhprevraŝenijvplenkahdioksidaolovanaihélektričeskiesvojstva AT novikovva vliânietermičeskiaktivirovannyhstrukturnyhprevraŝenijvplenkahdioksidaolovanaihélektričeskiesvojstva |
| first_indexed |
2023-10-18T20:17:40Z |
| last_indexed |
2023-10-18T20:17:40Z |
| _version_ |
1796149480320401408 |