Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства

Исследуются пленки диоксида олова, получаемые методом магнетронного распыления на постоянном токе. Приведены результаты исследований изменения фазового состава и электрической проводимости пленок оксида олова полученных при температурах осаждения (150—350) °С при проведении последующего отжига на во...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2014
Автори: Хрипунов, Г.С., Пирогов, А.В., Новиков, В.А.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2014
Назва видання:Физическая инженерия поверхности
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/108474
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства / Г.С. Хрипунов, А.В. Пирогов, В.А. Новиков // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 3. — С. 329-337. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-108474
record_format dspace
spelling irk-123456789-1084742016-11-06T03:02:11Z Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства Хрипунов, Г.С. Пирогов, А.В. Новиков, В.А. Исследуются пленки диоксида олова, получаемые методом магнетронного распыления на постоянном токе. Приведены результаты исследований изменения фазового состава и электрической проводимости пленок оксида олова полученных при температурах осаждения (150—350) °С при проведении последующего отжига на воздухе при температуре 500 °С на протяжении 1 часа. Досліджуються плівки діоксиду олова, що отримуються методом магнетронного розпилення на постійному струмі. Наведені результати досліджень зміни фазового складу і електричної провідності плівок оксиду олова, отриманих при температурах осадження (150—350) °С при проведенні подальшого відпалу на повітрі при температурі 500 °С на протязі 1 години. The magnetron sputtering by direct current tin dioxide thin films are investigated. Results over of researches of change of phase composition and electric conductivity of tin oxide thin film obtained by temperature substrate (150—350) °С during subsequent annealing on air at the temperature of 500 °С on the during 1 hour are given. 2014 Article Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства / Г.С. Хрипунов, А.В. Пирогов, В.А. Новиков // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 3. — С. 329-337. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/108474 621.762.214 ru Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
description Исследуются пленки диоксида олова, получаемые методом магнетронного распыления на постоянном токе. Приведены результаты исследований изменения фазового состава и электрической проводимости пленок оксида олова полученных при температурах осаждения (150—350) °С при проведении последующего отжига на воздухе при температуре 500 °С на протяжении 1 часа.
format Article
author Хрипунов, Г.С.
Пирогов, А.В.
Новиков, В.А.
spellingShingle Хрипунов, Г.С.
Пирогов, А.В.
Новиков, В.А.
Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства
Физическая инженерия поверхности
author_facet Хрипунов, Г.С.
Пирогов, А.В.
Новиков, В.А.
author_sort Хрипунов, Г.С.
title Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства
title_short Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства
title_full Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства
title_fullStr Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства
title_full_unstemmed Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства
title_sort влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
publishDate 2014
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/108474
citation_txt Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства / Г.С. Хрипунов, А.В. Пирогов, В.А. Новиков // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 3. — С. 329-337. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.
series Физическая инженерия поверхности
work_keys_str_mv AT hripunovgs vliânietermičeskiaktivirovannyhstrukturnyhprevraŝenijvplenkahdioksidaolovanaihélektričeskiesvojstva
AT pirogovav vliânietermičeskiaktivirovannyhstrukturnyhprevraŝenijvplenkahdioksidaolovanaihélektričeskiesvojstva
AT novikovva vliânietermičeskiaktivirovannyhstrukturnyhprevraŝenijvplenkahdioksidaolovanaihélektričeskiesvojstva
first_indexed 2023-10-18T20:17:40Z
last_indexed 2023-10-18T20:17:40Z
_version_ 1796149480320401408