Плівкові гнучкі ємнісні перетворювачі на основі структури ITO/поліімід/Al₂O₃
У статті розглянута ключова проблема безрідинного акустичного контролю металевих виробів та запропоноване новітнє рішення для дефектоскопії в умовах промислового виробництва. Основною особливістю рішення є використання тонкоплівкових гнучких ємнісних перетворювачів на основі структури ITO/поліімід/A...
Збережено в:
| Дата: | 2014 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2014
|
| Назва видання: | Физическая инженерия поверхности |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/108495 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Плівкові гнучкі ємнісні перетворювачі на основі структури ITO/поліімід/Al₂O₃ / Л.В. Зайцева, Г.С. Хрипунов, Р.В. Зайцев, А.Л. Хрипунова // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 4. — С. 505-509. — Бібліогр.: 7 назв. — укр. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-108495 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1084952016-11-06T03:02:28Z Плівкові гнучкі ємнісні перетворювачі на основі структури ITO/поліімід/Al₂O₃ Зайцева, Л.В. Хрипунов, Г.С. Зайцев, Р.В. Хрипунова, А.Л. У статті розглянута ключова проблема безрідинного акустичного контролю металевих виробів та запропоноване новітнє рішення для дефектоскопії в умовах промислового виробництва. Основною особливістю рішення є використання тонкоплівкових гнучких ємнісних перетворювачів на основі структури ITO/поліімід/Al₂O₃ загальною товщиною не більше 20 мкм. На підставі проведеного дослідження структурних та електричних властивостей шарів такої структури визначені оптимальні умови їх отримання для максимально ефективного використання у якості ємнісних перетворювачів. Створено дослідний зразок тонкоплівкового ємнісного перетворювача для акустичного контролю металевих виробів на основі структури Al/ITO/поліімід/Al₂O₃. В статье рассмотрена ключевая проблема безжидкостного акустического контроля металлических изделий и предложено новейшее решение для дефектоскопии в условиях промышленного производства. Основной особенностью решения является использование тонкопленочных гибких емкостных преобразователей на основе структуры ITO/полиимид/Al₂O₃ общей толщиной не более 20 мкм. На основании проведенного исследования структурных и электрических свойств слоев такой структуры определены оптимальные условия их получения для максимально эффективного использования в качестве емкостных преобразователей. Создан исследовательский образец тонкопленочного емкостного преобразователя для акустического контроля металлических изделий на основе структуры Al/ITO/полиимид/Al₂O₃ The article considers the key issue of metal parts liquid free acoustic control and proposed innovative solutions for defectoscopy in industrial production. The main feature of the solution is using flexible thin-film capacitive transducers based on the ITO/polyimide/Al₂O₃ structure with total thickness less than 20 microns. Based on the research of structural and electrical properties of layers with such structure it has been established the optimal conditions to maximize the efficiency of their using as capacitive transducers. A prototype of thin-film capacitive transducer for metal parts acoustic control on the basis of Al/ITO/polyimide/Al₂O₃ structure it has been manufactured. 2014 Article Плівкові гнучкі ємнісні перетворювачі на основі структури ITO/поліімід/Al₂O₃ / Л.В. Зайцева, Г.С. Хрипунов, Р.В. Зайцев, А.Л. Хрипунова // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 4. — С. 505-509. — Бібліогр.: 7 назв. — укр. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/108495 620.179.16 uk Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Ukrainian |
| description |
У статті розглянута ключова проблема безрідинного акустичного контролю металевих виробів та запропоноване новітнє рішення для дефектоскопії в умовах промислового виробництва. Основною особливістю рішення є використання тонкоплівкових гнучких ємнісних перетворювачів на основі структури ITO/поліімід/Al₂O₃ загальною товщиною не більше 20 мкм. На підставі проведеного дослідження структурних та електричних властивостей шарів такої структури визначені оптимальні умови їх отримання для максимально ефективного використання у якості ємнісних перетворювачів. Створено дослідний зразок тонкоплівкового ємнісного перетворювача для акустичного контролю металевих виробів на основі структури Al/ITO/поліімід/Al₂O₃. |
| format |
Article |
| author |
Зайцева, Л.В. Хрипунов, Г.С. Зайцев, Р.В. Хрипунова, А.Л. |
| spellingShingle |
Зайцева, Л.В. Хрипунов, Г.С. Зайцев, Р.В. Хрипунова, А.Л. Плівкові гнучкі ємнісні перетворювачі на основі структури ITO/поліімід/Al₂O₃ Физическая инженерия поверхности |
| author_facet |
Зайцева, Л.В. Хрипунов, Г.С. Зайцев, Р.В. Хрипунова, А.Л. |
| author_sort |
Зайцева, Л.В. |
| title |
Плівкові гнучкі ємнісні перетворювачі на основі структури ITO/поліімід/Al₂O₃ |
| title_short |
Плівкові гнучкі ємнісні перетворювачі на основі структури ITO/поліімід/Al₂O₃ |
| title_full |
Плівкові гнучкі ємнісні перетворювачі на основі структури ITO/поліімід/Al₂O₃ |
| title_fullStr |
Плівкові гнучкі ємнісні перетворювачі на основі структури ITO/поліімід/Al₂O₃ |
| title_full_unstemmed |
Плівкові гнучкі ємнісні перетворювачі на основі структури ITO/поліімід/Al₂O₃ |
| title_sort |
плівкові гнучкі ємнісні перетворювачі на основі структури ito/поліімід/al₂o₃ |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| publishDate |
2014 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/108495 |
| citation_txt |
Плівкові гнучкі ємнісні перетворювачі на основі структури ITO/поліімід/Al₂O₃ / Л.В. Зайцева, Г.С. Хрипунов, Р.В. Зайцев, А.Л. Хрипунова // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 4. — С. 505-509. — Бібліогр.: 7 назв. — укр. |
| series |
Физическая инженерия поверхности |
| work_keys_str_mv |
AT zajcevalv plívkovígnučkíêmnísníperetvorûvačínaosnovístrukturiitopolíímídal2o3 AT hripunovgs plívkovígnučkíêmnísníperetvorûvačínaosnovístrukturiitopolíímídal2o3 AT zajcevrv plívkovígnučkíêmnísníperetvorûvačínaosnovístrukturiitopolíímídal2o3 AT hripunovaal plívkovígnučkíêmnísníperetvorûvačínaosnovístrukturiitopolíímídal2o3 |
| first_indexed |
2023-10-18T20:17:44Z |
| last_indexed |
2023-10-18T20:17:44Z |
| _version_ |
1796149482560159744 |