Распределение элементов по глубине многокомпонентных покрытий на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N

Распределение элементов по глубине многокомпонентных покрытий на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N

Покрытия на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N формировались распылением многокомпонентного катода вакуумно-дуговым методом. Исследование распределения образующих элементов и примесей по глубине осуществлялось методом энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии. Установлена определенная неравномерн...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2014
Автор: Турбин, П.В.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2014
Назва видання:Физическая инженерия поверхности
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/108502
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Распределение элементов по глубине многокомпонентных покрытий на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N / П.В. Турбин // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 4. — С. 556-563. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-108502
record_format dspace
spelling irk-123456789-1085022016-11-06T03:02:41Z Распределение элементов по глубине многокомпонентных покрытий на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N Турбин, П.В. Покрытия на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N формировались распылением многокомпонентного катода вакуумно-дуговым методом. Исследование распределения образующих элементов и примесей по глубине осуществлялось методом энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии. Установлена определенная неравномерность распределения образующих элементов по глубине покрытия и присутствие примесей, обусловленных методом и средой формирования, а также структурой катода. Покриття на основі системи (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N формувалися розпиленням багатокомпонентного катода вакуумно-дуговим методом. Дослідження розподілу утворюючих елементів і домішок за глибиною здійснювалося методом енергодисперсійної рентгенівської спектроскопії. Встановлена певна нерівномірність розподілу утворюючих елементів за глибиною покриття і присутність домішок, зумовлених методом і середовищем формування та структурою катода. Coatings based on the systems (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N was deposited by sputtering of multicomponent cathode using vacuum arc method. Investigation of the depth distribution of elements and impurities was carried out by energy dispersive X-ray spectroscopy. Certain inhomogeneity of the depth distribution of the elements has been found within the coating along with the presence of impurities caused by the method and conditions of deposition as well as the structure of the cathode. 2014 Article Распределение элементов по глубине многокомпонентных покрытий на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N / П.В. Турбин // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 4. — С. 556-563. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/108502 539.2:538.975 ru Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
description Покрытия на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N формировались распылением многокомпонентного катода вакуумно-дуговым методом. Исследование распределения образующих элементов и примесей по глубине осуществлялось методом энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии. Установлена определенная неравномерность распределения образующих элементов по глубине покрытия и присутствие примесей, обусловленных методом и средой формирования, а также структурой катода.
format Article
author Турбин, П.В.
spellingShingle Турбин, П.В.
Распределение элементов по глубине многокомпонентных покрытий на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N
Физическая инженерия поверхности
author_facet Турбин, П.В.
author_sort Турбин, П.В.
title Распределение элементов по глубине многокомпонентных покрытий на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N
title_short Распределение элементов по глубине многокомпонентных покрытий на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N
title_full Распределение элементов по глубине многокомпонентных покрытий на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N
title_fullStr Распределение элементов по глубине многокомпонентных покрытий на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N
title_full_unstemmed Распределение элементов по глубине многокомпонентных покрытий на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N
title_sort распределение элементов по глубине многокомпонентных покрытий на основе системы (ti-al-zr-nb-y)n
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
publishDate 2014
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/108502
citation_txt Распределение элементов по глубине многокомпонентных покрытий на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N / П.В. Турбин // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 4. — С. 556-563. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.
series Физическая инженерия поверхности
work_keys_str_mv AT turbinpv raspredelenieélementovpoglubinemnogokomponentnyhpokrytijnaosnovesistemytialzrnbyn
first_indexed 2023-10-18T20:17:45Z
last_indexed 2023-10-18T20:17:45Z
_version_ 1796149483307794432

Схожі ресурси