2025-02-22T17:16:26-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-108639%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-22T17:16:26-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-108639%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-22T17:16:26-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-22T17:16:26-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Многослойные периодические композиции ZrC/Mg для длины волны 30,4 нм
Методами рентгеновской дифрактометрии исследована структура многослойных периодических композиций (МПК) ZrC/Mg, полученных методом прямоточного магнетронного распыления на кремниевых (001) и (111) и стеклянных подложках, в исходном состоянии и после термического отжига (50–450 °C). Установлено налич...
Saved in:
Main Authors: | , , |
---|---|
Format: | Article |
Language: | Russian |
Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2015
|
Series: | Физическая инженерия поверхности |
Online Access: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/108639 |
Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
Summary: | Методами рентгеновской дифрактометрии исследована структура многослойных периодических композиций (МПК) ZrC/Mg, полученных методом прямоточного магнетронного распыления на кремниевых (001) и (111) и стеклянных подложках, в исходном состоянии и после термического отжига (50–450 °C). Установлено наличие перемешанных зон в МПК ZrC/Mg в исходном состоянии. Показано, что наилучшее совпадение теоретического и экспериментального спектров малоугловой рентгеновской дифракции от МПК ZrC/Mg достигается, если в качестве перемешанной зоны использовать карбид магния Mg₂C₃. Термический отжиг до 350 °С приводит к росту перемешанных зон, за счет диффузии углерода из слоев ZrC. В результате термического отжига до 400 °С происходит кристаллизация Mg₂C₃, вследствие чего происходит разрушение периодичности слоев в МПК ZrC/Mg. |
---|