Многослойные периодические композиции ZrC/Mg для длины волны 30,4 нм
Методами рентгеновской дифрактометрии исследована структура многослойных периодических композиций (МПК) ZrC/Mg, полученных методом прямоточного магнетронного распыления на кремниевых (001) и (111) и стеклянных подложках, в исходном состоянии и после термического отжига (50–450 °C). Установлено налич...
Збережено в:
| Дата: | 2015 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2015
|
| Назва видання: | Физическая инженерия поверхности |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/108639 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Многослойные периодические композиции ZrC/Mg для длины волны 30,4 нм / Л.Е. Конотопский, И.А. Копылец, В.В. Кондратенко // Физическая инженерия поверхности. — 2015. — Т. 13, № 1. — С. 24-33. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-108639 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1086392016-11-13T03:02:42Z Многослойные периодические композиции ZrC/Mg для длины волны 30,4 нм Конотопский, Л.Е. Копылец, И.А. Кондратенко, В.В. Методами рентгеновской дифрактометрии исследована структура многослойных периодических композиций (МПК) ZrC/Mg, полученных методом прямоточного магнетронного распыления на кремниевых (001) и (111) и стеклянных подложках, в исходном состоянии и после термического отжига (50–450 °C). Установлено наличие перемешанных зон в МПК ZrC/Mg в исходном состоянии. Показано, что наилучшее совпадение теоретического и экспериментального спектров малоугловой рентгеновской дифракции от МПК ZrC/Mg достигается, если в качестве перемешанной зоны использовать карбид магния Mg₂C₃. Термический отжиг до 350 °С приводит к росту перемешанных зон, за счет диффузии углерода из слоев ZrC. В результате термического отжига до 400 °С происходит кристаллизация Mg₂C₃, вследствие чего происходит разрушение периодичности слоев в МПК ZrC/Mg. Методами рентгенівської дифрактометрії досліджено структуру багатошарових періодичних композицій (БПК) ZrC/Mg, отриманих методом магнетронного розпилення на постійному струмі на кремнієвих (001) та (111) і скляних підкладках, у вихідному стані та після термічного відпалу (50–450 °С). Встановлено наявність змішаних зон в БПК ZrC / Mg в початковому стані. Показано, що найкраща збіжність теоретичного та експериментального спектрів малокутової рентгенівської дифракції від БПК ZrC/Mg досягається, якщо в якості змішаної зони використовувати карбід магнію Mg₂C₃. Термічний відпал до 350 ° С призводить до зростання змішаних зон, за рахунок дифузії вуглецю з шарів ZrC. В результаті термічного відпалу до 400 ° С відбувається кристалізація Mg₂C₃, внаслідок чого відбувається руйнування періодичності шарів в БПК ZrC/Mg. X-ray diffraction methods were used for investigation of structure of ZrC/Mg multilayers deposited by DC magnetron sputtering on Si (001), Si (111) and on glass substrates in initial state and after annealing (50–450 °C). The presence of mixed zones in ZrC/Mg multilayers in initial state was found. It is shown that theoretical and experimental small-angle X-ray diffraction spectra of ZrC/Mg multilayers can be fitted well if magnesium carbide Mg₂C₃ is used as mixed zone. Thermal annealing up to 350 ° C leads to increase of mixed zones due to carbon diffusion from ZrC layers. As a result of thermal annealing up to 400 ° C crystallization of Mg₂C₃ is observed. Owing to this process the destruction of the periodicity of the layers in the MPC ZrC/Mg occurs. 2015 Article Многослойные периодические композиции ZrC/Mg для длины волны 30,4 нм / Л.Е. Конотопский, И.А. Копылец, В.В. Кондратенко // Физическая инженерия поверхности. — 2015. — Т. 13, № 1. — С. 24-33. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/108639 539.216.2 ru Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| description |
Методами рентгеновской дифрактометрии исследована структура многослойных периодических композиций (МПК) ZrC/Mg, полученных методом прямоточного магнетронного распыления на кремниевых (001) и (111) и стеклянных подложках, в исходном состоянии и после термического отжига (50–450 °C). Установлено наличие перемешанных зон в МПК ZrC/Mg в исходном состоянии. Показано, что наилучшее совпадение теоретического и экспериментального спектров малоугловой рентгеновской дифракции от МПК ZrC/Mg достигается, если в качестве перемешанной зоны использовать карбид магния Mg₂C₃. Термический отжиг до 350 °С приводит к росту перемешанных зон, за счет диффузии углерода из слоев ZrC. В результате термического отжига до 400 °С происходит кристаллизация Mg₂C₃, вследствие чего происходит разрушение периодичности слоев в МПК ZrC/Mg. |
| format |
Article |
| author |
Конотопский, Л.Е. Копылец, И.А. Кондратенко, В.В. |
| spellingShingle |
Конотопский, Л.Е. Копылец, И.А. Кондратенко, В.В. Многослойные периодические композиции ZrC/Mg для длины волны 30,4 нм Физическая инженерия поверхности |
| author_facet |
Конотопский, Л.Е. Копылец, И.А. Кондратенко, В.В. |
| author_sort |
Конотопский, Л.Е. |
| title |
Многослойные периодические композиции ZrC/Mg для длины волны 30,4 нм |
| title_short |
Многослойные периодические композиции ZrC/Mg для длины волны 30,4 нм |
| title_full |
Многослойные периодические композиции ZrC/Mg для длины волны 30,4 нм |
| title_fullStr |
Многослойные периодические композиции ZrC/Mg для длины волны 30,4 нм |
| title_full_unstemmed |
Многослойные периодические композиции ZrC/Mg для длины волны 30,4 нм |
| title_sort |
многослойные периодические композиции zrc/mg для длины волны 30,4 нм |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| publishDate |
2015 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/108639 |
| citation_txt |
Многослойные периодические композиции ZrC/Mg для длины волны 30,4 нм / Л.Е. Конотопский, И.А. Копылец, В.В. Кондратенко // Физическая инженерия поверхности. — 2015. — Т. 13, № 1. — С. 24-33. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. |
| series |
Физическая инженерия поверхности |
| work_keys_str_mv |
AT konotopskijle mnogoslojnyeperiodičeskiekompoziciizrcmgdlâdlinyvolny304nm AT kopylecia mnogoslojnyeperiodičeskiekompoziciizrcmgdlâdlinyvolny304nm AT kondratenkovv mnogoslojnyeperiodičeskiekompoziciizrcmgdlâdlinyvolny304nm |
| first_indexed |
2023-10-18T20:18:04Z |
| last_indexed |
2023-10-18T20:18:04Z |
| _version_ |
1796149497261195264 |