Температурная зависимость распределения имплантированных ионов Мо⁺ и W⁺ по глубине в титановом сплаве ВТ-6

Температурная зависимость распределения имплантированных ионов Мо⁺ и W⁺ по глубине в титановом сплаве ВТ-6

Проанализировано влияние имплантации ионов металлов W⁺ и Мо⁺ в титановые сплавы ВТ-6 на фазовый состав приповерхностных слоев. Уширение линии α-Ti (101) указывает на тенденцию увеличения деформации кристаллической решетки α-Ti при имплантации тяжелых ионов W⁺ и Мо⁺. Исследована температурная зависим...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Date:2015
Main Author: Маликов, Л.В.
Format: Article
Language:Russian
Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2015
Series:Физическая инженерия поверхности
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/108771
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Температурная зависимость распределения имплантированных ионов Мо⁺ и W⁺ по глубине в титановом сплаве ВТ-6 / Л.В. Маликов // Физическая инженерия поверхности. — 2015. — Т. 13, № 3. — С. 406-410. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-108771
record_format dspace
spelling irk-123456789-1087712016-11-16T03:02:55Z Температурная зависимость распределения имплантированных ионов Мо⁺ и W⁺ по глубине в титановом сплаве ВТ-6 Маликов, Л.В. Проанализировано влияние имплантации ионов металлов W⁺ и Мо⁺ в титановые сплавы ВТ-6 на фазовый состав приповерхностных слоев. Уширение линии α-Ti (101) указывает на тенденцию увеличения деформации кристаллической решетки α-Ti при имплантации тяжелых ионов W⁺ и Мо⁺. Исследована температурная зависимость профилей распределения ионов Мо⁺ и W⁺ в титановом сплаве ВТ-6 при имплантации дозой 5 × 10₁₇см⁻² с энергией 60 кэВ. После отжига при температуре 823 K основные изменения связаны с фазой Al₃Ti. На дифрактограммах наблюдается обособленный пик (111) Al₃Ti. Проаналізовано вплив імплантації іонів металів W⁺ і Мо⁺ в титанові сплави ВТ-6 на фазовий склад приповерхневих шарів. Розширення лінії α-Ti (101) вказує на тенденцію збільшення деформації кристалічної гратки α-Ti при імплантації важких іонів W⁺ і Мо⁺. Досліджено температурну залежність профілів розподілу іонів Мо⁺ і W⁺ в титановому сплаві ВТ-6 при імплантації дозою 5 × 10₁₇ см⁻² з енергією 60 кеВ. Після відпалювання при температурі 823 K основні зміни пов’язані з фазою Al₃Ti. На дифрактограмах спостерігається відособлений пік (111) Al₃Ti. The influence of ion implantation of metals W⁺ and Mo⁺ in titanium alloys VT-6 on the phase composition of the surface layers. The broadening of the line α-Ti (101) indicates a trend of increasing deformation of the crystal lattice of α-Ti in the implantation of heavy ions W⁺ and Mo⁺. The temperature dependence of ion distribution profiles Mo⁺ and W⁺ in the titanium alloy VT-6 during implantation dose 5 × 10₁₇ sm⁻² with an energy of 60 keV. After annealing at 823 K the main changes associated with the phase Al₃Ti. The diffraction patterns observed an isolated peak (111) Al₃Ti. 2015 Article Температурная зависимость распределения имплантированных ионов Мо⁺ и W⁺ по глубине в титановом сплаве ВТ-6 / Л.В. Маликов // Физическая инженерия поверхности. — 2015. — Т. 13, № 3. — С. 406-410. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/108771 669.295.539.121.537.534 ru Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
description Проанализировано влияние имплантации ионов металлов W⁺ и Мо⁺ в титановые сплавы ВТ-6 на фазовый состав приповерхностных слоев. Уширение линии α-Ti (101) указывает на тенденцию увеличения деформации кристаллической решетки α-Ti при имплантации тяжелых ионов W⁺ и Мо⁺. Исследована температурная зависимость профилей распределения ионов Мо⁺ и W⁺ в титановом сплаве ВТ-6 при имплантации дозой 5 × 10₁₇см⁻² с энергией 60 кэВ. После отжига при температуре 823 K основные изменения связаны с фазой Al₃Ti. На дифрактограммах наблюдается обособленный пик (111) Al₃Ti.
format Article
author Маликов, Л.В.
spellingShingle Маликов, Л.В.
Температурная зависимость распределения имплантированных ионов Мо⁺ и W⁺ по глубине в титановом сплаве ВТ-6
Физическая инженерия поверхности
author_facet Маликов, Л.В.
author_sort Маликов, Л.В.
title Температурная зависимость распределения имплантированных ионов Мо⁺ и W⁺ по глубине в титановом сплаве ВТ-6
title_short Температурная зависимость распределения имплантированных ионов Мо⁺ и W⁺ по глубине в титановом сплаве ВТ-6
title_full Температурная зависимость распределения имплантированных ионов Мо⁺ и W⁺ по глубине в титановом сплаве ВТ-6
title_fullStr Температурная зависимость распределения имплантированных ионов Мо⁺ и W⁺ по глубине в титановом сплаве ВТ-6
title_full_unstemmed Температурная зависимость распределения имплантированных ионов Мо⁺ и W⁺ по глубине в титановом сплаве ВТ-6
title_sort температурная зависимость распределения имплантированных ионов мо⁺ и w⁺ по глубине в титановом сплаве вт-6
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
publishDate 2015
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/108771
citation_txt Температурная зависимость распределения имплантированных ионов Мо⁺ и W⁺ по глубине в титановом сплаве ВТ-6 / Л.В. Маликов // Физическая инженерия поверхности. — 2015. — Т. 13, № 3. — С. 406-410. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.
series Физическая инженерия поверхности
work_keys_str_mv AT malikovlv temperaturnaâzavisimostʹraspredeleniâimplantirovannyhionovmoiwpoglubinevtitanovomsplavevt6
first_indexed 2025-07-07T22:05:32Z
last_indexed 2025-07-07T22:05:32Z
_version_ 1837027492512137216
fulltext ТЕМПЕРАТУРНАЯ ЗАВИСИМОСТЬ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ИМПЛАНТИРОВАННЫХ ИОНОВ Мо+ И W+ ПО ГЛУБИНЕ... ФІП ФИП PSE, 2015, т. 13, № 3, vol. 13, No. 3406 © Маликов Л. В., 2015 406 УДК 669.295.539.121.537.534 ТЕМПЕРАТУРНАЯ ЗАВИСИМОСТЬ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ИМПЛАНТИРОВАННЫХ ИОНОВ Мо+ И W+ ПО ГЛУБИНЕ В ТИТАНОВОМ СПЛАВЕ ВТ-6 Л. В. Маликов Научный физико-технологический цент МОН и НАН Украины, Харьков, Украина Харьковский национальный университет имени В. Н. Каразина, Украина Поступила в редакцию 27.09.2015 Проанализировано влияние имплантации ионов металлов W+ и Мо+ в титановые сплавы ВТ-6 на фазовый состав приповерхностных слоев. Уширение линии α-Ti (101) указывает на тенден- цию увеличения деформации кристаллической решетки α-Ti при имплантации тяжелых ионов W+ и Мо+. Исследована температурная зависимость профилей распределения ионов Мо+ и W+ в титановом сплаве ВТ-6 при имплантации дозой 5 × 1017см–2 с энергией 60 кэВ. После отжига при температуре 823 K основные изменения связаны с фазой Al3Ti. На дифрактограммах на- блюдается обособленный пик (111) Al3Ti. Ключевые слова: имплантация, ионы, отжиг, профили распределения элементов, титановый сплав ВТ-6. ТЕМПЕРАТУРНА ЗАЛЕЖНІСТЬ РОЗПОДІЛУ ІМПЛАНТОВАНИХ ІОНІВ Мо+ ТА W+ ЗА ГЛИБИНОЮ У ТИТАНОВОМУ СПЛАВІ ВТ-6 Л. В. Маліков Проаналізовано вплив імплантації іонів металів W+ і Мо+ в титанові сплави ВТ-6 на фазовий склад приповерхневих шарів. Розширення лінії α-Ti (101) вказує на тенденцію збільшення деформації кристалічної гратки α-Ti при імплантації важких іонів W+ і Мо+. Досліджено температурну залежність профілів розподілу іонів Мо+ і W+ в титановому сплаві ВТ-6 при імплантації дозою 5 × 1017 см–2 з енергією 60 кеВ. Після відпалювання при температурі 823 K основні зміни пов’язані з фазою Al3Ti. На дифрактограмах спостерігається відособлений пік (111) Al3Ti. Ключові слова: імплантація, іони, відпалювання, профілі розподілу елементів, титановий сплав ВТ-6. TEMPERATURE DEPENDENCE OF THE DISTRIBUTION OF IMPLANTED IONS Mo+ AND W+ IN DEPTH TITANIUM ALLOY VT-6 L. V. Malikov The influence of ion implantation of metals W+ and Mo+ in titanium alloys VT-6 on the phase composition of the surface layers. The broadening of the line α-Ti (101) indicates a trend of increasing deformation of the crystal lattice of α-Ti in the implantation of heavy ions W+ and Mo+. The temperature dependence of ion distribution profiles Mo+ and W+ in the titanium alloy VT-6 during implantation dose 5 × 1017 sm–2 with an energy of 60 keV. After annealing at 823 K the main changes associated with the phase Al3Ti. The diffraction patterns observed an isolated peak (111) Al3Ti. Keywords: implantation, ions, annealing distribution profiles of the elements titanium alloy VT-6. ВВЕДЕНИЕ Низкоэнергетическое ионное облуче- ние поверхности позволяет избежать де- градации объемных свойств материалов. Данное направление является особенно востребованным в современных технологи- ях. При бомбардировке ионными потоками поверхности (в диапазоне кинетических энергий от десятков электронвольт до десят- ков и сотен килоэлектронвольт) в материале мишени и на поверхности происходит слож- ная и длинная цепочка взаимосвязанных фи- зических процессов. В первую очередь, это процессы распыления поверхностных слоев Л. В. МАЛИКОВ ФІП ФИП PSE, 2015, т. 13, № 3, vol. 13, No. 3 407 материала, десорбции атомов примесей, ион- ное перемешивание, диффузия, науглерожи- вание или окисление поверхности, фазовые и структурные преобразования, дефекто- образование и взаимодействие примесей с дефектами. Ионная имплантация поверхности, как способ поверхностного легирования, позволяет в приповерхностных слоях фор ми ровать твердые растворы высокой кон- цен трации, наноразмерные фазы внедрения, интерметаллидные соединения, улучшаю- щие физико-механические характеристики имплантированных материалов [1]. Одним из параметров, оказывающих существенное влияние на распределение внедряемых ионов является температура подложки, влияющая на диффузионную по- движность примесных ионов [2]. Целью работы является изучение тер- мического влияния на распределение им - плантированных ионов Mo+ и W+ в ти тановый сплав ВТ-6. ПОСТАНОВКА ЭКСПЕРИМЕНТА И АНАЛИЗ РЕЗУЛЬТАТОВ В качестве образцов для ионной импланта- ции Mo+ и W+ использовались образцы ти- танового сплава ВТ-6 размером 15 × 15 × 2 мм. В процессе исследований импланта- ция осуществлялась вакуумно-дуговым имп- лантером «Диана-2». Подложка, на которой крепились образцы, охлаждалась водой. Тем- пература образцов в течение всего процесса ионной имплантации не превышала 573 K. Параметры имплантации приведены в табл. 1. Для определения влияния температуры на диффузионную подвижность примесных ионов в начале проводилась имплантация ионов Мо+ и W+ дозой 2 × 1017 см–2, а затем отжиг при температуре 823 К. С помощью метода резерфордовского обратного рассеи- вания (РОР) определялась концентрация Мо и W в приповерхностном слое титанового сплава ВТ-6 (табл. 2). Результаты рентгеновского дифракци- онного анализа представлены на рис. 1. Полученные результаты свидетельствуют, что фазовый состав имплантированного об- разца ВТ-6 представляет собой α-Ti, β-Ti, Al3Ti и Al2Ti фазы. От облученной поверхности вглубь имп- лантированного слоя наблюдаются две об- ласти плавно переходящие одна в другую. Таблица 1 Физико-технологические параметры ионной имплантации Mo+ и W+ Параметры источника ионов Величина Ионы Mo+ W+ Энергия ионов 60 кэВ 60 кэВ Частота импульсов 50 Гц 50 Гц Продолжительность импульсов 200 мкс 200 мкс Ток ионного пучка 10 мА 10 мА Диаметр ионного пучка 200 мм 200 мм Доза имплантации 2¸5´1017см–2 2¸5´1017см–2 Остаточное давление 10–3 Па 10–3 Па Рис. 1. Дифракционные спектры, снятые с поверхно- сти образцов ВТ-6: 1 — после имплантации ионов Мо+ и W+ дозой 5 × 1017см–2 с энергией 60 кэВ; 2 — после отжига при температуре 823 K в течение 2 ча- сов ТЕМПЕРАТУРНАЯ ЗАВИСИМОСТЬ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ИМПЛАНТИРОВАННЫХ ИОНОВ Мо+ И W+ ПО ГЛУБИНЕ... ФІП ФИП PSE, 2015, т. 13, № 3, vol. 13, No. 3408 Первая область представляет собой оксидно- карбидный слой, содержащий в своем составе титан, алюминий, кислород и угле- род. Далее от нижней границы ее суще- ствования формируется область, состоящая в основном из интерметаллидных фаз Al3Ti, Al2Ti и твердого раствора алюминия в титане. При дозе имплантации 5 × 1017см–2 (табл. 3) максимальная концентрация W достигает 11 ат. % на глубине 8,5 нм, а Мо 27,3 ат. % на глубине 22,4 нм. Кроме элементов, входящих в состав сплава ВТ-6 и им- плантированных ионов Mo+ и W+, вы явлены также примеси кислорода и углерода, присут- ствующие в остаточной атмосфере вакуум- ной системы и адсорбированы поверхностью титана в процессе ионной имплантации. Примесные атомы углерода и кислорода в основном находятся в приповерхностных слоях. На глубине 8,5 нм максимальная концентрация углерода достигает 25,6 ат. %, а кислорода 14 ат. %. Проведенный отжиг образцов титанового сплава ВТ-6, имплантированного Mo и W, при температуре 823 K в течение 2 часов свидетельствует о появлении дополнитель- ной линии Al3Ti. На рис. 2 изображены профили распре- деления ионов Мо+ и W+, полученные из энергетических спектров РОР после имплан- тации дозой 2 × 1017 см–2 и последующего тер- мического отжига в вакууме при температуре 823 K в течение 2 часов. Термический отжиг приводит к «размытию» профиля и уменьше- нию пиковой концентрации Мо и W. В соответствии с известными положе- ниями теории диффузии [3] профиль ра- спределения ионов по глубине описывается статистической гауссовой функцией и может быть получен при расчетах с помощью программных комплексов SRIM/ТRIM Таблица 2 Распределение элементов по глубине образцов сплава ВТ-6 Глубина, нм Концентрация элементов, ат. % W, имплантация Mo, имплантация W, отжиг Mo, отжиг 4,2 2,8 3,4 4,0 5,1 9,5 5,2 7,3 4,4 5,3 13,3 5,8 8,7 4,8 5,9 18,0 6,9 10,5 5,3 6,9 20,3 6,1 11,2 5,1 6,7 24,0 0,1 7,8 5,0 6,4 Таблица 3 Концентрация элементов в приповерхностном слое титанового сплава ВТ-6 (доза имплантации 5 × 1017см–2) Глубина, нм Концентрация элементов, aт. % W Mo Fe V Ti Al O C 8,5 11,0 8,0 0,9 3,5 30,0 7,0 14,0 25,6 22,4 7,0 27,3 0,9 3,6 53,1 8,1 0 0 36,4 0,8 12,1 1,0 4,1 73,3 8,7 0 0 74,0 0,2 1,2 1,0 4,0 84,4 9,2 0 0 148,0 0,1 1,1 1,0 4,1 84,3 9,4 0 0 15630,0 0,1 1,0 1,0 4,1 84,5 9,3 0 0 Л. В. МАЛИКОВ ФІП ФИП PSE, 2015, т. 13, № 3, vol. 13, No. 3 409 , (1) где h — глубина, x — текущая координата, C — центр пика. Величина s определяется из соотношения ( )1 22Dts = , (2) где D — коэффициент диффузии, t — время имплантации. Расчет «эффективных» коэффициентов диффузии в образцах ВТ-6 на основе полученных профилей проводился по сле- дующей формуле 2 2 2 i t tD s −s = τ , (3) где 2si — ширина пика концентрации Mo и W на половине высоты при комнатной тем- пературе; 2st — ширина пика концентрации Mo и W на половине высоты после отжига при температуре 823 K в течение 2 часов; τ — время отжига. Как следует из рис. 2б отжиг при темпе- ратуре Т = 823 K приводит к уширению из- начально гауссова профиля распределения примесей и снижению концентрации в мак- симуме функции распределения даже без учета радиационно-стимулированной диффу- зии. Следует подчеркнуть, что температура подложки и локальная температура в имп- лантированной области образца одинаковы. Оценка величины коэффициента диффузии ионов Мо+ и W+ дает, соответственно следую- щие значения: DMo ~ 2,8 × 10–12 м2/с, при этом для ионов вольфрама значение коэффициента заметно меньше и составляет величину DW ~ 10–13 м2/с. Вследствие того, что равновесная ра- створимость тяжелых элементов относи- тельно низка и, основываясь на данных работы [4], они сегрегируют на межфазных и межзеренных границах [5], а иногда об- разуют выделения β-Ti фазы. Указанные процессы тормозят перестройку структуры в приповерхностном слое. Таким образом, концентрация и тип де- фектов при ионной имплантации зависят от условий имплантации, таких как температура мишени, доза и скорость набора дозы [6, 7]. x Ch − = s Физические процессы, происходящие при взаимодействии ускоренных ионов с кристаллической решеткой, связаны со смещением атомов из узлов кристалличес- кой решетки. А также с накоплением приме- си в процессе имплантации, распылением материала, образованием кластеров и разупорядоченных областей (частично аморфных), а также образованием новых фаз с участием имплантированных ионов, сопутствующих газов кислорода, азота и ато- мов матрицы. Автор выражает благодарность профес- сору А. Д. Погребняку (Сумской го- сударственный университет) за обсуждение результатов и ценные замечания. Работа выполнена в рамках го су дар- ственных бюджетных тем № 0115U003165 и № 0115U003166, финансируемых Минис- терством образования и науки Украины. а б Рис. 2. Профили распределения ионов Мо+ и W+ в ти- тановом сплаве ВТ-6: а — после имплантации дозой 2 × 1017 см–2; б — после последующего термического отжига в вакууме при температуре 823 K в течение 2 часов ТЕМПЕРАТУРНАЯ ЗАВИСИМОСТЬ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ИМПЛАНТИРОВАННЫХ ИОНОВ Мо+ И W+ ПО ГЛУБИНЕ... ФІП ФИП PSE, 2015, т. 13, № 3, vol. 13, No. 3410 ВЫВОДЫ 1. Проанализировано влияние импланта- ции ионов металлов Мо+ и W+ в титановые сплавы на фазовый состав и диффузионную подвижность атомов в приповерхностных слоях. Установлено, что величина эффек- тивного коэффициента диффузии Мо и W в титановых сплавах составляет DMo @ 2,8 × 10–12 м2/с и DW @ 10–13 м2/с. Уширение линии α-Ti (101) указывает на тенденцию увеличе- ния деформации кристаллической решетки α-Ti, при имплантации тяжелых ионов W и Mo. Двойная имплантация тяжелыми ио- нами W+ и Мо+, имеющими большой размер и массу по сравнению с титаном приводит к замедлению межфазной и зернограничной диффузии за счет создания тонких прослоек фаз β-Ti. 2. Имплантация ионов W+ и Мо+ в ти- тановые сплавы ВТ-6 приводит к появлению дополнительной линии (111) Al3Ti. После отжига при температуре 823 K основные из- менения связаны с фазой Al3Ti, на дифрак- тограммах наблюдается обособленный пик (111) Al3Ti. ЛИТЕРАТУРА 1. Панова Т. К., Писчаcов Н. И., Геринг Г. И., Ковивчак В. С. Фазовые превращения в ти- тановых сплавах под действием мощных ионных пучков // Перспективные материа- лы. — 1998. — № 5. — С. 73–76. 2. Погребняк А. Д., Кульментьева О. П. Струк- турно-фазовые превращения в поверхност- ных слоях и свойства металлических ма- териалов после импульсного воздействия пучков частиц // ФИП. — 2003. — Т. 1, № 2. — С. 108–136. 3. Старк Дж. П. Диффузия в твердых телах / Пер. с англ. — М.: Энергия, 1980. — 239 с. 4. Duvanov S. M., Balogh A. G. Two-stage diffusion and nanoparticle formation in heavily implanted polycrystalline Al2O3 // Nucl. Instr. and Meth. B. — 2000. — Vol. 171. — P. 475– 480. 5. Поварова К. Я., Банных О. А., Буров И. В., Заварзина Е. К., Титова Т. Ф., Заварзин И. А., Иванов В. И. Структура и некоторые свой- ства литых сплавов на основе TiAl, леги- рованных V, Nb, Ta, Hf, Zr // Металлы. — 1998. — № 3. — С. 31−41. 6. Pogrebnjak A. D. , Bratushka S. N., Uglov V. V., Rusakov V. S., Beresnev V. M., Anischik V. M., Malikov L. V., Levintant N., Zukovski P. Structures and properties of Ti alloys after double implantation // Vacuum. — 2009. — Vol. 83, No. 6. — Р. 241−244. 7. Погребняк А. Д., Ердыбаева Н. К., Мали- ков Л. В. и др. Влияние высокодозовой имплантации ионов металлов и газов на физико-механические свойства титановых сплавов // Вопросы атомной науки и техни- ки: серия Вакуум, чистые металлы, сверх- проводники. — 2008. — № 31. — С. 81–92. LITERATURA 1. Panova T. K., Pischacov N. I., Gering G. I., Kovivchak V. S. Fazovye prevrascheniya v titanovyh splavah pod dejstviem moschnyh ionnyh puchkov // Perspektivnye materialy. — 1998. — No. 5. — P. 73–76. 2. Pogrebnyak A. D., Kul’ment’eva O. P. Struk- turno-fazovye prevrascheniya v poverhnostnyh sloyah i svojstva metallicheskih materialov pos- le impul’snogo vozdejstviya puchkov chastic // FIP. — 2003. — Vol. 1, No. 2. — P. 108–136. 3. Stark Dzh. P. Diffuziya v tverdyh telah / Per. s angl. — M.: Energiya, 1980. — 239 p. 4. Duvanov S. M., Balogh A. G. Two-stage dif- fusion and nanoparticle formation in heavily implanted polycrystalline Al2O3 // Nucl. Instr. and Meth. B. — 2000. — Vol. 171. — P. 475– 480. 5. Povarova K. Ya., Bannyh O. A., Burov I. V., Zavarzina E. K., Titova T. F., Zavarzin I. A., Ivanov V. I. Struktura i nekotorye svojstva lityh splavov na osnove TiAl, legirovannyh V, Nb, Ta, Hf,Zr // Metally. — 1998. — No. 3. — P. 31−41. 6. Pogrebnjak A. D. , Bratushka S. N., Uglov V. V., Rusakov V. S., Beresnev V. M., Anischik V. M., Malikov L. V., Levintant N., Zukovski P. Struc- tures and properties of Ti alloys after double implantation // Vacuum. — 2009. — Vol. 83, No. 6. — P. 241−244. 7. Pogrebnyak A. D., Erdybaeva N. K., Mali- kov L. V. i dr. Vliyanie vysokodozovoj im- plan tacii ionov metallov i gazov na fiziko- meha nicheskie svojstva titanovyh splavov // Vop rosy atomnoj nauki i tehniki: seriya Vakuum, chistye metally, sverhprovodniki. — 2008. — No. 31. — P. 81–92.

Similar Items