2025-02-23T08:59:56-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-10888%22&qt=morelikethis&rows=5

2025-02-23T08:59:56-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-10888%22&qt=morelikethis&rows=5

2025-02-23T08:59:56-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK

2025-02-23T08:59:56-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response

Измерительное плечо интерферометра миллиметрового диапазона для контроля толщины тонких диэлектрических пленок

Исследуется новый волноведущий тракт, состоящий из плоскопараллельного открытого волновода и двух секторных рупоров специальной геометрии, который при использовании его в составе измерительного плеча интерферометра 4-мм диапазона обеспечивает возможность субмикронной разрешающей способности при бес...

Full description

Saved in:

Bibliographic Details
Main Authors:	Буданов, В.Е., Суслов, Н.Н., Шубенко, А.Л., Степанов, В.Ю.
Format:	Article
Language:	Russian
Published:	Інститут радіофізики і електроніки ім. А.Я. Усикова НАН України 2007
Subjects:	Прикладная радиофизика
Online Access:	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/10888
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!

id	irk-123456789-10888
record_format	dspace
spelling	irk-123456789-108882010-08-10T12:02:30Z Измерительное плечо интерферометра миллиметрового диапазона для контроля толщины тонких диэлектрических пленок Буданов, В.Е. Суслов, Н.Н. Шубенко, А.Л. Степанов, В.Ю. Прикладная радиофизика Исследуется новый волноведущий тракт, состоящий из плоскопараллельного открытого волновода и двух секторных рупоров специальной геометрии, который при использовании его в составе измерительного плеча интерферометра 4-мм диапазона обеспечивает возможность субмикронной разрешающей способности при бесконтактном контроле толщины тонких диэлектрических пленок в процессе их производства. Досліджується запропонований новий хвильоведучий тракт, що складається із плоскопаралельного відкритого хвилеводу і двох секторних рупорів спеціальної геометрії, який при використанні його у складі вимірювального плеча інтерферометра 4-мм діапазону забезпечує можливість субмікронної розрізнювальної здатності при безконтактному контролі товщини тонких діелектричних плівок у процесі їх виробництва. The new wave guiding tract which is consist of the parallel plates of open waveguide and two sector horns of special geometry, which ones are provide in the measuring interferometer's shoulder of an submillimeter resolving capacity in the 4-mm waveband at the contact less thickness dielectric films control during their production is under consideration. 2007 Article Измерительное плечо интерферометра миллиметрового диапазона для контроля толщины тонких диэлектрических пленок / В.Е. Буданов, Н.Н. Суслов, А.Л. Шубенко, В.Ю. Степанов // Радіофізика та електроніка. — 2007. — Т. 12, № 3. — С. 610-614. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. 1028-821X http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/10888 620.179 ru Інститут радіофізики і електроніки ім. А.Я. Усикова НАН України
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
language	Russian
topic	Прикладная радиофизика Прикладная радиофизика
spellingShingle	Прикладная радиофизика Прикладная радиофизика Буданов, В.Е. Суслов, Н.Н. Шубенко, А.Л. Степанов, В.Ю. Измерительное плечо интерферометра миллиметрового диапазона для контроля толщины тонких диэлектрических пленок
description	Исследуется новый волноведущий тракт, состоящий из плоскопараллельного открытого волновода и двух секторных рупоров специальной геометрии, который при использовании его в составе измерительного плеча интерферометра 4-мм диапазона обеспечивает возможность субмикронной разрешающей способности при бесконтактном контроле толщины тонких диэлектрических пленок в процессе их производства.
format	Article
author	Буданов, В.Е. Суслов, Н.Н. Шубенко, А.Л. Степанов, В.Ю.
author_facet	Буданов, В.Е. Суслов, Н.Н. Шубенко, А.Л. Степанов, В.Ю.
author_sort	Буданов, В.Е.
title	Измерительное плечо интерферометра миллиметрового диапазона для контроля толщины тонких диэлектрических пленок
title_short	Измерительное плечо интерферометра миллиметрового диапазона для контроля толщины тонких диэлектрических пленок
title_full	Измерительное плечо интерферометра миллиметрового диапазона для контроля толщины тонких диэлектрических пленок
title_fullStr	Измерительное плечо интерферометра миллиметрового диапазона для контроля толщины тонких диэлектрических пленок
title_full_unstemmed	Измерительное плечо интерферометра миллиметрового диапазона для контроля толщины тонких диэлектрических пленок
title_sort	измерительное плечо интерферометра миллиметрового диапазона для контроля толщины тонких диэлектрических пленок
publisher	Інститут радіофізики і електроніки ім. А.Я. Усикова НАН України
publishDate	2007
topic_facet	Прикладная радиофизика
url	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/10888
citation_txt	Измерительное плечо интерферометра миллиметрового диапазона для контроля толщины тонких диэлектрических пленок / В.Е. Буданов, Н.Н. Суслов, А.Л. Шубенко, В.Ю. Степанов // Радіофізика та електроніка. — 2007. — Т. 12, № 3. — С. 610-614. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.
work_keys_str_mv	AT budanovve izmeritelʹnoeplečointerferometramillimetrovogodiapazonadlâkontrolâtolŝinytonkihdiélektričeskihplenok AT suslovnn izmeritelʹnoeplečointerferometramillimetrovogodiapazonadlâkontrolâtolŝinytonkihdiélektričeskihplenok AT šubenkoal izmeritelʹnoeplečointerferometramillimetrovogodiapazonadlâkontrolâtolŝinytonkihdiélektričeskihplenok AT stepanovvû izmeritelʹnoeplečointerferometramillimetrovogodiapazonadlâkontrolâtolŝinytonkihdiélektričeskihplenok
first_indexed	2023-10-18T16:45:36Z
last_indexed	2023-10-18T16:45:36Z
_version_	1796139808537444352

Измерительное плечо интерферометра миллиметрового диапазона для контроля толщины тонких диэлектрических пленок

Similar Items