Київський скануючий ядерний мікрозонд з методикою прецизійного програмованого опромінення зразка мікропучком іонів

• Дата: 2012
• Автори: Лебедь, С.О., Кухаренко, О.Г., Толмачов, М.Г., Третяк, О.В.
• Формат: Стаття
• Мова: Russian
• Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2012
• Назва видання: Вопросы атомной науки и техники
• Теми: Диагностика и методы исследований
• Онлайн доступ: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/109031
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Київський скануючий ядерний мікрозонд з методикою прецизійного програмованого опромінення зразка мікропучком іонів / С.О. Лебедь, О.Г. Кухаренко, М.Г. Толмачов, О.В. Третяк // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 5. — С. 131-138. — Бібліогр.: 17 назв. — рос.

В Києві збудована високотехнологічна установка – скануючий ядерний мікрозонд (ЯМЗ) з трьома ядерно-фізичними методиками. Дві з цих методик застосовуються для мікроаналітичних досліджень хімічного складу зразка, а третя – дозволяє виконувати його прецизійне програмоване опромінення (ППО) мікропучком протонів (або альфа-частинок) з енергією 1…2 МеВ. У роботі надана інформація щодо головних особливостей цих методик і техніки експерименту. Наведено приклад комбінованого застосування трьох методик для виконання послідовно (або одночасно) керованої модифікації напівпровідникового зразка радіаційними дефектами і мікроаналізу його складу. Показано, що інсталяція методики ППО на Київському ЯМЗ відкриває додаткову можливість щодо виготовлення 3-D мікроструктур за новою безмасковою технологією.