2025-02-23T13:46:20-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-109031%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T13:46:20-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-109031%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T13:46:20-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T13:46:20-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response

Київський скануючий ядерний мікрозонд з методикою прецизійного програмованого опромінення зразка мікропучком іонів

В Києві збудована високотехнологічна установка – скануючий ядерний мікрозонд (ЯМЗ) з трьома ядерно-фізичними методиками. Дві з цих методик застосовуються для мікроаналітичних досліджень хімічного складу зразка, а третя – дозволяє виконувати його прецизійне програмоване опромінення (ППО) мікропучком...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Лебедь, С.О., Кухаренко, О.Г., Толмачов, М.Г., Третяк, О.В.
Format: Article
Language:Russian
Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2012
Series:Вопросы атомной науки и техники
Subjects:
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/109031
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Description
Summary:В Києві збудована високотехнологічна установка – скануючий ядерний мікрозонд (ЯМЗ) з трьома ядерно-фізичними методиками. Дві з цих методик застосовуються для мікроаналітичних досліджень хімічного складу зразка, а третя – дозволяє виконувати його прецизійне програмоване опромінення (ППО) мікропучком протонів (або альфа-частинок) з енергією 1…2 МеВ. У роботі надана інформація щодо головних особливостей цих методик і техніки експерименту. Наведено приклад комбінованого застосування трьох методик для виконання послідовно (або одночасно) керованої модифікації напівпровідникового зразка радіаційними дефектами і мікроаналізу його складу. Показано, що інсталяція методики ППО на Київському ЯМЗ відкриває додаткову можливість щодо виготовлення 3-D мікроструктур за новою безмасковою технологією.