Kinetic simulation of low pressure RF discharge in nonuniform axisymmetric magnetic field

Kinetic simulation of low pressure RF discharge in nonuniform axisymmetric magnetic field

An implicit 2D3V PIC/MCC code has been developed for the kinetic simulation of low pressure RF discharges. The code uses coupled particle-in-cell method (PIC) for calculation collisionless dynamic of the plasma particles and Monte-Carlo method (MCC) for taking in account the particle collisions. For...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2012
Автор: Olshansky, V.V.
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2012
Назва видання:Вопросы атомной науки и техники
Теми:
Фундаментальная физика плазмы
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/109107
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Kinetic simulation of low pressure RF discharge in nonuniform axisymmetric magnetic field / V.V. Olshansky // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 6. — С. 77-80. — Бібліогр.: 9 назв. — англ.

Репозиторії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-109107
record_format dspace
spelling irk-123456789-1091072016-11-21T03:02:41Z Kinetic simulation of low pressure RF discharge in nonuniform axisymmetric magnetic field Olshansky, V.V. Фундаментальная физика плазмы An implicit 2D3V PIC/MCC code has been developed for the kinetic simulation of low pressure RF discharges. The code uses coupled particle-in-cell method (PIC) for calculation collisionless dynamic of the plasma particles and Monte-Carlo method (MCC) for taking in account the particle collisions. For the computation time reduction a number of physical and numerical methods of speeding up the code were introduced, such as the implicit schemes of the particles motion and fields computation, the electron sub-cycling and so on. The developed code is applied to the plasma dynamic investigation in capacitively coupled plasma RF discharge enhanced by the external magnetic field which is used in the neutral loop discharges (NLD). Для кинетического моделирования ВЧ-разрядов низкого давления разработан неявный 2D3V PIC/MCC код. Код использует метод «частица в ячейке» (PIC) для расчета бесстолкновительной динамики частиц плазмы и метод «Монте-Карло» (MCC) для учета парных столкновений частиц. Для сокращения компьютер- ного времени в коде применяются различные численные и физические методы ускорения расчета, такие как неявный метод расчета движения частиц и полей, электронные подциклы и другие методы. Разработанный код применяется для исследования динамики плазмы в ёмкостном плазменном ВЧ-разряде, усиленном внешним магнитным полем, используемом в разрядах с нейтральным контуром (NLD). Для кінетичного моделювання ВЧ-розрядів низького тиску розроблено неявний 2D3V PIC/MCC код. Код використовує метод «частинка в клітинці» (PIC) для розрахунку динаміки частинок плазми без зіткнень і метод «Монте-Карло» (MCC) для врахування парних зіткнень частинок. Для скорочення комп’ютерного часу в коді застосовано різні числові та фізичні методи прискорення розрахунку, такі як неявний метод обчислення руху частинок і полів, електронні підцикли та інші методи. Розроблений код застосовується для дослідження динаміки плазми в ємнісному плазмовому ВЧ-розряді, підсиленому зовнішнім магнітним полем, що використовується в розрядах з нейтральним контуром (NLD). 2012 Article Kinetic simulation of low pressure RF discharge in nonuniform axisymmetric magnetic field / V.V. Olshansky // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 6. — С. 77-80. — Бібліогр.: 9 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.65.Rr; 52.80.Pi http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/109107 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language English
topic Фундаментальная физика плазмы
Фундаментальная физика плазмы
spellingShingle Фундаментальная физика плазмы
Фундаментальная физика плазмы
Olshansky, V.V.
Kinetic simulation of low pressure RF discharge in nonuniform axisymmetric magnetic field
Вопросы атомной науки и техники
description An implicit 2D3V PIC/MCC code has been developed for the kinetic simulation of low pressure RF discharges. The code uses coupled particle-in-cell method (PIC) for calculation collisionless dynamic of the plasma particles and Monte-Carlo method (MCC) for taking in account the particle collisions. For the computation time reduction a number of physical and numerical methods of speeding up the code were introduced, such as the implicit schemes of the particles motion and fields computation, the electron sub-cycling and so on. The developed code is applied to the plasma dynamic investigation in capacitively coupled plasma RF discharge enhanced by the external magnetic field which is used in the neutral loop discharges (NLD).
format Article
author Olshansky, V.V.
author_facet Olshansky, V.V.
author_sort Olshansky, V.V.
title Kinetic simulation of low pressure RF discharge in nonuniform axisymmetric magnetic field
title_short Kinetic simulation of low pressure RF discharge in nonuniform axisymmetric magnetic field
title_full Kinetic simulation of low pressure RF discharge in nonuniform axisymmetric magnetic field
title_fullStr Kinetic simulation of low pressure RF discharge in nonuniform axisymmetric magnetic field
title_full_unstemmed Kinetic simulation of low pressure RF discharge in nonuniform axisymmetric magnetic field
title_sort kinetic simulation of low pressure rf discharge in nonuniform axisymmetric magnetic field
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
publishDate 2012
topic_facet Фундаментальная физика плазмы
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/109107
citation_txt Kinetic simulation of low pressure RF discharge in nonuniform axisymmetric magnetic field / V.V. Olshansky // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 6. — С. 77-80. — Бібліогр.: 9 назв. — англ.
series Вопросы атомной науки и техники
work_keys_str_mv AT olshanskyvv kineticsimulationoflowpressurerfdischargeinnonuniformaxisymmetricmagneticfield
first_indexed 2023-10-18T20:19:11Z
last_indexed 2023-10-18T20:19:11Z
_version_ 1796149545568043008

Схожі ресурси