Effect of increasing surface roughness on sputtering and reflection
In this work, the SDTrimSP-2D code was used for numerical simulation of the interaction of ions with a 2D periodical structure as idealized test system to investigate the influence of surface roughness on sputtering. Sputtering yield and reflection coefficient have been studied as a function of the...
Збережено в:
| Дата: | 2012 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2012
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/109143 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Effect of increasing surface roughness on sputtering and reflection / I. Bizyukov, A. Mutzke, R. Schneider // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 6. — С. 111-113. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-109143 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1091432016-11-21T03:02:54Z Effect of increasing surface roughness on sputtering and reflection Bizyukov, I. Mutzke, A. Schneider, R. Динамика плазмы и взаимодействие плазмы со стенкой In this work, the SDTrimSP-2D code was used for numerical simulation of the interaction of ions with a 2D periodical structure as idealized test system to investigate the influence of surface roughness on sputtering. Sputtering yield and reflection coefficient have been studied as a function of the size of the pitch grating structure. Simulations show that the most important changes in ion-surface interactions occur when the structure size gets approximately equal to the size of the collisional cascade.. Код SDTrimSP-2D использовался для моделирования взаимодействия ионов с двухмерной поверхностью, которая взята в качестве идеализированной тестовой системы для исследования влияния шероховатости. Коэффициенты распыления и отражения изучались как функции характерного размера структуры дифракционной решетки. Моделирование показало, что наиболее важные изменения во взаимодействии ионов с поверхностью происходят тогда, когда размер структуры приблизительно равен размеру столкновительного каскада. Код SDTrimSP-2D використовувався для моделювання взаємодії іонів з двомірною поверхнею, яка обрана у якості ідеалізованої тестової системи для дослідження впливу шорсткості. Коефіцієнти розпилення і відбиття вивчалися як функціі характерного розміру структури дифракційної решітки. Моделювання показало, що найбільш важливі зміни у взаємодії іонів з поверхнею відбуваються тоді, коли розмір структури приблизно дорівнює розміру каскаду зіткнень. 2012 Article Effect of increasing surface roughness on sputtering and reflection / I. Bizyukov, A. Mutzke, R. Schneider // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 6. — С. 111-113. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 79.20 Rf http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/109143 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
English |
| topic |
Динамика плазмы и взаимодействие плазмы со стенкой Динамика плазмы и взаимодействие плазмы со стенкой |
| spellingShingle |
Динамика плазмы и взаимодействие плазмы со стенкой Динамика плазмы и взаимодействие плазмы со стенкой Bizyukov, I. Mutzke, A. Schneider, R. Effect of increasing surface roughness on sputtering and reflection Вопросы атомной науки и техники |
| description |
In this work, the SDTrimSP-2D code was used for numerical simulation of the interaction of ions with a 2D periodical structure as idealized test system to investigate the influence of surface roughness on sputtering. Sputtering yield and reflection coefficient have been studied as a function of the size of the pitch grating structure. Simulations show that the most important changes in ion-surface interactions occur when the structure size gets approximately equal to the size of the collisional cascade.. |
| format |
Article |
| author |
Bizyukov, I. Mutzke, A. Schneider, R. |
| author_facet |
Bizyukov, I. Mutzke, A. Schneider, R. |
| author_sort |
Bizyukov, I. |
| title |
Effect of increasing surface roughness on sputtering and reflection |
| title_short |
Effect of increasing surface roughness on sputtering and reflection |
| title_full |
Effect of increasing surface roughness on sputtering and reflection |
| title_fullStr |
Effect of increasing surface roughness on sputtering and reflection |
| title_full_unstemmed |
Effect of increasing surface roughness on sputtering and reflection |
| title_sort |
effect of increasing surface roughness on sputtering and reflection |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2012 |
| topic_facet |
Динамика плазмы и взаимодействие плазмы со стенкой |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/109143 |
| citation_txt |
Effect of increasing surface roughness on sputtering and reflection / I. Bizyukov, A. Mutzke, R. Schneider // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 6. — С. 111-113. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT bizyukovi effectofincreasingsurfaceroughnessonsputteringandreflection AT mutzkea effectofincreasingsurfaceroughnessonsputteringandreflection AT schneiderr effectofincreasingsurfaceroughnessonsputteringandreflection |
| first_indexed |
2023-10-18T20:19:17Z |
| last_indexed |
2023-10-18T20:19:17Z |
| _version_ |
1796149549384859648 |