Experimental investigation and computer simulation of the magnetron sputtering device with two erosion zones
There was built the self-consistent computer model of the magnetron sputtering device with two erosion zones of cathode-target, based on Monte Carlo algorithm. The magnetron sputtering device is an additional module for the industrial vacuum system VUP-5. The results of computer simulation and the e...
Збережено в:
| Видавець: | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
|---|---|
| Дата: | 2013 |
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2013
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/109287 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Цитувати: | Experimental investigation and computer simulation of the magnetron sputtering device with two erosion zones / R.V. Bogdanov, O.M. Kostiukevych // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 1. — С. 189-191. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. |
Репозиторії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-109287 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1092872016-11-23T03:02:41Z Experimental investigation and computer simulation of the magnetron sputtering device with two erosion zones Bogdanov, R.V. Kostiukevych, O.M. Низкотемпературная плазма и плазменные технологии There was built the self-consistent computer model of the magnetron sputtering device with two erosion zones of cathode-target, based on Monte Carlo algorithm. The magnetron sputtering device is an additional module for the industrial vacuum system VUP-5. The results of computer simulation and the experimental data from test targets sputtering on this magnetron sputtering device demonstrated their compliance in the identical conditions. Построена самосогласованная компьютерная модель магнетронного распылительного устройства с двумя зонами эрозии катода-мишени. Использовался алгоритм Монте-Карло. Магнетронное распылительное устройство является дополнительным модулем для промышленной вакуумной установки ВУП-5. Сравнение результатов компьютерного моделирования и экспериментальных данных распыления тестовых мишеней на данном магнетронном распылительном устройстве продемонстрировало их соответствие при одинаковых условиях. Побудована самоузгоджена комп’ютерна модель магнетронного розпилювального пристрою з двома зонами ерозії катода-мішені. Використовувався алгоритм Монте-Карло. Магнетронний розпилювальний пристрій є додатковим модулем для промислової вакуумної установки ВУП-5. Порівняння результатів комп’ютерного моделювання та експериментальних даних розпилення тестових мішеней на даному магнетронному розпилювальному пристрої продемонструвало їх відповідність за однакових умов. 2013 2013 Article Experimental investigation and computer simulation of the magnetron sputtering device with two erosion zones / R.V. Bogdanov, O.M. Kostiukevych // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 1. — С. 189-191. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.65.Pp, 52.75.-d, 52.80.Sm http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/109287 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
English |
| topic |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| spellingShingle |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Bogdanov, R.V. Kostiukevych, O.M. Experimental investigation and computer simulation of the magnetron sputtering device with two erosion zones Вопросы атомной науки и техники |
| description |
There was built the self-consistent computer model of the magnetron sputtering device with two erosion zones of cathode-target, based on Monte Carlo algorithm. The magnetron sputtering device is an additional module for the industrial vacuum system VUP-5. The results of computer simulation and the experimental data from test targets sputtering on this magnetron sputtering device demonstrated their compliance in the identical conditions. |
| format |
Article |
| author |
Bogdanov, R.V. Kostiukevych, O.M. |
| author_facet |
Bogdanov, R.V. Kostiukevych, O.M. |
| author_sort |
Bogdanov, R.V. |
| title |
Experimental investigation and computer simulation of the magnetron sputtering device with two erosion zones |
| title_short |
Experimental investigation and computer simulation of the magnetron sputtering device with two erosion zones |
| title_full |
Experimental investigation and computer simulation of the magnetron sputtering device with two erosion zones |
| title_fullStr |
Experimental investigation and computer simulation of the magnetron sputtering device with two erosion zones |
| title_full_unstemmed |
Experimental investigation and computer simulation of the magnetron sputtering device with two erosion zones |
| title_sort |
experimental investigation and computer simulation of the magnetron sputtering device with two erosion zones |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2013 |
| topic_facet |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/109287 |
| citation_txt |
Experimental investigation and computer simulation of the magnetron sputtering device with two erosion zones / R.V. Bogdanov, O.M. Kostiukevych // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 1. — С. 189-191. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT bogdanovrv experimentalinvestigationandcomputersimulationofthemagnetronsputteringdevicewithtwoerosionzones AT kostiukevychom experimentalinvestigationandcomputersimulationofthemagnetronsputteringdevicewithtwoerosionzones |
| first_indexed |
2023-10-18T20:19:38Z |
| last_indexed |
2023-10-18T20:19:38Z |
| _version_ |
1796149564657369088 |