Characterization of plasma and emergent ion beam in a compact helicon source with permanent magnets

A compact helicon source with multi-component changeable magnetic system was studied to gain enhanced parameters of plasma and emergent ion beam. Alteration of the magnetic field configuration was found to be the main instrument for increasing the plasma density and ion beam current. The source effi...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2007
Автори: Virko, Yu.V., Virko, V.F., Shamrai, K.P., Yakimenko, A.I.
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2007
Назва видання:Вопросы атомной науки и техники
Теми:
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/110512
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Characterization of plasma and emergent ion beam in a compact helicon source with permanent magnets / Yu.V. Virko, V.F. Virko, K.P. Shamrai, A.I. Yakimenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 1. — С. 136-138. — Бібліогр.: 7 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-110512
record_format dspace
spelling irk-123456789-1105122017-01-05T03:04:11Z Characterization of plasma and emergent ion beam in a compact helicon source with permanent magnets Virko, Yu.V. Virko, V.F. Shamrai, K.P. Yakimenko, A.I. Low temperature plasma and plasma technologies A compact helicon source with multi-component changeable magnetic system was studied to gain enhanced parameters of plasma and emergent ion beam. Alteration of the magnetic field configuration was found to be the main instrument for increasing the plasma density and ion beam current. The source efficiency was also critically dependent on the rf antenna position and Ar gas pressure. By optimizing these parameters, plasma outflow was greatly increased and the emergent ion beam of energy above 100 eV was produced. Досліджено компактне геліконне джерело з багатокомпонентною змінюваною магнітною системою з метою одержання поліпшених параметрів плазми та вихідного іонного пучка. Зміна магнітної конфігурації виявилась основним засобом для підвищення густини плазми та струму іонного пучка. Ефективність джерела також критично залежала від розташування ВЧ- антени та тиску аргона. Шляхом оптимізації цих параметрів був істотно підвищено вихід плазми та одержано вихідний пучок іонів з енергіями понад 100 еВ. Исследован компактный геликонный источник с многокомпонентной изменяемой магнитной ситемой с целью получения улучшенных параметров плазмы и выходящего ионного пучка. Изменение магнитной конфигурации оказалось основным средством для повышения плотности плазмы и тока ионного пучка. Эффективность источника также критически зависела от положения ВЧ- антенны и давления аргона. Путем оптимизации этих параметров был существенно повышен выход плазмы и получен выходящий пучок ионов с энергиями свыше 100 эВ. 2007 Article Characterization of plasma and emergent ion beam in a compact helicon source with permanent magnets / Yu.V. Virko, V.F. Virko, K.P. Shamrai, A.I. Yakimenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 1. — С. 136-138. — Бібліогр.: 7 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.50.Qt, 52.75.Di, 52.80.Pi http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/110512 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language English
topic Low temperature plasma and plasma technologies
Low temperature plasma and plasma technologies
spellingShingle Low temperature plasma and plasma technologies
Low temperature plasma and plasma technologies
Virko, Yu.V.
Virko, V.F.
Shamrai, K.P.
Yakimenko, A.I.
Characterization of plasma and emergent ion beam in a compact helicon source with permanent magnets
Вопросы атомной науки и техники
description A compact helicon source with multi-component changeable magnetic system was studied to gain enhanced parameters of plasma and emergent ion beam. Alteration of the magnetic field configuration was found to be the main instrument for increasing the plasma density and ion beam current. The source efficiency was also critically dependent on the rf antenna position and Ar gas pressure. By optimizing these parameters, plasma outflow was greatly increased and the emergent ion beam of energy above 100 eV was produced.
format Article
author Virko, Yu.V.
Virko, V.F.
Shamrai, K.P.
Yakimenko, A.I.
author_facet Virko, Yu.V.
Virko, V.F.
Shamrai, K.P.
Yakimenko, A.I.
author_sort Virko, Yu.V.
title Characterization of plasma and emergent ion beam in a compact helicon source with permanent magnets
title_short Characterization of plasma and emergent ion beam in a compact helicon source with permanent magnets
title_full Characterization of plasma and emergent ion beam in a compact helicon source with permanent magnets
title_fullStr Characterization of plasma and emergent ion beam in a compact helicon source with permanent magnets
title_full_unstemmed Characterization of plasma and emergent ion beam in a compact helicon source with permanent magnets
title_sort characterization of plasma and emergent ion beam in a compact helicon source with permanent magnets
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
publishDate 2007
topic_facet Low temperature plasma and plasma technologies
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/110512
citation_txt Characterization of plasma and emergent ion beam in a compact helicon source with permanent magnets / Yu.V. Virko, V.F. Virko, K.P. Shamrai, A.I. Yakimenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 1. — С. 136-138. — Бібліогр.: 7 назв. — англ.
series Вопросы атомной науки и техники
work_keys_str_mv AT virkoyuv characterizationofplasmaandemergentionbeaminacompactheliconsourcewithpermanentmagnets
AT virkovf characterizationofplasmaandemergentionbeaminacompactheliconsourcewithpermanentmagnets
AT shamraikp characterizationofplasmaandemergentionbeaminacompactheliconsourcewithpermanentmagnets
AT yakimenkoai characterizationofplasmaandemergentionbeaminacompactheliconsourcewithpermanentmagnets
first_indexed 2024-03-30T09:13:14Z
last_indexed 2024-03-30T09:13:14Z
_version_ 1796149685367341056