Characterization of plasma and emergent ion beam in a compact helicon source with permanent magnets
A compact helicon source with multi-component changeable magnetic system was studied to gain enhanced parameters of plasma and emergent ion beam. Alteration of the magnetic field configuration was found to be the main instrument for increasing the plasma density and ion beam current. The source effi...
Збережено в:
Дата: | 2007 |
---|---|
Автори: | , , , |
Формат: | Стаття |
Мова: | English |
Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2007
|
Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
Теми: | |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/110512 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Цитувати: | Characterization of plasma and emergent ion beam in a compact helicon source with permanent magnets / Yu.V. Virko, V.F. Virko, K.P. Shamrai, A.I. Yakimenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 1. — С. 136-138. — Бібліогр.: 7 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraineid |
irk-123456789-110512 |
---|---|
record_format |
dspace |
spelling |
irk-123456789-1105122017-01-05T03:04:11Z Characterization of plasma and emergent ion beam in a compact helicon source with permanent magnets Virko, Yu.V. Virko, V.F. Shamrai, K.P. Yakimenko, A.I. Low temperature plasma and plasma technologies A compact helicon source with multi-component changeable magnetic system was studied to gain enhanced parameters of plasma and emergent ion beam. Alteration of the magnetic field configuration was found to be the main instrument for increasing the plasma density and ion beam current. The source efficiency was also critically dependent on the rf antenna position and Ar gas pressure. By optimizing these parameters, plasma outflow was greatly increased and the emergent ion beam of energy above 100 eV was produced. Досліджено компактне геліконне джерело з багатокомпонентною змінюваною магнітною системою з метою одержання поліпшених параметрів плазми та вихідного іонного пучка. Зміна магнітної конфігурації виявилась основним засобом для підвищення густини плазми та струму іонного пучка. Ефективність джерела також критично залежала від розташування ВЧ- антени та тиску аргона. Шляхом оптимізації цих параметрів був істотно підвищено вихід плазми та одержано вихідний пучок іонів з енергіями понад 100 еВ. Исследован компактный геликонный источник с многокомпонентной изменяемой магнитной ситемой с целью получения улучшенных параметров плазмы и выходящего ионного пучка. Изменение магнитной конфигурации оказалось основным средством для повышения плотности плазмы и тока ионного пучка. Эффективность источника также критически зависела от положения ВЧ- антенны и давления аргона. Путем оптимизации этих параметров был существенно повышен выход плазмы и получен выходящий пучок ионов с энергиями свыше 100 эВ. 2007 Article Characterization of plasma and emergent ion beam in a compact helicon source with permanent magnets / Yu.V. Virko, V.F. Virko, K.P. Shamrai, A.I. Yakimenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 1. — С. 136-138. — Бібліогр.: 7 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.50.Qt, 52.75.Di, 52.80.Pi http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/110512 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
collection |
DSpace DC |
language |
English |
topic |
Low temperature plasma and plasma technologies Low temperature plasma and plasma technologies |
spellingShingle |
Low temperature plasma and plasma technologies Low temperature plasma and plasma technologies Virko, Yu.V. Virko, V.F. Shamrai, K.P. Yakimenko, A.I. Characterization of plasma and emergent ion beam in a compact helicon source with permanent magnets Вопросы атомной науки и техники |
description |
A compact helicon source with multi-component changeable magnetic system was studied to gain enhanced parameters of plasma and emergent ion beam. Alteration of the magnetic field configuration was found to be the main instrument for increasing the plasma density and ion beam current. The source efficiency was also critically dependent on the rf antenna position and Ar gas pressure. By optimizing these parameters, plasma outflow was greatly increased and the emergent ion beam of energy above 100 eV was produced. |
format |
Article |
author |
Virko, Yu.V. Virko, V.F. Shamrai, K.P. Yakimenko, A.I. |
author_facet |
Virko, Yu.V. Virko, V.F. Shamrai, K.P. Yakimenko, A.I. |
author_sort |
Virko, Yu.V. |
title |
Characterization of plasma and emergent ion beam in a compact helicon source with permanent magnets |
title_short |
Characterization of plasma and emergent ion beam in a compact helicon source with permanent magnets |
title_full |
Characterization of plasma and emergent ion beam in a compact helicon source with permanent magnets |
title_fullStr |
Characterization of plasma and emergent ion beam in a compact helicon source with permanent magnets |
title_full_unstemmed |
Characterization of plasma and emergent ion beam in a compact helicon source with permanent magnets |
title_sort |
characterization of plasma and emergent ion beam in a compact helicon source with permanent magnets |
publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
publishDate |
2007 |
topic_facet |
Low temperature plasma and plasma technologies |
url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/110512 |
citation_txt |
Characterization of plasma and emergent ion beam in a compact helicon source with permanent magnets / Yu.V. Virko, V.F. Virko, K.P. Shamrai, A.I. Yakimenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 1. — С. 136-138. — Бібліогр.: 7 назв. — англ. |
series |
Вопросы атомной науки и техники |
work_keys_str_mv |
AT virkoyuv characterizationofplasmaandemergentionbeaminacompactheliconsourcewithpermanentmagnets AT virkovf characterizationofplasmaandemergentionbeaminacompactheliconsourcewithpermanentmagnets AT shamraikp characterizationofplasmaandemergentionbeaminacompactheliconsourcewithpermanentmagnets AT yakimenkoai characterizationofplasmaandemergentionbeaminacompactheliconsourcewithpermanentmagnets |
first_indexed |
2024-03-30T09:13:14Z |
last_indexed |
2024-03-30T09:13:14Z |
_version_ |
1796149685367341056 |