Пучково-плазменный разряд в слабом магнитном поле как источник плазмы для плазмохимического реактора

Пучково-плазменный разряд в слабом магнитном поле как источник плазмы для плазмохимического реактора

Представлен обзор свойств пучково-плазменного разряда, позволяющих использовать его в качестве плазменного реактора для низкоэнергетического травления поверхности полупроводниковых материалов. Проведены эксперименты по изучению функции распределения ионов на периферии пучково-плазменного разряда и н...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2008
Автори: Шустин, Е.Г., Исаев, Н.В., Темирязева, М.П., Тараканов, В.П., Федоров, Ю.В.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2008
Назва видання:Вопросы атомной науки и техники
Теми:
Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/110571
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Пучково-плазменный разряд в слабом магнитном поле как источник плазмы для плазмохимического реактора / Е.Г. Шустин, Н.В. Исаев, М.П. Темирязева, В.П. Тараканов, Ю.В. Федоров // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 4. — С. 169-173. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-110571
record_format dspace
spelling irk-123456789-1105712017-01-05T03:04:58Z Пучково-плазменный разряд в слабом магнитном поле как источник плазмы для плазмохимического реактора Шустин, Е.Г. Исаев, Н.В. Темирязева, М.П. Тараканов, В.П. Федоров, Ю.В. Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия Представлен обзор свойств пучково-плазменного разряда, позволяющих использовать его в качестве плазменного реактора для низкоэнергетического травления поверхности полупроводниковых материалов. Проведены эксперименты по изучению функции распределения ионов на периферии пучково-плазменного разряда и на поверхности образца, подвергаемого травлению. На основе компьютерных и физических экспериментов разработаны способы и технические средства управления энергией и плотностью ионного потока. Определены основные технологические характеристики режимов травления гетероструктур на основе арсенида галлия. Обсуждаются проблемы построения теории пучково-плазменного разряда в замкнутой системе. Представлено огляд властивостей пучково-плазмового розряду, що дозволяють використовувати його в якості плазмового реактора для низькоенергетичного травлення поверхні напівпровідникових матеріалів. Проведено експерименти по вивченню функції розподілу іонів на периферії пучково-плазмового розряду і на поверхні зразка, що піддається травленню На основі комп'ютерних і фізичних експериментів розроблені способи і технічні засоби керування енергією і щільністю іонного потоку. Визначено основні технологічні характеристики режимів травлення гетероструктур на основі арсеніду галію. Обговорюються проблеми побудови теорії пучково-плазмового розряду в замкнутій системі. The review of properties of beam plasma discharge (BPD) permitting to use it as plasma processing reactor for low energy etching of a surface of semiconducting materials is submitted. The experiments on learning a distribution function of ions on periphery of BPD and on a surface of a sample subjected to etching have been carried out. On the basis of computer and physical experiments the means of control of energy and density of an ion flow have been designed. The main technical characteristics of modes of etching of heterostructures on the basis of gallium arsenide are determined. The problems of construction of the theory of BPD in a bounded system are considered. 2008 Article Пучково-плазменный разряд в слабом магнитном поле как источник плазмы для плазмохимического реактора / Е.Г. Шустин, Н.В. Исаев, М.П. Темирязева, В.П. Тараканов, Ю.В. Федоров // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 4. — С. 169-173. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. 1562-6016 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/110571 533.933 ru Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия
Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия
spellingShingle Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия
Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия
Шустин, Е.Г.
Исаев, Н.В.
Темирязева, М.П.
Тараканов, В.П.
Федоров, Ю.В.
Пучково-плазменный разряд в слабом магнитном поле как источник плазмы для плазмохимического реактора
Вопросы атомной науки и техники
description Представлен обзор свойств пучково-плазменного разряда, позволяющих использовать его в качестве плазменного реактора для низкоэнергетического травления поверхности полупроводниковых материалов. Проведены эксперименты по изучению функции распределения ионов на периферии пучково-плазменного разряда и на поверхности образца, подвергаемого травлению. На основе компьютерных и физических экспериментов разработаны способы и технические средства управления энергией и плотностью ионного потока. Определены основные технологические характеристики режимов травления гетероструктур на основе арсенида галлия. Обсуждаются проблемы построения теории пучково-плазменного разряда в замкнутой системе.
format Article
author Шустин, Е.Г.
Исаев, Н.В.
Темирязева, М.П.
Тараканов, В.П.
Федоров, Ю.В.
author_facet Шустин, Е.Г.
Исаев, Н.В.
Темирязева, М.П.
Тараканов, В.П.
Федоров, Ю.В.
author_sort Шустин, Е.Г.
title Пучково-плазменный разряд в слабом магнитном поле как источник плазмы для плазмохимического реактора
title_short Пучково-плазменный разряд в слабом магнитном поле как источник плазмы для плазмохимического реактора
title_full Пучково-плазменный разряд в слабом магнитном поле как источник плазмы для плазмохимического реактора
title_fullStr Пучково-плазменный разряд в слабом магнитном поле как источник плазмы для плазмохимического реактора
title_full_unstemmed Пучково-плазменный разряд в слабом магнитном поле как источник плазмы для плазмохимического реактора
title_sort пучково-плазменный разряд в слабом магнитном поле как источник плазмы для плазмохимического реактора
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
publishDate 2008
topic_facet Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/110571
citation_txt Пучково-плазменный разряд в слабом магнитном поле как источник плазмы для плазмохимического реактора / Е.Г. Шустин, Н.В. Исаев, М.П. Темирязева, В.П. Тараканов, Ю.В. Федоров // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 4. — С. 169-173. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.
series Вопросы атомной науки и техники
work_keys_str_mv AT šustineg pučkovoplazmennyjrazrâdvslabommagnitnompolekakistočnikplazmydlâplazmohimičeskogoreaktora
AT isaevnv pučkovoplazmennyjrazrâdvslabommagnitnompolekakistočnikplazmydlâplazmohimičeskogoreaktora
AT temirâzevamp pučkovoplazmennyjrazrâdvslabommagnitnompolekakistočnikplazmydlâplazmohimičeskogoreaktora
AT tarakanovvp pučkovoplazmennyjrazrâdvslabommagnitnompolekakistočnikplazmydlâplazmohimičeskogoreaktora
AT fedorovûv pučkovoplazmennyjrazrâdvslabommagnitnompolekakistočnikplazmydlâplazmohimičeskogoreaktora
first_indexed 2023-10-18T20:22:18Z
last_indexed 2023-10-18T20:22:18Z
_version_ 1796149688887410688

Схожі ресурси