Application of the modified plasma accelerator for amorphous diamond-like films production

In the paper the problem of diamond-like films production by sputtering of a graphite target in the modified plasma accelerator with closed electrons drift is considered. The diamond-like films with thickness 40...400 nm with deposition velocity 200...400 nm/hour were received. For production of hyd...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2003
Автори:	Bizukov, A.A., Borisko, V.N., Kashaba, А.Е., Sereda, К.D., Yunakov, N.N., Zinov’ev, D.V.
Формат:	Стаття
Мова:	English
Опубліковано:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2003
Назва видання:	Вопросы атомной науки и техники
Теми:	Low temperature plasma and plasma technologies
Онлайн доступ:	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/110615
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Application of the modified plasma accelerator for amorphous diamond-like films production / A.A. Bizukov, V.N. Borisko, А.Е. Kashaba, К.D. Sereda, N.N. Yunakov, D.V. Zinov’ev // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 1. — С. 144-146. — Бібліогр.: 9 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	irk-123456789-110615
record_format	dspace
spelling	irk-123456789-1106152017-01-06T03:02:22Z Application of the modified plasma accelerator for amorphous diamond-like films production Bizukov, A.A. Borisko, V.N. Kashaba, А.Е. Sereda, К.D. Yunakov, N.N. Zinov’ev, D.V. Low temperature plasma and plasma technologies In the paper the problem of diamond-like films production by sputtering of a graphite target in the modified plasma accelerator with closed electrons drift is considered. The diamond-like films with thickness 40...400 nm with deposition velocity 200...400 nm/hour were received. For production of hydrogen the metal hydride block of exterior filling was used. As a hydride forming material the intermetallide LaNi5 was used which ensures necessary hydrogen-capacity and velocity of a sorption - desorption of hydrogen.The electron-diffraction, electron-microscopic and optical investigations of film properties were carried out. It is shown that the described method allows to get amorphous diamond-like films. It is established that films obtained according to classification of Grigorovici R., concern to a structural sandwich-type. The carbon atoms in a layer have a strong covalent bond and between layers there is a weak double bond such as Van der Waals. У роботі розглянута можливість отримання алмазоподібних плівок шляхом розпилення графітової мішені в модифікованому плазмовому прискорювачі з замкнутим дрейфом електронів. Для отримання водню використовувався металогідридний блок зовнішнього напуску, у якому в якості гідридоутворюючого матеріалу використовувався інтерметалід LaNi5, що забезпечує необхідну водневу ємність і швидкість сорбції-десорбції водню.Були отримані алмазоподібні плівки товщиною 40...400 нм зі швидкістю осадження 200...400 нм/г для різних режимів роботи прискорювача. Показано, що даний спосіб дозволяє отримувати аморфні алмазоподібні плівки. Проведені електронографічні, електрономікроскопічні та оптичні дослідження властивостей плівок. Виявлено, що отримані плівки, відповідно до класифікації Grigorovici R., відносяться до шаруватого структурного типу. Атоми вуглецю в шарі мають сильний ковалентний зв'язок, а між шарами існує слабкий зв'язок типу Ван-дер-Вальса. В работе рассмотрен вопрос получения алмазоподобных пленок путем распыления графитовой мишени в модифицированном плазменном ускорителя с замкнутым дрейфом электронов. Для получения водорода использовался металлогидридный блок внешнего напуска, в котором в качестве гидридообразующего материала использовался интерметаллид LaNi5, который обеспечивает необходимую водородоемкость и скорость сорбции-десорбции водорода.В зависимости от режимов работы были получены алмазоподобные пленки толщиной 40…400 нм со скоростью осаждения 200…400 нм/ч. Проведены электроннографические, электронномикроскопические и оптические исследования свойств пленок. Показано, что описываемый способ позволяет получать аморфные алмазоподобные пленки. Установлено, что полученные пленки, согласно классификации Grigorovici R., относятся к слоистому структурному типу. Атомы углерода в слое имеют сильную ковалентную связь, а между слоями существует слабая связь типа Ван-дер-Вальса. 2003 Article Application of the modified plasma accelerator for amorphous diamond-like films production / A.A. Bizukov, V.N. Borisko, А.Е. Kashaba, К.D. Sereda, N.N. Yunakov, D.V. Zinov’ev // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 1. — С. 144-146. — Бібліогр.: 9 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.77.-j http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/110615 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
language	English
topic	Low temperature plasma and plasma technologies Low temperature plasma and plasma technologies
spellingShingle	Low temperature plasma and plasma technologies Low temperature plasma and plasma technologies Bizukov, A.A. Borisko, V.N. Kashaba, А.Е. Sereda, К.D. Yunakov, N.N. Zinov’ev, D.V. Application of the modified plasma accelerator for amorphous diamond-like films production Вопросы атомной науки и техники
description	In the paper the problem of diamond-like films production by sputtering of a graphite target in the modified plasma accelerator with closed electrons drift is considered. The diamond-like films with thickness 40...400 nm with deposition velocity 200...400 nm/hour were received. For production of hydrogen the metal hydride block of exterior filling was used. As a hydride forming material the intermetallide LaNi5 was used which ensures necessary hydrogen-capacity and velocity of a sorption - desorption of hydrogen.The electron-diffraction, electron-microscopic and optical investigations of film properties were carried out. It is shown that the described method allows to get amorphous diamond-like films. It is established that films obtained according to classification of Grigorovici R., concern to a structural sandwich-type. The carbon atoms in a layer have a strong covalent bond and between layers there is a weak double bond such as Van der Waals.
format	Article
author	Bizukov, A.A. Borisko, V.N. Kashaba, А.Е. Sereda, К.D. Yunakov, N.N. Zinov’ev, D.V.
author_facet	Bizukov, A.A. Borisko, V.N. Kashaba, А.Е. Sereda, К.D. Yunakov, N.N. Zinov’ev, D.V.
author_sort	Bizukov, A.A.
title	Application of the modified plasma accelerator for amorphous diamond-like films production
title_short	Application of the modified plasma accelerator for amorphous diamond-like films production
title_full	Application of the modified plasma accelerator for amorphous diamond-like films production
title_fullStr	Application of the modified plasma accelerator for amorphous diamond-like films production
title_full_unstemmed	Application of the modified plasma accelerator for amorphous diamond-like films production
title_sort	application of the modified plasma accelerator for amorphous diamond-like films production
publisher	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
publishDate	2003
topic_facet	Low temperature plasma and plasma technologies
url	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/110615
citation_txt	Application of the modified plasma accelerator for amorphous diamond-like films production / A.A. Bizukov, V.N. Borisko, А.Е. Kashaba, К.D. Sereda, N.N. Yunakov, D.V. Zinov’ev // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 1. — С. 144-146. — Бібліогр.: 9 назв. — англ.
series	Вопросы атомной науки и техники
work_keys_str_mv	AT bizukovaa applicationofthemodifiedplasmaacceleratorforamorphousdiamondlikefilmsproduction AT boriskovn applicationofthemodifiedplasmaacceleratorforamorphousdiamondlikefilmsproduction AT kashabaae applicationofthemodifiedplasmaacceleratorforamorphousdiamondlikefilmsproduction AT seredakd applicationofthemodifiedplasmaacceleratorforamorphousdiamondlikefilmsproduction AT yunakovnn applicationofthemodifiedplasmaacceleratorforamorphousdiamondlikefilmsproduction AT zinovevdv applicationofthemodifiedplasmaacceleratorforamorphousdiamondlikefilmsproduction
first_indexed	2023-10-18T20:22:24Z
last_indexed	2023-10-18T20:22:24Z
_version_	1796149702316523520

Application of the modified plasma accelerator for amorphous diamond-like films production

Репозитарії

Схожі ресурси