Двухкатодный источник фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы

• Дата: 2008
• Автори: Аксенов, И.И., Аксенов, Д.С., Васильев, В.В., Лучанинов, А.А., Решетняк, Е.Н., Стрельницкий, В.Е.
• Формат: Стаття
• Мова: Russian
• Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2008
• Назва видання: Вопросы атомной науки и техники
• Теми: Физика и технология конструкционных материалов
• Онлайн доступ: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/110859
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Двухкатодный источник фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы / И.И. Аксёнов, Д.С. Аксёнов, В.В. Васильев, А.А. Лучанинов, Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 1. — С. 136-141. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Описаны устройство и принцип действия нового двухкатодного источника фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы. Приведены результаты зондовых измерений ионной компоненты выходного плазменного потока в зависимости от величины и геометрии распределения магнитных полей в плазмоведущих каналах источника. Системный коэффициент эффективности устройства составляет ~ 2,5 %. Показана возможность управления диаграммой распределения плотности выходного ионного тока системы. Неравномерность распределения концентрации компонентов покрытия при использовании катодов из разных металлов (алюминия и титана) – около ± 6,5 %.