Двухкатодный источник фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
Описаны устройство и принцип действия нового двухкатодного источника фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы. Приведены результаты зондовых измерений ионной компоненты выходного плазменного потока в зависимости от величины и геометрии распределения магнитных полей в плазмоведущих каналах источника. Си...
Збережено в:
| Дата: | 2008 |
|---|---|
| Автори: | , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2008
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/110859 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Двухкатодный источник фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы / И.И. Аксёнов, Д.С. Аксёнов, В.В. Васильев, А.А. Лучанинов, Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 1. — С. 136-141. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-110859 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1108592017-01-07T03:05:02Z Двухкатодный источник фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы Аксенов, И.И. Аксенов, Д.С. Васильев, В.В. Лучанинов, А.А. Решетняк, Е.Н. Стрельницкий, В.Е. Физика и технология конструкционных материалов Описаны устройство и принцип действия нового двухкатодного источника фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы. Приведены результаты зондовых измерений ионной компоненты выходного плазменного потока в зависимости от величины и геометрии распределения магнитных полей в плазмоведущих каналах источника. Системный коэффициент эффективности устройства составляет ~ 2,5 %. Показана возможность управления диаграммой распределения плотности выходного ионного тока системы. Неравномерность распределения концентрации компонентов покрытия при использовании катодов из разных металлов (алюминия и титана) – около ± 6,5 %. Описані будова та принцип дії нового двохкатодного джерела фільтрованої вакуумно-дугової плазми. Наведено результати зондових вимірювань іонної компоненти вихідного плазмового потоку в залежності від величини та геометрії розподілу магнітних полів плазмоведучих каналів. Системний коефіцієнт ефективності пристрою становить ~ 2,5 %. Нерівномірність розподілу концентрації компонентів композиційного покриття, одержуваного при використанні двох різних металів (титану та алюмінію), не перевищує ± 6,5 %. The device and principle of operation of the new two-cathode filtered vacuum arc plasma source are discussed. Results of probe measurements of ion components of an output plasma stream depending on magnitude and distribution geometry of magnetic fields in plasma guiding channels of the source are presented. The system effectiveness ratio of the device makes ~ 2,5 %. The possibility of control of the ion current density distribution diagram is shown. Inhomogeneity of component concentration distribution of the coating at use of the cathodes from different metals (aluminium and titanium) is about ± 6,5 %. 2008 Article Двухкатодный источник фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы / И.И. Аксёнов, Д.С. Аксёнов, В.В. Васильев, А.А. Лучанинов, Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 1. — С. 136-141. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. 1562-6016 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/110859 621.793 ru Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Физика и технология конструкционных материалов Физика и технология конструкционных материалов |
| spellingShingle |
Физика и технология конструкционных материалов Физика и технология конструкционных материалов Аксенов, И.И. Аксенов, Д.С. Васильев, В.В. Лучанинов, А.А. Решетняк, Е.Н. Стрельницкий, В.Е. Двухкатодный источник фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы Вопросы атомной науки и техники |
| description |
Описаны устройство и принцип действия нового двухкатодного источника фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы. Приведены результаты зондовых измерений ионной компоненты выходного плазменного потока в зависимости от величины и геометрии распределения магнитных полей в плазмоведущих каналах источника. Системный коэффициент эффективности устройства составляет ~ 2,5 %. Показана возможность управления диаграммой распределения плотности выходного ионного тока системы. Неравномерность распределения концентрации компонентов покрытия при использовании катодов из разных металлов (алюминия и титана) – около ± 6,5 %. |
| format |
Article |
| author |
Аксенов, И.И. Аксенов, Д.С. Васильев, В.В. Лучанинов, А.А. Решетняк, Е.Н. Стрельницкий, В.Е. |
| author_facet |
Аксенов, И.И. Аксенов, Д.С. Васильев, В.В. Лучанинов, А.А. Решетняк, Е.Н. Стрельницкий, В.Е. |
| author_sort |
Аксенов, И.И. |
| title |
Двухкатодный источник фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы |
| title_short |
Двухкатодный источник фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы |
| title_full |
Двухкатодный источник фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы |
| title_fullStr |
Двухкатодный источник фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы |
| title_full_unstemmed |
Двухкатодный источник фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы |
| title_sort |
двухкатодный источник фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2008 |
| topic_facet |
Физика и технология конструкционных материалов |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/110859 |
| citation_txt |
Двухкатодный источник фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы / И.И. Аксёнов, Д.С. Аксёнов, В.В. Васильев, А.А. Лучанинов, Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 1. — С. 136-141. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT aksenovii dvuhkatodnyjistočnikfilʹtrovannojvakuumnodugovojplazmy AT aksenovds dvuhkatodnyjistočnikfilʹtrovannojvakuumnodugovojplazmy AT vasilʹevvv dvuhkatodnyjistočnikfilʹtrovannojvakuumnodugovojplazmy AT lučaninovaa dvuhkatodnyjistočnikfilʹtrovannojvakuumnodugovojplazmy AT rešetnâken dvuhkatodnyjistočnikfilʹtrovannojvakuumnodugovojplazmy AT strelʹnickijve dvuhkatodnyjistočnikfilʹtrovannojvakuumnodugovojplazmy |
| first_indexed |
2023-10-18T20:22:58Z |
| last_indexed |
2023-10-18T20:22:58Z |
| _version_ |
1796149719565598720 |