2025-02-23T17:14:13-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-110873%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T17:14:13-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-110873%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T17:14:13-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T17:14:13-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Упругое рассеяние света поверхностью полупроводников при формировании нарушенного слоя

Упругое рассеяние света поверхностью полупроводников при формировании нарушенного слоя

Временное развитие упругого рассеяния света изучалось в процессе формирования геттерирующего слоя на поверхности кремния и германия под действием импульсного лазерного излучения. Установлен линейный характер зависимости между интенсивностью рассеяния света поверхностью исследованных образцов и време...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Точилин, Д.С., Лущин, С.П., Точилин, С.Д.
Format: Article
Language:Russian
Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2007
Series:Вопросы атомной науки и техники
Subjects:
Физика и технология конструкционных материалов
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/110873
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
id irk-123456789-110873
record_format dspace
spelling irk-123456789-1108732017-01-07T03:05:27Z Упругое рассеяние света поверхностью полупроводников при формировании нарушенного слоя Точилин, Д.С. Лущин, С.П. Точилин, С.Д. Физика и технология конструкционных материалов Временное развитие упругого рассеяния света изучалось в процессе формирования геттерирующего слоя на поверхности кремния и германия под действием импульсного лазерного излучения. Установлен линейный характер зависимости между интенсивностью рассеяния света поверхностью исследованных образцов и временем лазерной обработки. Тимчасовий розвиток пружного розсіювання світла вивчалося в процесі формування гетеруючого прошарка на поверхні кремнію та германію під дією імпульсного лазерного випромінювання. Установлено лінійний характер залежності між інтенсивністю розсіювання світла поверхнею досліджених зразків та часом лазерної обробки. The temporary development of elastic light scattering was studied in process formation of the gettering layer on a surface of silicon and germanium under action of pulse laser radiation. The linear character of dependence between intensity of light scattering by a surface of the investigated samples and time of laser processing was established. 2007 Article Упругое рассеяние света поверхностью полупроводников при формировании нарушенного слоя / Д.С. Точилин, С.П. Лущин, С.Д. Точилин // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 4. — С. 152-154. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. 1562-6016 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/110873 661.68; 66.012.1; 535.361 ru Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Физика и технология конструкционных материалов
Физика и технология конструкционных материалов
spellingShingle Физика и технология конструкционных материалов
Физика и технология конструкционных материалов
Точилин, Д.С.
Лущин, С.П.
Точилин, С.Д.
Упругое рассеяние света поверхностью полупроводников при формировании нарушенного слоя
Вопросы атомной науки и техники
description Временное развитие упругого рассеяния света изучалось в процессе формирования геттерирующего слоя на поверхности кремния и германия под действием импульсного лазерного излучения. Установлен линейный характер зависимости между интенсивностью рассеяния света поверхностью исследованных образцов и временем лазерной обработки.
format Article
author Точилин, Д.С.
Лущин, С.П.
Точилин, С.Д.
author_facet Точилин, Д.С.
Лущин, С.П.
Точилин, С.Д.
author_sort Точилин, Д.С.
title Упругое рассеяние света поверхностью полупроводников при формировании нарушенного слоя
title_short Упругое рассеяние света поверхностью полупроводников при формировании нарушенного слоя
title_full Упругое рассеяние света поверхностью полупроводников при формировании нарушенного слоя
title_fullStr Упругое рассеяние света поверхностью полупроводников при формировании нарушенного слоя
title_full_unstemmed Упругое рассеяние света поверхностью полупроводников при формировании нарушенного слоя
title_sort упругое рассеяние света поверхностью полупроводников при формировании нарушенного слоя
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
publishDate 2007
topic_facet Физика и технология конструкционных материалов
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/110873
citation_txt Упругое рассеяние света поверхностью полупроводников при формировании нарушенного слоя / Д.С. Точилин, С.П. Лущин, С.Д. Точилин // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 4. — С. 152-154. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.
series Вопросы атомной науки и техники
work_keys_str_mv AT točilinds uprugoerasseâniesvetapoverhnostʹûpoluprovodnikovpriformirovaniinarušennogosloâ
AT luŝinsp uprugoerasseâniesvetapoverhnostʹûpoluprovodnikovpriformirovaniinarušennogosloâ
AT točilinsd uprugoerasseâniesvetapoverhnostʹûpoluprovodnikovpriformirovaniinarušennogosloâ
first_indexed 2023-10-18T20:23:00Z
last_indexed 2023-10-18T20:23:00Z
_version_ 1796149720424382464

Similar Items