Образование кубического нитрида бора в термоупругих пиках ионов B⁺ при ионном осаждении покрытий
В модели нелокального термоупругого пика теоретически исследуется процесс образования фазы кубического нитрида бора в аморфном нитриде бора при облучении ионами B⁺ с энергией E от 25 до 1000 эВ. На фазовой P,T-диаграмме нитрида бора определены начальные положения и траектории точек, соответствующих...
Збережено в:
| Дата: | 2009 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2009
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111122 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Образование кубического нитрида бора в термоупругих пиках ионов B⁺ при ионном осаждении покрытий / А.И. Калиниченко, С.С. Перепёлкин, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 2. — С. 169-172. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| Резюме: | В модели нелокального термоупругого пика теоретически исследуется процесс образования фазы кубического нитрида бора в аморфном нитриде бора при облучении ионами B⁺ с энергией E от 25 до 1000 эВ. На фазовой P,T-диаграмме нитрида бора определены начальные положения и траектории точек, соответствующих состоянию вещества в пиках ионов B⁺ с различными энергиями. Показано, что термодинамические условия в пиках способствуют образованию cBN-фазы при температурах осаждения от 300 до 1500 K. Полученные результаты сравниваются с результатами анализа образования ta-C в пиках ионов С⁺ при ионном осаждении алмазоподобных покрытий и с данными экспериментов. |
|---|