Перенесення катодного матеріалу в процесі вакуумно-дугового формування покриттів
На прикладі композиційних Ti-Si та Ti-Al катодних матеріалів експериментально досліджені особливості переносу компонентів цих матеріалів до покриттів, осаджуваних вакуумно-дуговим методом. Виявлена можливість регулювання концентрації компонентів в покритті в широких межах зміною параметрів процесу о...
Збережено в:
| Дата: | 2009 |
|---|---|
| Автори: | , , , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2009
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111123 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Перенесення катодного матеріалу в процесі вакуумно-дугового формування покриттів / І.І. Аксьонов, В.А. Білоус, С.К. Голтвяниця, В.С. Голтвяниця, Ю.О. Задніпровський, O.С. Купрiн, М.С. Ломіно, В.Д. Овчаренко // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 2. — С. 181-184. — Бібліогр.: 5 назв. — укр. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-111123 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1111232017-01-09T03:03:23Z Перенесення катодного матеріалу в процесі вакуумно-дугового формування покриттів Аксьонов, І.І. Білоус, В.А. Голтвяниця, С.К. Голтвяниця, В.С. Задніпровський, Ю.О. Купрiн, О.С. Ломіно, М.С. Овчаренко, В.Д. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий На прикладі композиційних Ti-Si та Ti-Al катодних матеріалів експериментально досліджені особливості переносу компонентів цих матеріалів до покриттів, осаджуваних вакуумно-дуговим методом. Виявлена можливість регулювання концентрації компонентів в покритті в широких межах зміною параметрів процесу осадження: негативної напруги зміщення на підкладці, температури підкладки, напруженості фокусуючого магнітного поля. На примере композиционных Ti-Si и Ti-Al катодных материалов экспериментально исследованы особенности переноса компонентов этих материалов на покрытия, осаждаемые вакуумно-дуговым методом. Установлена возможность регулирования концентрации компонентов покрытия в широких пределах изменением параметров процесса осаждения: отрицательного напряжения смещения на подложке, её температуры и напряжённости фокусирующего магнитного поля. On an example of composite Ti-Si and Ti-Al cathodic materials features of carrying over of components of these materials on the coatings deposited by a vakuumno-arc method are experimentally investigated. Possibility of regulation of the components concentration in the coating over a wide range is established by change of deposition process parameters: negative bias voltage on a substrate, its temperature and intensity of a focusing magnetic field. 2009 Article Перенесення катодного матеріалу в процесі вакуумно-дугового формування покриттів / І.І. Аксьонов, В.А. Білоус, С.К. Голтвяниця, В.С. Голтвяниця, Ю.О. Задніпровський, O.С. Купрiн, М.С. Ломіно, В.Д. Овчаренко // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 2. — С. 181-184. — Бібліогр.: 5 назв. — укр. 1562-6016 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111123 621.793 uk Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Ukrainian |
| topic |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| spellingShingle |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Аксьонов, І.І. Білоус, В.А. Голтвяниця, С.К. Голтвяниця, В.С. Задніпровський, Ю.О. Купрiн, О.С. Ломіно, М.С. Овчаренко, В.Д. Перенесення катодного матеріалу в процесі вакуумно-дугового формування покриттів Вопросы атомной науки и техники |
| description |
На прикладі композиційних Ti-Si та Ti-Al катодних матеріалів експериментально досліджені особливості переносу компонентів цих матеріалів до покриттів, осаджуваних вакуумно-дуговим методом. Виявлена можливість регулювання концентрації компонентів в покритті в широких межах зміною параметрів процесу осадження: негативної напруги зміщення на підкладці, температури підкладки, напруженості фокусуючого магнітного поля. |
| format |
Article |
| author |
Аксьонов, І.І. Білоус, В.А. Голтвяниця, С.К. Голтвяниця, В.С. Задніпровський, Ю.О. Купрiн, О.С. Ломіно, М.С. Овчаренко, В.Д. |
| author_facet |
Аксьонов, І.І. Білоус, В.А. Голтвяниця, С.К. Голтвяниця, В.С. Задніпровський, Ю.О. Купрiн, О.С. Ломіно, М.С. Овчаренко, В.Д. |
| author_sort |
Аксьонов, І.І. |
| title |
Перенесення катодного матеріалу в процесі вакуумно-дугового формування покриттів |
| title_short |
Перенесення катодного матеріалу в процесі вакуумно-дугового формування покриттів |
| title_full |
Перенесення катодного матеріалу в процесі вакуумно-дугового формування покриттів |
| title_fullStr |
Перенесення катодного матеріалу в процесі вакуумно-дугового формування покриттів |
| title_full_unstemmed |
Перенесення катодного матеріалу в процесі вакуумно-дугового формування покриттів |
| title_sort |
перенесення катодного матеріалу в процесі вакуумно-дугового формування покриттів |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2009 |
| topic_facet |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111123 |
| citation_txt |
Перенесення катодного матеріалу в процесі вакуумно-дугового формування покриттів / І.І. Аксьонов, В.А. Білоус, С.К. Голтвяниця, В.С. Голтвяниця, Ю.О. Задніпровський, O.С. Купрiн, М.С. Ломіно, В.Д. Овчаренко // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 2. — С. 181-184. — Бібліогр.: 5 назв. — укр. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT aksʹonovíí perenesennâkatodnogomateríaluvprocesívakuumnodugovogoformuvannâpokrittív AT bílousva perenesennâkatodnogomateríaluvprocesívakuumnodugovogoformuvannâpokrittív AT goltvânicâsk perenesennâkatodnogomateríaluvprocesívakuumnodugovogoformuvannâpokrittív AT goltvânicâvs perenesennâkatodnogomateríaluvprocesívakuumnodugovogoformuvannâpokrittív AT zadníprovsʹkijûo perenesennâkatodnogomateríaluvprocesívakuumnodugovogoformuvannâpokrittív AT kuprinos perenesennâkatodnogomateríaluvprocesívakuumnodugovogoformuvannâpokrittív AT lomínoms perenesennâkatodnogomateríaluvprocesívakuumnodugovogoformuvannâpokrittív AT ovčarenkovd perenesennâkatodnogomateríaluvprocesívakuumnodugovogoformuvannâpokrittív |
| first_indexed |
2024-03-30T09:15:13Z |
| last_indexed |
2024-03-30T09:15:13Z |
| _version_ |
1796149748724400128 |