Моделирование изменения морфологии поверхности Si при распылении ионами Ar⁺
Проведено численное моделирование изменения морфологии поверхности кремния при распылении ионами аргона. На основе совместного использования процедуры Монте-Карло и континуального подхода установлена диаграмма устойчивости поверхностных структур, имеющих наноразмерный масштаб. Выяснены скейлинговые...
Збережено в:
Видавець: | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
---|---|
Дата: | 2011 |
Автори: | Харченко, Д.О., Харченко, В.О. |
Формат: | Стаття |
Мова: | Russian |
Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2011
|
Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
Теми: | |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111285 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Цитувати: | Моделирование изменения морфологии поверхности Si при распылении ионами Ar⁺ / Д.О. Харченко, В.О. Харченко // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 2. — С. 16-21. — Бібліогр.: 26 назв. — рос. |
Репозиторії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
-
Влияние облучения тяжелыми ионами высоких энергий на структурные изменения в аморфных сплавах
за авторством: Дидык, А.Ю., та інші
Опубліковано: (2003) -
Компьютерное моделирование профилей дефектообразования при низкотемпературном облучении наноструктурной пленки Nb ионами Ti⁺
за авторством: Павленко, В.И., та інші
Опубліковано: (2018) -
Исследование методом математического моделирования зависимости профилей первичного дефектообразования от угла падения ионов при низкотемпературном облучении поверхности меди ионами Al⁺
за авторством: Павленко, В.И., та інші
Опубліковано: (2009) -
Моделирование образования структуры областей видоизмененного вещества при формировании тяжелыми ионами высоких энергий сферических треков
за авторством: Демчишин, А.Б., та інші
Опубліковано: (2010) -
Особенности морфологии алмазных покрытий с нанокристаллической структурой
за авторством: Грицына, В.И., та інші
Опубліковано: (2011)