2025-02-23T09:05:17-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-111372%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T09:05:17-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-111372%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T09:05:17-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T09:05:17-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Исследование микротопографии поверхности плёнок Al₂O₃, полученных методом магнетронного распыления при низком давлении

Исследование микротопографии поверхности плёнок Al₂O₃, полученных методом магнетронного распыления при низком давлении

Методом магнетронного распыления Al при давлении в камере ~10⁻² Па получены плёнки Al₂O₃. Определены структура, пористость, микротвёрдость, микротопография поверхности плёнок для ряда режимов их нанесения. Получены квазиаморфные плёнки с микротвёрдостью 13...15 ГПа. Установлено наличие на поверхност...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Author: Тесленко-Пономаренко, В.В.
Format: Article
Language:Russian
Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2003
Series:Вопросы атомной науки и техники
Subjects:
Работы молодых ученых института физики твердого тела, материаловедения и технологий ННЦ ХФТИ
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111372
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!

Internet

http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111372

Similar Items