Development of ribbon ion beam source and transport system for industrial applications
The design of ribbon ion source and transport system is discussed in this paper. This system is created at ITEP for ion beam implantation in semiconductor technology. The Bernas type ion sources are used for ribbon ion beam production. The periodic system of electrostatic lenses is proposed for inte...
Збережено в:
| Дата: | 2008 |
|---|---|
| Автори: | , , , , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2008
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111482 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Development of ribbon ion beam source and transport system for industrial applications / E.S. Masunov, S.M. Polozov, T.V. Kulevoy, R.P. Kuibeda, V.I. Pershin, S.V. Petrenko, D.N. Seleznev, I.M. Shamailov, A.L. Sitnikov // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 5. — С. 64-67. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-111482 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1114822017-01-11T03:02:52Z Development of ribbon ion beam source and transport system for industrial applications Masunov, E.S. Polozov, S.M. Kulevoy, T.V. Kuibeda, R.P. Pershin, V.I. Petrenko, S.V. Seleznev, D.N. Shamailov, I.M. Sitnikov, A.L. Физика и техника ускорителей The design of ribbon ion source and transport system is discussed in this paper. This system is created at ITEP for ion beam implantation in semiconductor technology. The Bernas type ion sources are used for ribbon ion beam production. The periodic system of electrostatic lenses is proposed for intensive ion beam transport. The results of implanter component development are observing. Розглядаються питання, пов'язані з розробкою стрічкового іонного пучка і системи транспортування. Система імплантації розробляється в ІТЕФ для імплантації іонного пучку у напівпровідники. Для одержання стрічкового іонного пучка використається джерело типу "Бернас". Для транспортування пучку запропоновано використати періодичну систему електростатичних лінз. Розглядаються результати розробки окремих частин імплантору. Рассматриваются вопросы, связанные с разработкой ленточного ионного пучка и системы транспортировки. Система имплантации разрабатывается в ИТЭФ для имплантации ионного пучка в полупроводники. Для получения ленточного ионного пучка используется источник типа «Бернас». Для транспортировки пучка предложено использовать периодическую систему электростатических линз. Рассматриваются результаты разработки отдельных частей имплантора. 2008 Article Development of ribbon ion beam source and transport system for industrial applications / E.S. Masunov, S.M. Polozov, T.V. Kulevoy, R.P. Kuibeda, V.I. Pershin, S.V. Petrenko, D.N. Seleznev, I.M. Shamailov, A.L. Sitnikov // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 5. — С. 64-67. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 29.25.Ni, 61.72.Tt http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111482 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
English |
| topic |
Физика и техника ускорителей Физика и техника ускорителей |
| spellingShingle |
Физика и техника ускорителей Физика и техника ускорителей Masunov, E.S. Polozov, S.M. Kulevoy, T.V. Kuibeda, R.P. Pershin, V.I. Petrenko, S.V. Seleznev, D.N. Shamailov, I.M. Sitnikov, A.L. Development of ribbon ion beam source and transport system for industrial applications Вопросы атомной науки и техники |
| description |
The design of ribbon ion source and transport system is discussed in this paper. This system is created at ITEP for ion beam implantation in semiconductor technology. The Bernas type ion sources are used for ribbon ion beam production. The periodic system of electrostatic lenses is proposed for intensive ion beam transport. The results of implanter component development are observing. |
| format |
Article |
| author |
Masunov, E.S. Polozov, S.M. Kulevoy, T.V. Kuibeda, R.P. Pershin, V.I. Petrenko, S.V. Seleznev, D.N. Shamailov, I.M. Sitnikov, A.L. |
| author_facet |
Masunov, E.S. Polozov, S.M. Kulevoy, T.V. Kuibeda, R.P. Pershin, V.I. Petrenko, S.V. Seleznev, D.N. Shamailov, I.M. Sitnikov, A.L. |
| author_sort |
Masunov, E.S. |
| title |
Development of ribbon ion beam source and transport system for industrial applications |
| title_short |
Development of ribbon ion beam source and transport system for industrial applications |
| title_full |
Development of ribbon ion beam source and transport system for industrial applications |
| title_fullStr |
Development of ribbon ion beam source and transport system for industrial applications |
| title_full_unstemmed |
Development of ribbon ion beam source and transport system for industrial applications |
| title_sort |
development of ribbon ion beam source and transport system for industrial applications |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2008 |
| topic_facet |
Физика и техника ускорителей |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111482 |
| citation_txt |
Development of ribbon ion beam source and transport system for industrial applications / E.S. Masunov, S.M. Polozov, T.V. Kulevoy, R.P. Kuibeda, V.I. Pershin, S.V. Petrenko, D.N. Seleznev, I.M. Shamailov, A.L. Sitnikov // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 5. — С. 64-67. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT masunoves developmentofribbonionbeamsourceandtransportsystemforindustrialapplications AT polozovsm developmentofribbonionbeamsourceandtransportsystemforindustrialapplications AT kulevoytv developmentofribbonionbeamsourceandtransportsystemforindustrialapplications AT kuibedarp developmentofribbonionbeamsourceandtransportsystemforindustrialapplications AT pershinvi developmentofribbonionbeamsourceandtransportsystemforindustrialapplications AT petrenkosv developmentofribbonionbeamsourceandtransportsystemforindustrialapplications AT seleznevdn developmentofribbonionbeamsourceandtransportsystemforindustrialapplications AT shamailovim developmentofribbonionbeamsourceandtransportsystemforindustrialapplications AT sitnikoval developmentofribbonionbeamsourceandtransportsystemforindustrialapplications |
| first_indexed |
2024-03-30T09:17:09Z |
| last_indexed |
2024-03-30T09:17:09Z |
| _version_ |
1796149786369327104 |