Физико-механические свойства Ti-Al-N-покрытий, осаждаемых из смешанного двухкомпонентного потока вакуумно-дуговой плазмы

Для получения Ti-Al-N-покрытий использовалась вакуумно-дуговая система с двухканальным T-образным магнитным фильтром. Покрытия осаждались путём смешивания потоков фильтрованной плазмы от двух источников с катодами из алюминия и титана в атмосфере азота. Методами рентгеноструктурного анализа и наноин...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2011
Автори:	Аксёнов, Д.С., Аксёнов, И.И., Лучанинов, А.А., Решетняк, Е.Н., Стрельницкий, В.Е., Толмачёва, Г.Н., Юрков, С.А.
Формат:	Стаття
Мова:	Russian
Опубліковано:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2011
Назва видання:	Вопросы атомной науки и техники
Теми:	Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Онлайн доступ:	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111501
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Физико-механические свойства Ti-Al-N-покрытий, осаждаемых из смешанного двухкомпонентного потока вакуумно-дуговой плазмы / Д.С. Аксёнов, И.И. Аксёнов, А.А. Лучанинов, Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий, Г.Н. Толмачёва, С.А. Юрков // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 4. — С. 154-159. — Бібліогр.: 23 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	irk-123456789-111501
record_format	dspace
spelling	irk-123456789-1115012017-01-11T03:03:16Z Физико-механические свойства Ti-Al-N-покрытий, осаждаемых из смешанного двухкомпонентного потока вакуумно-дуговой плазмы Аксёнов, Д.С. Аксёнов, И.И. Лучанинов, А.А. Решетняк, Е.Н. Стрельницкий, В.Е. Толмачёва, Г.Н. Юрков, С.А. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Для получения Ti-Al-N-покрытий использовалась вакуумно-дуговая система с двухканальным T-образным магнитным фильтром. Покрытия осаждались путём смешивания потоков фильтрованной плазмы от двух источников с катодами из алюминия и титана в атмосфере азота. Методами рентгеноструктурного анализа и наноиндентирования исследовано влияние концентрации алюминия в покрытии и потенциала подложки на структуру, твёрдость и модуль упругости получаемых покрытий. Установлено, что в покрытиях с содержанием алюминия от 13 до 47 ат.% формируется кубический нитрид на базе TiN со структурой типа NaCl, увеличение концентрации Al до 71 ат.% приводит к формированию нитрида на базе гексагонального AlN со структурой типа вюрцит. Максимум твёрдости 35 ГПа наблюдается в покрытиях с содержанием алюминия 47 ат.%, полученных при потенциале подложки -100 В. Модуль упругости уменьшается по мере роста концентрации Al и отрицательного потенциала подложки. Для отримання Ti-Al-N-покриттів було використано вакуумно-дугову систему з двоканальним T-подібним магнітним фільтром. Покриття осаджувались в атмосфері азоту шляхом змішування потоків фільтрованої плазми від двох джерел із катодами, які було виготовлено з алюмінію та титану. Методами рентгеноструктурного аналізу та наноіндентування було встановлено вплив концентрації алюмінію в покритті та потенціалу підкладки на структуру, твердість та модуль пружності отриманих покриттів. Встановлено, що в покриттях із вмістом алюмінію від 13 до 47 ат. % формується кубічний нітрид на базі TiN зі структурою типу NaCl, збільшення концентрації Al до 71 ат. % призводить до формування нітриду на базі гексагонального AlN із структурою типу вюрцит. Максимум твердості 35 ГПа спостерігається в покриттях із вмістом алюмінію 47 ат. %, які отримано при потенціалі підкладки -100 В. Модуль пружності зменшується одночасно із зростанням концентрації Al та негативного потенціалу підкладки. Ti-Al-N films were obtained by vacuum arc system equipped with two-channel T-shaped magnetic filter. The films were deposited by mixing of filtered plasma streams from two sources with cathodes made of aluminium and titanium in nitrogen environment. An influence of aluminium concentration and substrate bias on structure, hardness and elastic modulus of deposited films was studied by X-ray diffraction analysis and nanoindentation techniques. It was found that coatings with aluminium content in range from 13 to 47 at. % are characterized by cubic nitride based on TiN with NaCl structure. An increase of Al content to 71 at. % leads to the formation of hexagonal AlN-based nitride with wurtzite-like structure. Maximum hardness of 35 GPa is observed in films with 47 at. % aluminium concentration and -100 V substrate bias. Elastic modulus falls off along with increase of Al content and negative substrate bias. 2011 Article Физико-механические свойства Ti-Al-N-покрытий, осаждаемых из смешанного двухкомпонентного потока вакуумно-дуговой плазмы / Д.С. Аксёнов, И.И. Аксёнов, А.А. Лучанинов, Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий, Г.Н. Толмачёва, С.А. Юрков // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 4. — С. 154-159. — Бібліогр.: 23 назв. — рос. 1562-6016 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111501 621.793 ru Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
language	Russian
topic	Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
spellingShingle	Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Аксёнов, Д.С. Аксёнов, И.И. Лучанинов, А.А. Решетняк, Е.Н. Стрельницкий, В.Е. Толмачёва, Г.Н. Юрков, С.А. Физико-механические свойства Ti-Al-N-покрытий, осаждаемых из смешанного двухкомпонентного потока вакуумно-дуговой плазмы Вопросы атомной науки и техники
description	Для получения Ti-Al-N-покрытий использовалась вакуумно-дуговая система с двухканальным T-образным магнитным фильтром. Покрытия осаждались путём смешивания потоков фильтрованной плазмы от двух источников с катодами из алюминия и титана в атмосфере азота. Методами рентгеноструктурного анализа и наноиндентирования исследовано влияние концентрации алюминия в покрытии и потенциала подложки на структуру, твёрдость и модуль упругости получаемых покрытий. Установлено, что в покрытиях с содержанием алюминия от 13 до 47 ат.% формируется кубический нитрид на базе TiN со структурой типа NaCl, увеличение концентрации Al до 71 ат.% приводит к формированию нитрида на базе гексагонального AlN со структурой типа вюрцит. Максимум твёрдости 35 ГПа наблюдается в покрытиях с содержанием алюминия 47 ат.%, полученных при потенциале подложки -100 В. Модуль упругости уменьшается по мере роста концентрации Al и отрицательного потенциала подложки.
format	Article
author	Аксёнов, Д.С. Аксёнов, И.И. Лучанинов, А.А. Решетняк, Е.Н. Стрельницкий, В.Е. Толмачёва, Г.Н. Юрков, С.А.
author_facet	Аксёнов, Д.С. Аксёнов, И.И. Лучанинов, А.А. Решетняк, Е.Н. Стрельницкий, В.Е. Толмачёва, Г.Н. Юрков, С.А.
author_sort	Аксёнов, Д.С.
title	Физико-механические свойства Ti-Al-N-покрытий, осаждаемых из смешанного двухкомпонентного потока вакуумно-дуговой плазмы
title_short	Физико-механические свойства Ti-Al-N-покрытий, осаждаемых из смешанного двухкомпонентного потока вакуумно-дуговой плазмы
title_full	Физико-механические свойства Ti-Al-N-покрытий, осаждаемых из смешанного двухкомпонентного потока вакуумно-дуговой плазмы
title_fullStr	Физико-механические свойства Ti-Al-N-покрытий, осаждаемых из смешанного двухкомпонентного потока вакуумно-дуговой плазмы
title_full_unstemmed	Физико-механические свойства Ti-Al-N-покрытий, осаждаемых из смешанного двухкомпонентного потока вакуумно-дуговой плазмы
title_sort	физико-механические свойства ti-al-n-покрытий, осаждаемых из смешанного двухкомпонентного потока вакуумно-дуговой плазмы
publisher	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
publishDate	2011
topic_facet	Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
url	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111501
citation_txt	Физико-механические свойства Ti-Al-N-покрытий, осаждаемых из смешанного двухкомпонентного потока вакуумно-дуговой плазмы / Д.С. Аксёнов, И.И. Аксёнов, А.А. Лучанинов, Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий, Г.Н. Толмачёва, С.А. Юрков // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 4. — С. 154-159. — Бібліогр.: 23 назв. — рос.
series	Вопросы атомной науки и техники
work_keys_str_mv	AT aksënovds fizikomehaničeskiesvojstvatialnpokrytijosaždaemyhizsmešannogodvuhkomponentnogopotokavakuumnodugovojplazmy AT aksënovii fizikomehaničeskiesvojstvatialnpokrytijosaždaemyhizsmešannogodvuhkomponentnogopotokavakuumnodugovojplazmy AT lučaninovaa fizikomehaničeskiesvojstvatialnpokrytijosaždaemyhizsmešannogodvuhkomponentnogopotokavakuumnodugovojplazmy AT rešetnâken fizikomehaničeskiesvojstvatialnpokrytijosaždaemyhizsmešannogodvuhkomponentnogopotokavakuumnodugovojplazmy AT strelʹnickijve fizikomehaničeskiesvojstvatialnpokrytijosaždaemyhizsmešannogodvuhkomponentnogopotokavakuumnodugovojplazmy AT tolmačëvagn fizikomehaničeskiesvojstvatialnpokrytijosaždaemyhizsmešannogodvuhkomponentnogopotokavakuumnodugovojplazmy AT ûrkovsa fizikomehaničeskiesvojstvatialnpokrytijosaždaemyhizsmešannogodvuhkomponentnogopotokavakuumnodugovojplazmy
first_indexed	2024-03-30T09:17:15Z
last_indexed	2024-03-30T09:17:15Z
_version_	1796149785093210112

Физико-механические свойства Ti-Al-N-покрытий, осаждаемых из смешанного двухкомпонентного потока вакуумно-дуговой плазмы

Репозитарії

Схожі ресурси