Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме
Исследованы зависимости морфологии поверхности, структуры и фазового состава толстых конденсатов Al₂O₃, полученных методом EB PVD, от температуры конденсации. Обнаружено присутствие наноструктурной составляющей различной морфологии и фазового состава в широком интервале температур конденсации. Приве...
Збережено в:
| Дата: | 2011 |
|---|---|
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2011
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111672 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме / Л.А. Крушинская, Я.А. Стельмах // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 6. — С. 92-98. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-111672 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1116722017-01-14T03:02:14Z Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме Крушинская, Л.А. Стельмах, Я.А. Физика и технология конструкционных материалов Исследованы зависимости морфологии поверхности, структуры и фазового состава толстых конденсатов Al₂O₃, полученных методом EB PVD, от температуры конденсации. Обнаружено присутствие наноструктурной составляющей различной морфологии и фазового состава в широком интервале температур конденсации. Приведены также результаты измерений микротвердости и электрической прочности конденсатов оксида алюминия. Досліджено залежності морфології поверхні, структури та фазового складу товстих конденсатів Al₂O₃, отриманих методом EB PVD, від температури конденсації. Виявлено присутність наноструктурної складової різної морфології та фазового складу в широкому інтервалі температур конденсації. Наведено також результати вимірів мікротвердості та електричної міцності конденсатів оксиду алюмінію. Dependences of a surface morphology, structure and phase composition of the thick alumina condensates obtained by EB PVD on condensation temperature are investigated. Presence of a nanostructured component of various morphology and phase structure in a wide interval of temperatures of condensation is revealed. Results of microhardness and electric durability measurements of alumina condensates are also reported. 2011 Article Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме / Л.А. Крушинская, Я.А. Стельмах // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 6. — С. 92-98. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. 1562-6016 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111672 546.832: 621.785.37 ru Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Физика и технология конструкционных материалов Физика и технология конструкционных материалов |
| spellingShingle |
Физика и технология конструкционных материалов Физика и технология конструкционных материалов Крушинская, Л.А. Стельмах, Я.А. Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме Вопросы атомной науки и техники |
| description |
Исследованы зависимости морфологии поверхности, структуры и фазового состава толстых конденсатов Al₂O₃, полученных методом EB PVD, от температуры конденсации. Обнаружено присутствие наноструктурной составляющей различной морфологии и фазового состава в широком интервале температур конденсации. Приведены также результаты измерений микротвердости и электрической прочности конденсатов оксида алюминия. |
| format |
Article |
| author |
Крушинская, Л.А. Стельмах, Я.А. |
| author_facet |
Крушинская, Л.А. Стельмах, Я.А. |
| author_sort |
Крушинская, Л.А. |
| title |
Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме |
| title_short |
Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме |
| title_full |
Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме |
| title_fullStr |
Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме |
| title_full_unstemmed |
Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме |
| title_sort |
структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2011 |
| topic_facet |
Физика и технология конструкционных материалов |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111672 |
| citation_txt |
Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме / Л.А. Крушинская, Я.А. Стельмах // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 6. — С. 92-98. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT krušinskaâla strukturainekotoryesvojstvatolstyhkondensatovoksidaalûminiâpolučaemyhélektronnolučevymispareniemiosaždeniemparovojfazyvvakuume AT stelʹmahâa strukturainekotoryesvojstvatolstyhkondensatovoksidaalûminiâpolučaemyhélektronnolučevymispareniemiosaždeniemparovojfazyvvakuume |
| first_indexed |
2024-03-30T09:18:03Z |
| last_indexed |
2024-03-30T09:18:03Z |
| _version_ |
1796149802830921728 |