Plasma streams mixing in two-channel T-shaped magnetic filter

Ti-Al-N films were deposited by vacuum arc method. T-shaped magnetic filter with two channels was used for films preparation. Deposition was performed after aluminum and titanium separate plasma streams from two plasma sources were mixed into single one inside plasma duct having weakened magnetic fi...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2011
Автори:	Aksyonov, D.S., Aksenov, I.I., Luchaninov, A.A., Reshetnyak, E.N., Strel’nitskij, V.E.
Формат:	Стаття
Мова:	English
Опубліковано:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2011
Назва видання:	Вопросы атомной науки и техники
Теми:	Физика и технология конструкционных материалов
Онлайн доступ:	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111691
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Plasma streams mixing in two-channel T-shaped magnetic filter / D.S. Aksyonov, I.I. Aksenov, A.A. Luchaninov, E.N. Reshetnyak, V.E. Strel’nitskij // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 6. — С. 116-120. — Бібліогр.: 9 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	irk-123456789-111691
record_format	dspace
spelling	irk-123456789-1116912017-01-14T03:03:00Z Plasma streams mixing in two-channel T-shaped magnetic filter Aksyonov, D.S. Aksenov, I.I. Luchaninov, A.A. Reshetnyak, E.N. Strel’nitskij, V.E. Физика и технология конструкционных материалов Ti-Al-N films were deposited by vacuum arc method. T-shaped magnetic filter with two channels was used for films preparation. Deposition was performed after aluminum and titanium separate plasma streams from two plasma sources were mixed into single one inside plasma duct having weakened magnetic field near its output. Obtained films have uniform distribution of composition and thickness on 180 mm diameter substrate surface. It was found that mixing and homogenization degree depends on nitrogen pressure, output magnetic field intensity and output- to-substrate distance. Film self-sputtering and aluminum preferential sputtering were observed for elevated negative substrate bias potentials. Осадження Ti-Al-N-покриттів проводилось вакуумно-дуговим методом із застосуванням двоканального T-подібного магнітного фільтра. Потоки алюмінієвої та титанової плазми змішувались в один потік, після чого проводилось осадження цього результуючого потоку. Змішування потоків відбувалося всередині вихідної секції плазмоводу в області послабленого магнітного поля. Отримані покриття однорідні за складом та товщиною на підкладці діаметром 180 мм. Встановлено, що ступінь змішування та гомогенізації залежнім від тиску азоту в робочому об’ємі, напруженості магнітного поля поблизу вихідної секції плазмоводу та відстані між підкладкою та виходом плазмоводу. При підвищеному негативному потенціалі підкладки спостерігалося саморозпилення покриття та переважне розпилення алюмінію із покриття. Осаждение Ti-Al-N-покрытий производилось вакуумно-дуговым методом с использованием двухканального T-образного магнитного фильтра. Потоки алюминиевой и титановой плазмы смешивались в один поток. Смешивание потоков производилось внутри выходной секции плазмовода в области ослабленного магнитного поля. Покрытия, полученные осаждением смешанного плазменного потока, однородны по составу и толщине на подложке диаметром 180 мм. Установлено, что степень смешивания и гомогенизации зависит от давления азота в рабочем объёме, напряжённости магнитного поля вблизи выходной секции плазмовода и расстояния между подложкой и выходным сечением плазмовода. При повышенном отрицательном потенциале подложки наблюдались самораспыление осаждаемого покрытия и преимущественное распыление алюминия из покрытия. 2011 Article Plasma streams mixing in two-channel T-shaped magnetic filter / D.S. Aksyonov, I.I. Aksenov, A.A. Luchaninov, E.N. Reshetnyak, V.E. Strel’nitskij // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 6. — С. 116-120. — Бібліогр.: 9 назв. — англ. 1562-6016 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111691 621.793 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
language	English
topic	Физика и технология конструкционных материалов Физика и технология конструкционных материалов
spellingShingle	Физика и технология конструкционных материалов Физика и технология конструкционных материалов Aksyonov, D.S. Aksenov, I.I. Luchaninov, A.A. Reshetnyak, E.N. Strel’nitskij, V.E. Plasma streams mixing in two-channel T-shaped magnetic filter Вопросы атомной науки и техники
description	Ti-Al-N films were deposited by vacuum arc method. T-shaped magnetic filter with two channels was used for films preparation. Deposition was performed after aluminum and titanium separate plasma streams from two plasma sources were mixed into single one inside plasma duct having weakened magnetic field near its output. Obtained films have uniform distribution of composition and thickness on 180 mm diameter substrate surface. It was found that mixing and homogenization degree depends on nitrogen pressure, output magnetic field intensity and output- to-substrate distance. Film self-sputtering and aluminum preferential sputtering were observed for elevated negative substrate bias potentials.
format	Article
author	Aksyonov, D.S. Aksenov, I.I. Luchaninov, A.A. Reshetnyak, E.N. Strel’nitskij, V.E.
author_facet	Aksyonov, D.S. Aksenov, I.I. Luchaninov, A.A. Reshetnyak, E.N. Strel’nitskij, V.E.
author_sort	Aksyonov, D.S.
title	Plasma streams mixing in two-channel T-shaped magnetic filter
title_short	Plasma streams mixing in two-channel T-shaped magnetic filter
title_full	Plasma streams mixing in two-channel T-shaped magnetic filter
title_fullStr	Plasma streams mixing in two-channel T-shaped magnetic filter
title_full_unstemmed	Plasma streams mixing in two-channel T-shaped magnetic filter
title_sort	plasma streams mixing in two-channel t-shaped magnetic filter
publisher	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
publishDate	2011
topic_facet	Физика и технология конструкционных материалов
url	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111691
citation_txt	Plasma streams mixing in two-channel T-shaped magnetic filter / D.S. Aksyonov, I.I. Aksenov, A.A. Luchaninov, E.N. Reshetnyak, V.E. Strel’nitskij // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 6. — С. 116-120. — Бібліогр.: 9 назв. — англ.
series	Вопросы атомной науки и техники
work_keys_str_mv	AT aksyonovds plasmastreamsmixingintwochanneltshapedmagneticfilter AT aksenovii plasmastreamsmixingintwochanneltshapedmagneticfilter AT luchaninovaa plasmastreamsmixingintwochanneltshapedmagneticfilter AT reshetnyaken plasmastreamsmixingintwochanneltshapedmagneticfilter AT strelnitskijve plasmastreamsmixingintwochanneltshapedmagneticfilter
first_indexed	2024-03-30T09:18:11Z
last_indexed	2024-03-30T09:18:11Z
_version_	1796149804859916288

Plasma streams mixing in two-channel T-shaped magnetic filter

Репозитарії

Схожі ресурси