Deposition of W and W-RE alloys by gas-phase and plasma chemical methods

Deposition of W and W-RE alloys by gas-phase and plasma chemical methods

A thermodynamic analysis of the temperature dependence of the isobaric-isothermal potential processes of rhenium, tungsten and their compositions from a mixture of a metal fluorides with molecular and atomic hydrogen is provided. The dependence of the deposition rate of tungsten and tungsten-rhenium...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2016
Автори: Glushko, P.I., Yevsiukov, A.I., Ghuravlyov, А.Yu., Hovanskiy, N.А., Khizhnyak, D.A., Shirokov, B.M., Shijan, А.V.
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2016
Назва видання:Вопросы атомной науки и техники
Теми:
Физика и технология конструкционных материалов
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111748
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Deposition of W and W-RE alloys by gas-phase and plasma chemical methods / P.I. Glushko, A.I. Yevsiukov, А.Yu. Ghuravlyov, N.А. Hovanskiy, D.A. Khizhnyak, B.M. Shirokov, А.V. Shijan // Вопросы атомной науки и техники. — 2016. — № 1. — С. 108-111. — Бібліогр.: 2 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-111748
record_format dspace
spelling irk-123456789-1117482017-01-15T03:02:29Z Deposition of W and W-RE alloys by gas-phase and plasma chemical methods Glushko, P.I. Yevsiukov, A.I. Ghuravlyov, А.Yu. Hovanskiy, N.А. Khizhnyak, D.A. Shirokov, B.M. Shijan, А.V. Физика и технология конструкционных материалов A thermodynamic analysis of the temperature dependence of the isobaric-isothermal potential processes of rhenium, tungsten and their compositions from a mixture of a metal fluorides with molecular and atomic hydrogen is provided. The dependence of the deposition rate of tungsten and tungsten-rhenium alloys executed by plasma chemical and gas-phase methods on the substrate temperature, to power fed into discharge and the ratio of initial reagents is studied. Проведено термодинамічний аналіз температурної залежності ізобарно-ізотермічного потенціалу процесів отримання ренію, вольфраму і сплавів на їх основі з суміші фторидів металів з молекулярним і атомарним воднем. Досліджено залежність швидкості осадження вольфраму і вольфрам-ренієвих сплавів газофазним і плазмохімічним методами від температури підкладки, що вкладена в розряд потужності, і співвідношення вихідних реагентів. Проведено дослідження швидкості осадження W і W-Re-сплавів, що отримані газофазним і плазмохімічним методами, залежно від співвідношення H₂:MeF₆. Проведен термодинамический анализ температурной зависимости изобарно-изотермического потенциала процессов получения рения, вольфрама и сплавов на их основе из смеси фторидов металлов с молекулярным и атомарным водородом. Исследованы зависимости скорости осаждения вольфрама и вольфрам-рениевых сплавов газофазным и плазмохимическим методами от температуры подложки, вкладываемой в разряд мощности, и соотношения исходных реагентов. Проведено исследование скорости осаждения W и W-Re-сплавов, полученных газофазным и плазмохимическим методами, в зависимости от соотношения H₂:MeF₆. 2016 Article Deposition of W and W-RE alloys by gas-phase and plasma chemical methods / P.I. Glushko, A.I. Yevsiukov, А.Yu. Ghuravlyov, N.А. Hovanskiy, D.A. Khizhnyak, B.M. Shirokov, А.V. Shijan // Вопросы атомной науки и техники. — 2016. — № 1. — С. 108-111. — Бібліогр.: 2 назв. — англ. 1562-6016 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111748 539:2:538:975 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language English
topic Физика и технология конструкционных материалов
Физика и технология конструкционных материалов
spellingShingle Физика и технология конструкционных материалов
Физика и технология конструкционных материалов
Glushko, P.I.
Yevsiukov, A.I.
Ghuravlyov, А.Yu.
Hovanskiy, N.А.
Khizhnyak, D.A.
Shirokov, B.M.
Shijan, А.V.
Deposition of W and W-RE alloys by gas-phase and plasma chemical methods
Вопросы атомной науки и техники
description A thermodynamic analysis of the temperature dependence of the isobaric-isothermal potential processes of rhenium, tungsten and their compositions from a mixture of a metal fluorides with molecular and atomic hydrogen is provided. The dependence of the deposition rate of tungsten and tungsten-rhenium alloys executed by plasma chemical and gas-phase methods on the substrate temperature, to power fed into discharge and the ratio of initial reagents is studied.
format Article
author Glushko, P.I.
Yevsiukov, A.I.
Ghuravlyov, А.Yu.
Hovanskiy, N.А.
Khizhnyak, D.A.
Shirokov, B.M.
Shijan, А.V.
author_facet Glushko, P.I.
Yevsiukov, A.I.
Ghuravlyov, А.Yu.
Hovanskiy, N.А.
Khizhnyak, D.A.
Shirokov, B.M.
Shijan, А.V.
author_sort Glushko, P.I.
title Deposition of W and W-RE alloys by gas-phase and plasma chemical methods
title_short Deposition of W and W-RE alloys by gas-phase and plasma chemical methods
title_full Deposition of W and W-RE alloys by gas-phase and plasma chemical methods
title_fullStr Deposition of W and W-RE alloys by gas-phase and plasma chemical methods
title_full_unstemmed Deposition of W and W-RE alloys by gas-phase and plasma chemical methods
title_sort deposition of w and w-re alloys by gas-phase and plasma chemical methods
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
publishDate 2016
topic_facet Физика и технология конструкционных материалов
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111748
citation_txt Deposition of W and W-RE alloys by gas-phase and plasma chemical methods / P.I. Glushko, A.I. Yevsiukov, А.Yu. Ghuravlyov, N.А. Hovanskiy, D.A. Khizhnyak, B.M. Shirokov, А.V. Shijan // Вопросы атомной науки и техники. — 2016. — № 1. — С. 108-111. — Бібліогр.: 2 назв. — англ.
series Вопросы атомной науки и техники
work_keys_str_mv AT glushkopi depositionofwandwrealloysbygasphaseandplasmachemicalmethods
AT yevsiukovai depositionofwandwrealloysbygasphaseandplasmachemicalmethods
AT ghuravlyovayu depositionofwandwrealloysbygasphaseandplasmachemicalmethods
AT hovanskiyna depositionofwandwrealloysbygasphaseandplasmachemicalmethods
AT khizhnyakda depositionofwandwrealloysbygasphaseandplasmachemicalmethods
AT shirokovbm depositionofwandwrealloysbygasphaseandplasmachemicalmethods
AT shijanav depositionofwandwrealloysbygasphaseandplasmachemicalmethods
first_indexed 2024-03-30T09:18:35Z
last_indexed 2024-03-30T09:18:35Z
_version_ 1796149812963311616

Схожі ресурси