Оцінка залишкових напружень в PVD-покриттях. Повідомлення 2
У вакуум-плазмових покриттях із нітридів титану, алюмінію та ніобію методом гнучкого зразка визначено величини залишкових напружень. Запропоновано експериментально-розрахункову методику виділення структурної та термічної складових залишкових напружень, що дозволяє визначати коефіцієнти термічного...
Gespeichert in:
| Datum: | 2010 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainian |
| Veröffentlicht: |
Інститут проблем міцності ім. Г.С. Писаренко НАН України
2010
|
| Schriftenreihe: | Проблемы прочности |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111997 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Оцінка залишкових напружень в PVD-покриттях. Повідомлення 2 / О.Б. Сорока, С.А. Клименко, М.Ю. Копєйкіна // Проблемы прочности. — 2010. — № 4. — С. 118-129. — Бібліогр.: 47 назв. — укр. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-111997 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1119972017-01-17T03:02:48Z Оцінка залишкових напружень в PVD-покриттях. Повідомлення 2 Сорока, О.Б. Клименко, С.А. Копєйкіна, М.Ю. Научно-технический раздел У вакуум-плазмових покриттях із нітридів титану, алюмінію та ніобію методом гнучкого зразка визначено величини залишкових напружень. Запропоновано експериментально-розрахункову методику виділення структурної та термічної складових залишкових напружень, що дозволяє визначати коефіцієнти термічного розширення матеріалів покриттів та загальний рівень залишкових напружень у покриттях на основі з будь-якого матеріалу. Встановлено залежність залишкових напружень від шорсткості поверхні основи. Показано можливість врегулювання рівня залишкових напружень у покриттях шляхом формування їх дискретної топографії. В вакуум-плазменных покрытиях из нитридов титана, алюминия и ниобия методом гибкого образца определены величины остаточных напряжений. Предложена экспериментально-расчетная методика выделения структурной и термической составляющих остаточных напряжений, которая позволяет определить коэффициенты термического расширения материалов покрытий и общий уровень остаточных напряжений в покрытиях на основе из любого материала. Установлена зависимость остаточных напряжений от шероховатости поверхности основы. Показана возможность урегулирования уровня остаточных напряжений в покрытиях путем формирования дискретной топографии поверхности. 2010 Article Оцінка залишкових напружень в PVD-покриттях. Повідомлення 2 / О.Б. Сорока, С.А. Клименко, М.Ю. Копєйкіна // Проблемы прочности. — 2010. — № 4. — С. 118-129. — Бібліогр.: 47 назв. — укр. 0556-171X http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111997 621.539.4 uk Проблемы прочности Інститут проблем міцності ім. Г.С. Писаренко НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Ukrainian |
| topic |
Научно-технический раздел Научно-технический раздел |
| spellingShingle |
Научно-технический раздел Научно-технический раздел Сорока, О.Б. Клименко, С.А. Копєйкіна, М.Ю. Оцінка залишкових напружень в PVD-покриттях. Повідомлення 2 Проблемы прочности |
| description |
У вакуум-плазмових покриттях із нітридів титану, алюмінію та ніобію методом гнучкого
зразка визначено величини залишкових напружень. Запропоновано експериментально-розрахункову методику виділення структурної та термічної складових залишкових напружень, що
дозволяє визначати коефіцієнти термічного розширення матеріалів покриттів та загальний
рівень залишкових напружень у покриттях на основі з будь-якого матеріалу. Встановлено
залежність залишкових напружень від шорсткості поверхні основи. Показано можливість
врегулювання рівня залишкових напружень у покриттях шляхом формування їх дискретної
топографії. |
| format |
Article |
| author |
Сорока, О.Б. Клименко, С.А. Копєйкіна, М.Ю. |
| author_facet |
Сорока, О.Б. Клименко, С.А. Копєйкіна, М.Ю. |
| author_sort |
Сорока, О.Б. |
| title |
Оцінка залишкових напружень в PVD-покриттях. Повідомлення 2 |
| title_short |
Оцінка залишкових напружень в PVD-покриттях. Повідомлення 2 |
| title_full |
Оцінка залишкових напружень в PVD-покриттях. Повідомлення 2 |
| title_fullStr |
Оцінка залишкових напружень в PVD-покриттях. Повідомлення 2 |
| title_full_unstemmed |
Оцінка залишкових напружень в PVD-покриттях. Повідомлення 2 |
| title_sort |
оцінка залишкових напружень в pvd-покриттях. повідомлення 2 |
| publisher |
Інститут проблем міцності ім. Г.С. Писаренко НАН України |
| publishDate |
2010 |
| topic_facet |
Научно-технический раздел |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111997 |
| citation_txt |
Оцінка залишкових напружень в PVD-покриттях. Повідомлення 2 / О.Б. Сорока, С.А. Клименко, М.Ю. Копєйкіна // Проблемы прочности. — 2010. — № 4. — С. 118-129. — Бібліогр.: 47 назв. — укр. |
| series |
Проблемы прочности |
| work_keys_str_mv |
AT sorokaob ocínkazališkovihnapruženʹvpvdpokrittâhpovídomlennâ2 AT klimenkosa ocínkazališkovihnapruženʹvpvdpokrittâhpovídomlennâ2 AT kopêjkínamû ocínkazališkovihnapruženʹvpvdpokrittâhpovídomlennâ2 |
| first_indexed |
2025-07-08T03:09:45Z |
| last_indexed |
2025-07-08T03:09:45Z |
| _version_ |
1837046628719001600 |
| fulltext |
ÓÄÊ 621.539.4
Îö³íêà çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü â PVD-ïîêðèòòÿõ. Ïîâ³äîìëåííÿ 2
Î. Á. Ñîðîêà
à
, Ñ. À. Êëèìåíêî
á
, Ì. Þ. Êîïºéê³íà
á
à ²íñòèòóò ïðîáëåì ì³öíîñò³ ³ì. Ã. Ñ. Ïèñàðåíêà ÍÀÍ Óêðà¿íè, Êè¿â, Óêðà¿íà
á ²íñòèòóò íàäòâåðäèõ ìàòåð³àë³â ³ì. Â. Ì. Áàêóëÿ ÍÀÍ Óêðà¿íè, Êè¿â, Óêðà¿íà
Ó âàêóóì-ïëàçìîâèõ ïîêðèòòÿõ ³ç í³òðèä³â òèòàíó, àëþì³í³þ òà í³îá³þ ìåòîäîì ãíó÷êîãî
çðàçêà âèçíà÷åíî âåëè÷èíè çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü. Çàïðîïîíîâàíî åêñïåðèìåíòàëüíî-ðîçðà-
õóíêîâó ìåòîäèêó âèä³ëåííÿ ñòðóêòóðíî¿ òà òåðì³÷íî¿ ñêëàäîâèõ çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü, ùî
äîçâîëÿº âèçíà÷àòè êîåô³ö³ºíòè òåðì³÷íîãî ðîçøèðåííÿ ìàòåð³àë³â ïîêðèòò³â òà çàãàëüíèé
ð³âåíü çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü ó ïîêðèòòÿõ íà îñíîâ³ ç áóäü-ÿêîãî ìàòåð³àëó. Âñòàíîâëåíî
çàëåæí³ñòü çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü â³ä øîðñòêîñò³ ïîâåðõí³ îñíîâè. Ïîêàçàíî ìîæëèâ³ñòü
âðåãóëþâàííÿ ð³âíÿ çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü ó ïîêðèòòÿõ øëÿõîì ôîðìóâàííÿ ¿õ äèñêðåòíî¿
òîïîãðàô³¿.
Êëþ÷îâ³ ñëîâà: âàêóóì-ïëàçìîâ³ ïîêðèòòÿ, çàëèøêîâ³ íàïðóæåííÿ, øîðñò-
ê³ñòü, òåðì³÷íà òà ñòðóêòóðíà ñêëàäîâ³ çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü, äèñêðåòíà
òîïîãðàô³ÿ.
Âñòóï. Âàêóóì-ïëàçìîâ³ PVD-ïîêðèòòÿ íà îñíîâ³ í³òðèä³â õàðàêòåðèçó-
þòüñÿ âèñîêîþ òâåðä³ñòþ ³ õîðîøîþ àäãå糺þ ç îñíîâîþ. Çàâäÿêè çíà÷í³é
çíîñî- òà òåðìîñò³éêîñò³ âîíè øèðîêî âèêîðèñòîâóþòüñÿ äëÿ ï³äâèùåííÿ
åêñïëóàòàö³éíèõ âëàñòèâîñòåé ð³çàëüíèõ ³ äåôîðìóþ÷èõ ³íñòðóìåíò³â, äåòà-
ëåé ïàð òåðòÿ, ëîïàòîê ãàçîòóðá³ííèõ äâèãóí³â (ÃÒÄ). Àíàë³ç íàâåäåíèõ ó
ë³òåðàòóðíèõ äæåðåëàõ äàíèõ ïîêàçóº, ùî äëÿ öèõ ïîêðèòò³â õàðàêòåðí³
çíà÷í³ çàëèøêîâ³ íàïðóæåííÿ ñòèñêó, ð³âåíü ÿêèõ ñÿãຠâ³ä ñîòåíü ìåãàïàñêà-
ë³â äî ï³âòîðà äåñÿòêà ã³ãàïàñêàëåé [1–6]. Âèíèêíåííÿ çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü
çóìîâëåíå ÿê ð³çíèöåþ êîåô³ö³ºíò³â òåìïåðàòóðíîãî ðîçøèðåííÿ ìàòåð³àë³â
îñíîâè ³ ïîêðèòòÿ (òåðì³÷íà ñêëàäîâà), òàê ³ âçàºìî䳺þ ì³æ çðîñòàþ÷èìè
êðèñòàë³òàìè (ñòðóêòóðíà ñêëàäîâà) [1, 7].
Àâòîðàìè [2, 8] ñòâåðäæóºòüñÿ, ùî íàïðóæåííÿ â ïîêðèòò³, çóìîâëåí³
ñòðóêòóðíîþ êîìïîíåíòîþ (íàïðóæåííÿ çðîñòàííÿ ïîêðèòòÿ), íå çàëåæàòü â³ä
ìàòåð³àëó îñíîâè, à ð³çíèöÿ ì³æ ð³âíåì çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü ó ïîêðèòòÿõ,
íàíåñåíèõ íà ð³çí³ îñíîâè, çàëåæèòü â³ä òåðì³÷íî¿ êîìïîíåíòè. Ñàìå ç
âèñîêèì ð³âíåì çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü ñòèñêó ïîâ’ÿçóþòü òð³ùèíîñò³éê³ñòü,
çíîñîñò³éê³ñòü òà êîðîç³éíó ñò³éê³ñòü ïîâåðõîíü, ìîäèô³êîâàíèõ âàêóóì-ïëàç-
ìîâèìè ïîêðèòòÿìè [9–11]. ßê çàçíà÷àºòüñÿ â [12], âèñîêèé ð³âåíü çàëèø-
êîâèõ íàïðóæåíü ñòèñêó ñòðèìóº ïðîöåñè òð³ùèíîóòâîðåííÿ â ïîêðèòòÿõ ïðè
åêñïëóàòàö³¿ ð³çàëüíîãî ³íñòðóìåíòó, îñîáëèâî â óìîâàõ ïåðåðèâ÷àñòîãî ð³çàí-
íÿ. Íàÿâí³ñòü çíà÷íèõ çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü ñòèñêó ïîçèòèâíî âïëèâຠíà
òàê³ õàðàêòåðèñòèêè, ÿê ãðàíèöÿ âèòðèâàëîñò³ [13], ãðàíèöÿ òåêó÷îñò³ [14].
Ðàçîì ³ç òèì çàâäÿêè âèñîêîìó ð³âíþ çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü ñòèñêó ïîêðèò-
òÿ ñòàþòü á³ëüø êðèõêèìè, ùî ìîæå ïðèçâåñòè äî ¿õ ñïîíòàííîãî â³äøàðó-
âàííÿ ùå äî ïî÷àòêó åêñïëóàòàö³¿ àáî äî ïîðóøåííÿ ç÷åïëåííÿ îñíîâè ç
ïîêðèòòÿì ó ïðîöåñ³ åêñïëóàòàö³¿ [15–20].
© Î. Á. ÑÎÐÎÊÀ, Ñ. À. ÊËÈÌÅÍÊÎ, Ì. Þ. ÊÎϪÉʲÍÀ, 2010
118 ISSN 0556-171X. Ïðîáëåìû ïðî÷íîñòè, 2010, ¹ 4
Ó çâ’ÿçêó ç öèì íåîáõ³äíî âèçíà÷èòè ìîæëèâîñò³ ùîäî âðåãóëþâàííÿ
ð³âíÿ çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü ñòèñêó â ïîêðèòòÿõ. Äîñÿãòè öüîãî ìîæíà
øëÿõîì óäîñêîíàëåííÿ òåõíîëî㳿 íàíåñåííÿ ïîêðèòò³â òà ñòâîðåííÿ â³äïî-
â³äíî¿ àðõ³òåêòóðè ïîâåðõí³. Äî ðîçïîâñþäæåíèõ ìåòîä³â âðåãóëþâàííÿ âåëè-
÷èíè çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü â³äíîñÿòü ñòâîðåííÿ ñèñòåì ³ç ïðîì³æíèìè òà
áóôåðíèìè ïðîøàðêàìè, áàãàòîøàðîâèõ ïîêðèòò³â, ó òîìó ÷èñë³ ì³êðî-, íàíî-
ñòðóêòóðíèõ òà íàíîøàðîâèõ [18, 21–29]. Äîñèòü ïðîñòèì ³ äîñòóïíèì ç
òî÷êè çîðó ïðàêòè÷íî¿ ðåàë³çàö³¿ º ìåòîä ôîðìóâàííÿ ïîêðèòò³â äèñêðåòíî¿
òîïîãðàô³¿ ç ï³äâèùåíèìè õàðàêòåðèñòèêàìè àäãåç³éíî¿ òà êîãåç³éíî¿ ì³öíîñò³
[30–32]. Ðàí³øå [33] áóëî ïîêàçàíî, ùî ñòâîðåííÿ äèñêðåòíî¿ òîïîãðàô³¿
äîçâîëÿº òàêîæ çìåíøèòè ð³âåíü çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü ó ïîêðèòò³.
Ìåòîþ ðîáîòè º óçàãàëüíåííÿ ðåçóëüòàò³â äîñë³äæåíü çàëèøêîâèõ íàïðó-
æåíü ó PVD-ïîêðèòòÿõ, âèÿâëåííÿ ïðèðîäè òà ÷èííèê³â, â³ä ÿêèõ çàëåæèòü
ð³âåíü íàïðóæåíü, à òàêîæ âñòàíîâëåííÿ øëÿõ³â éîãî âðåãóëþâàííÿ.
Íàíåñåííÿ ïîêðèòò³â. Ïîêðèòòÿ ç í³òðèäó òèòàíó TiN (Eï � �4 4 105, ÌÏà
[34]) ³ ïîäâ³éíîãî í³òðèäó òèòàíó òà àëþì³í³þ (Ti, Al)N (Eï � �4 2 105, ÌÏà
[22]) ð³çíî¿ òîâùèíè íàíîñèëè íà ïîë³ðîâàí³ çðàçêè (ðîçì³ð 120 5 0 5� � , ìì)
ç øâèäêîð³çàëüíî¿ ñòàë³ Ð6Ì5 (Eî � �2 3 105, ÌÏà) ìåòîäîì êîíäåíñàö³¿ ç
ïëàçìîâî¿ ôàçè â óìîâàõ ³îííîãî áîìáàðäóâàííÿ ïîâåðõí³ íà óñòàòêóâàíí³
ÍÍÂ-6,6-È1 (Áóëàò-20) ïðè ï³äòðèìóâàíí³ ïîñò³éíî¿ òåìïåðàòóðè îñíîâè íà
ð³âí³ 480 ³ 520�Ñ â³äïîâ³äíî. Òàêîæ íà çðàçêè ç³ ñòàë³ ÕÂà (Eî � �2 1 105, ÌÏà)
ïðè òåìïåðàòóð³ 420�Ñ íàíîñèëè NbN-ïîêðèòòÿ (Eï � �4 0 105, ÌÏà) [35]
òîâùèíîþ 5 ìêì. Îïîðíèé â³ä’ºìíèé ïîòåíö³àë îñíîâè ñêëàäຠ�200 Â. ²ç
ìåòîþ âèçíà÷åííÿ çàëåæíîñò³ âåëè÷èíè çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü â³ä øîðñò-
êîñò³ ïîâåðõí³ îñíîâè TiN-ïîêðèòòÿ íàíîñèëè íà çðàçêè ç³ ñòàë³ Ð6Ì5 ï³ñëÿ
ð³çíèõ âèä³â îáðîáêè ïîâåðõí³: ÷îðíîâîãî ³ ÷èñòîâîãî øë³ôóâàííÿ òà ïîë³ðó-
âàííÿ. Ïàðàìåòðè øîðñòêîñò³ ïîâåðõí³ âèì³ðþâàëè çà äîïîìîãîþ ïðîô³ëî-
ãðàôà ìîäåë³ MarSurf PS1.
Ïðîöåñ íàíåñåííÿ ïîêðèòò³â äèñêðåòíîãî òèïó ðåàë³çîâóâàâñÿ çà äîïîìî-
ãîþ “ìàñîê”, ùî ÿâëÿëè ñîáîþ ñ³ò÷àñò³ åêðàíè, âèãîòîâëåí³ ç í³õðîìîâîãî
äðîòó [32, 33]. Ó çàëåæíîñò³ â³ä ïàðàìåòð³â “ìàñêè” (ä³àìåòð äðîòó òà ðîçì³ð
÷àðóíêè) îòðèìóâàëè ïîêðèòòÿ íå ëèøå ç ð³çíèìè ðîçì³ðàìè äèñêðåòíèõ
ä³ëÿíîê, à é ç ð³çíîþ ù³ëüí³ñòþ � (â³äíîøåííÿ çàãàëüíî¿ ïëîù³ äèñêðåòíèõ
ä³ëÿíîê äî ïëîù³ îñíîâè).
Âèçíà÷åííÿ çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü ó ïîêðèòòÿõ. Çàëèøêîâ³ íàïðó-
æåííÿ ó ïîêðèòòÿõ âèçíà÷àëè íàéá³ëüø ïðîñòèì ³ äîñòóïíèì ìåòîäîì ãíó÷-
êîãî çðàçêà. Ñóòü ìåòîäó ïîëÿãຠâ òîìó, ùî òîíêà ïëàñòèíà (äîâãà ³ âóçüêà),
íà ÿêó íàíåñåíî ïîêðèòòÿ, ï³ä 䳺þ çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü äåôîðìóºòüñÿ ó
âèãëÿä³ äóãè êîëà. Ïðîãèí àáî ðàä³óñ êðèâèçíè äåôîðìîâàíîãî çðàçêà äîçâî-
ëÿº ðîçðàõóâàòè çàëèøêîâ³ íàïðóæåííÿ [36, 37]. Ïåðåâàãîþ òàêîãî åêñïåðè-
ìåíòàëüíî-ðîçðàõóíêîâîãî ìåòîäó º òå, ùî íàïðóæåííÿ âèçíà÷àþòüñÿ çà
ê³íöåâèì ðåçóëüòàòîì, òîáòî ¿õ ïîõîäæåííÿ íå ìຠçíà÷åííÿ. Ïðè âèçíà÷åíí³
íàïðóæåíü ïðèïóñêàþòü, ùî âîíè ð³âíîì³ðíî ðîçïîä³ëåí³ ïî ïåðåð³çó ïîêðèò-
òÿ (öå âèïðàâäàíî çà óìîâè ìàëî¿ òîâùèíè ïîêðèòòÿ). Ïåðåä íàíåñåííÿì
ïîêðèòòÿ çðàçîê ó âèãëÿä³ òîíêî¿ ïëàñòèíè çàêð³ïëþâàëè â êîíäóêòîð³ ç äâîìà
ISSN 0556-171X. Ïðîáëåìû ïðî÷íîñòè, 2010, ¹ 4 119
Îö³íêà çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü ...
çàòèñêóâà÷àìè. ϳñëÿ íàíåñåííÿ ïîêðèòòÿ çàòèñêóâà÷³ êîíäóêòîðà çí³ìàëè,
çðàçîê äåôîðìóâàâñÿ ³ âèì³ðþâàëè ïðîãèí f . Ïîò³ì çà ôîðìóëîþ, ÿêà áàçó-
ºòüñÿ íà ð³âíÿíí³ ïðóæíî¿ ë³í³¿ äëÿ áàëêè, âèçíà÷àëè çàëèøêîâ³ íàïðóæåííÿ
� ï
çàë çà çàëåæí³ñòþ [38]
�
�
ï
çàë î î
ï î î ï
�
32
3 1 2
3
2
E H f
a h H h( )( )
, (1)
äå 2H î , hï – òîâùèíè îñíîâè ³ ïîêðèòòÿ â³äïîâ³äíî; Eî , � î – ìîäóëü
ïðóæíîñò³ ïåðøîãî ðîäó ³ êîåô³ö³ºíò Ïóàññîíà ìàòåð³àëó îñíîâè â³äïîâ³äíî;
f – ïðîãèí çðàçêà; a – äîâæèíà çðàçêà.
Äëÿ ïîä³ëó íàïðóæåíü íà ñòðóêòóðíó ³ òåìïåðàòóðíó ñêëàäîâ³ äåôîð-
ìîâàí³ çðàçêè íàãð³âàëè â ìóôåëüí³é ïå÷³ äî òåìïåðàòóðè, ùî â³äïîâ³äàº
òåìïåðàòóð³ íàíåñåííÿ ïîêðèòòÿ. Âåëè÷èíó ïðîãèíó ô³êñóâàëè çà äîïîìîãîþ
ôîòîêàìåðè Nikon Coolpix 7600, ÿêà âñòàíîâëþâàëàñü ïåðåä îòâîðîì ïå÷³,
÷åðåç òåðìîì³öíå ñêëî. Àíàë³ç îòðèìàíèõ äàíèõ ñâ³ä÷èòü ïðî çìåíøåííÿ
ïðîãèíó çðàçê³â ó ðåçóëüòàò³ ¿õ íàãð³âàííÿ. Öå, î÷åâèäíî, ïîâ’ÿçàíî ç ðåëàê-
ñàö³ºþ òåðì³÷íî¿ ñêëàäîâî¿ çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü. Âåëè÷èíè ïðîãèíó çðàç-
ê³â, ùî çàëèøèëèñÿ ï³ñëÿ íàãð³âàííÿ äî òåìïåðàòóðè íàíåñåííÿ ïîêðèòòÿ,
â³äïîâ³äàþòü çàëèøêîâèì íàïðóæåííÿì ñòðóêòóðíîãî ïîõîäæåííÿ.
Çàëåæíîñò³ çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü ñòèñêó, ðîçðàõîâàí³ çà ôîðìóëîþ (1)
íà îñíîâ³ âèì³ðþâàííÿ ïðîãèíó f , â³ä òîâùèíè ïîêðèòòÿ h íà ïîë³ðîâàí³é
îñíîâ³ ç³ ñòàë³ Ð6Ì5, ïðåäñòàâëåíî íà ðèñ. 1. Îòðèìàí³ äàí³ ïîêàçóþòü, ùî
äëÿ (Ti, Al)N- ³ TiN-ïîêðèòò³â õàðàêòåðí³ çíà÷í³ íàïðóæåííÿ ñòèñêó. Ñïîñòå-
ð³ãàºòüñÿ çìåíøåííÿ ð³âíÿ çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü ç³ çðîñòàííÿì òîâùèíè
ïîêðèòòÿ, ùî óçãîäæóºòüñÿ ç ô³çè÷íèìè óÿâëåííÿìè ïðî ôîðìóâàííÿ PVD-
ïîêðèòò³â (çìåíøåííÿ äåôåêòíîñò³ êîíäåíñàòó ³ âäîñêîíàëåííÿ ñòðóêòóðè
íàñòóïíèõ øàð³â ïîêðèòòÿ [39]).
Ðèñ. 1. Çàëåæí³ñòü çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü ñòèñêó � ï
çàë â³ä hï: 1 – (Ti, Al)N-ïîêðèòòÿ; 2 –
TiN-ïîêðèòòÿ.
� ï
çàë , ÃÏà
hï , ìêì
120 ISSN 0556-171X. Ïðîáëåìû ïðî÷íîñòè, 2010, ¹ 4
Î. Á. Ñîðîêà, Ñ. À. Êëèìåíêî, Ì. Þ. Êîïºéê³íà
Ñòðóêòóðíà òà òåìïåðàòóðíà ñêëàäîâ³ çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü. Ïðè
íàãð³âàíí³ çðàçê³â ç³ øâèäêîð³çàëüíî¿ ñòàë³ Ð6Ì5 ³ç (Ti, Al)N- ³ TiN-ïîêðèò-
òÿìè òîâùèíîþ 6 ìêì òà ç³ ñòàë³ ÕÂà ³ç NbN-ïîêðèòòÿì òîâùèíîþ 5 ìêì äî
òåìïåðàòóðè ¿õ íàíåñåííÿ ñïîñòåð³ãàºòüñÿ çìåíøåííÿ âåëè÷èíè ïðîãèíó íà
28...30% âèõ³äíîãî çíà÷åííÿ. Îñê³ëüêè çíà÷åííÿ çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü ïðÿìî
ïðîïîðö³éí³ âåëè÷èíàì ïðîãèíó, ïðèõîäèìî äî âèñíîâêó, ùî 28...30% çàëèø-
êîâèõ íàïðóæåíü âèçíà÷àþòüñÿ òåðì³÷íîþ ñêëàäîâîþ, çóìîâëåíîþ ð³çíèöåþ
ì³æ êîåô³ö³ºíòàìè òåìïåðàòóðíîãî ðîçøèðåííÿ (ÊÒÐ) ìàòåð³àë³â îñíîâè ³
ïîêðèòòÿ. Òàê, äëÿ (Ti, Al)N-, TiN-, NbN-ïîêðèòò³â òåðì³÷íà ñêëàäîâà ñòàíîâèòü
0 97, , 0 9, ³ 0 74, ÃÏà â³äïîâ³äíî, ñêëàäîâà ñòðóêòóðíîãî ïîõîäæåííÿ, ùî
äîð³âíþº 68...71% çàãàëüíî¿ âåëè÷èíè íàïðóæåíü, 2 23, , 1 7, ³ 1 82, ÃÏà
â³äïîâ³äíî.
Çà äîïîìîãîþ îòðèìàíîãî ðåçóëüòàòó, ïî-ïåðøå, ³ñíóº ìîæëèâ³ñòü óòî÷-
íèòè çíà÷åííÿ êîåô³ö³ºíòà òåìïåðàòóðíîãî ðîçøèðåííÿ ìàòåð³àëó ïîêðèòòÿ.
Ïî-äðóãå, âèõîäÿ÷è ç ïðèïóùåííÿ ùîäî íåçàëåæíîñò³ ñòðóêòóðíî¿ ñêëàäîâî¿
çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü â³ä îñíîâíîãî ìàòåð³àëó [2, 8], ëåãêî çíàéòè çàãàëüíó
âåëè÷èíó çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü äëÿ ïîêðèòòÿ çàäàíî¿ òîâùèíè íà îñíîâ³ ç
áóäü-ÿêîãî ìàòåð³àëó ÿê ñóìó òåðì³÷íî¿ òà ñòðóêòóðíî¿ ñêëàäîâèõ. Òàê, ÿêùî
âèíèêíåííÿ çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü ó ñèñòåì³ îñíîâà–ïîêðèòòÿ çóìîâëåíå
ð³çíèöåþ ì³æ êîåô³ö³ºíòàìè òåìïåðàòóðíîãî ðîçøèðåííÿ ìàòåð³àë³â îñíîâè ³
ïîêðèòòÿ, íîðìàëüí³ çàëèøêîâ³ íàïðóæåííÿ â ïîêðèòò³ âèçíà÷àþòüñÿ çà ôîð-
ìóëîþ [40]
�
� �
� �ï
çàë ï î
ï
ï
î
î
ï
î
�
( )
,
�T
E E
h
H
1 1
2
(2)
äå �ï , �î – ñåðåäí³ ë³í³éí³ êîåô³ö³ºíòè òåìïåðàòóðíîãî ðîçøèðåííÿ ìàòå-
ð³àë³â ïîêðèòòÿ é îñíîâè â ³íòåðâàë³ �T; �T – ð³çíèöÿ ì³æ òåìïåðàòóðîþ
ôîðìóâàííÿ ïîêðèòòÿ ³ ê³ìíàòíîþ; Eï , � ï – ìîäóëü ïðóæíîñò³ ïåðøîãî
ðîäó ³ êîåô³ö³ºíò Ïóàññîíà ìàòåð³àëó ïîêðèòòÿ â³äïîâ³äíî.
Îòðèìàâøè çíà÷åííÿ òåðì³÷íèõ ñêëàäîâèõ çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü òà
âðàõîâóþ÷è, ùî ÊÒÐ ³íñòðóìåíòàëüíî¿ ñòàë³ äîð³âíþº 10 4 10 6 1, � Ê , çíàõî-
äèìî ÊÒÐ (Ti, Al)N-, TiN- ³ NbN-ïîêðèòò³â, ÿê³ ñòàíîâëÿòü â³äïîâ³äíî
7 7 10 6, ;� 7 4 10 6, � ³ 6 95 10 6 1, � Ê .
Âàæëèâî çàçíà÷èòè, ùî NbN-ïîêðèòòÿ ðåêîìåíäóºòüñÿ äëÿ ï³äâèùåííÿ
åêñïëóàòàö³éíèõ âëàñòèâîñòåé ð³çàëüíîãî ³íñòðóìåíòó, ÿêèé îñíàùåíî ïîë³-
êðèñòàë³÷íèìè íàäòâåðäèìè ìàòåð³àëàìè (ÏÍÒÌ) íà îñíîâ³ êóá³÷íîãî í³òðè-
äó áîðó (ÊÍÁ) [41, 42]. Ïîêðèòòÿ äîçâîëÿº ì³í³ì³çóâàòè àäãåç³éíó ³ õ³ì³÷íó
âçàºìîä³þ ïðè òî÷³íí³ çàãàðòîâàíèõ ñòàëåé, ëèòèõ òà íàïèëåíèõ í³êåëåâèõ
ñïëàâ³â, âèá³ëåíèõ ÷àâóí³â, âíàñë³äîê ÷îãî ³íòåíñèâí³ñòü çíîøóâàííÿ òàêîãî
³íñòðóìåíòó çìåíøóºòüñÿ â 1,25...1,30 ðàçà ïîð³âíÿíî ç ³íñòðóìåíòîì áåç
ïîêðèòòÿ. Âèçíà÷èòè âåëè÷èíó çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü ó ïîêðèòò³ íà çðàçêó ç
ÏÍÒÌ ìåòîäîì ãíó÷êîãî çðàçêà íåìîæëèâî. Ç óðàõóâàííÿì ïðåäñòàâëåíèõ
âèùå ðåçóëüòàò³â îö³íèòè çàëèøêîâ³ íàïðóæåííÿ ó NbN-ïîêðèòò³, íàíåñåíîìó
íà ÏÍÒÌ íà îñíîâ³ ÊÍÁ, ìîæíà íàñòóïíèì ÷èíîì (ðèñ. 2,à).
ISSN 0556-171X. Ïðîáëåìû ïðî÷íîñòè, 2010, ¹ 4 121
Îö³íêà çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü ...
Çã³äíî ç çàëåæí³ñòþ (2) ç óðàõóâàííÿì òîãî, ùî âåëè÷èíè êîåô³ö³ºíò³â
òåìïåðàòóðíîãî ðîçøèðåííÿ äëÿ NbN-ïîêðèòòÿ ³ ÊÍÁ ñòàíîâëÿòü 6 95 10 6, � � ³
2 55 10 6 1, � � �Ê â³äïîâ³äíî, îäåðæèìî, ùî òåìïåðàòóðíà ñêëàäîâà çàëèøêîâèõ
íàïðóæåíü äîäàòíà ³ äîð³âíþº 0,88 ÃÏà. ßêùî ïðèéíÿòè, ùî ñòðóêòóðíà
ñêëàäîâà çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü ó ïîêðèòò³ íå çàëåæèòü â³ä ìàòåð³àëó îñíîâè
³ ñêëàäຠ�1 82, ÃÏà, ìîæíà âèçíà÷èòè ñåðåäíþ âåëè÷èíó çàëèøêîâèõ íàïðó-
æåíü ó NbN-ïîêðèòò³, íàíåñåíîìó íà ÏÍÒÌ íà îñíîâ³ ÊÍÁ, ÿê ñóìó ñòðóê-
òóðíî¿ òà òåìïåðàòóðíî¿ ñêëàäîâèõ (�0 94, ÃÏà).
Àíàëîã³÷íî, âðàõîâóþ÷è, ùî â³äîìî çàãàëüíå çíà÷åííÿ çàëèøêîâèõ íà-
ïðóæåíü ó (Ti, Al)N-ïîêðèòò³ íà ñòàëåâîìó çðàçêó, ¿õ ñòðóêòóðíà ³ òåìïåðà-
òóðíà ñêëàäîâ³, òà, îòðèìàâøè çà çàëåæí³ñòþ (2) òåìïåðàòóðíó ñêëàäîâó
çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü ó öüîìó ïîêðèòò³ íà îñíîâ³, íàïðèêëàä, ç âîëüôðàìî-
êîáàëüòîâîãî òâåðäîãî ñïëàâó ÂÊ8 (�î Ê� � � �5 5 10 6 1, ), çíàõîäèìî çàãàëüíó
âåëè÷èíó çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü ó (Ti, Al)N-ïîêðèòò³ íà îñíîâ³ ç òâåðäîãî
ñïëàâó (ðèñ. 2,á). Çàçíà÷èìî, ùî â³äïîâ³äí³ ðîçðàõóíêè íåîáõ³äíî ïðîâîäèòè
äëÿ âèïàäêó, êîëè øîðñòê³ñòü ïîâåðõí³ ñòàëåâèõ ïëàñòèí äî íàíåñåííÿ ïî-
êðèòòÿ îäíàêîâà ç øîðñòê³ñòþ îñíîâè ç òâåðäîãî ñïëàâó àáî ÏÍÒÌ.
Çàïðîïîíîâàíèé ï³äõ³ä äîçâîëÿº îö³íèòè çàëåæí³ñòü ì³æ ñï³ââ³äíîøåííÿì
òåðì³÷íî¿ � ï
ò.çàë ³ ñòðóêòóðíî¿ � ï
c.çàë ñêëàäîâèõ çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü òà
â³äíîøåííÿì êîåô³ö³ºíò³â òåìïåðàòóðíîãî ðîçøèðåííÿ ìàòåð³àë³â ïîêðèòòÿ ³
îñíîâè. Öå çðîáëåíî íà ïðèêëàä³ ðîçðàõóíê³â äëÿ NbN-ïîêðèòòÿ òîâùèíîþ
5 ìêì íà òàêèõ ³íñòðóìåíòàëüíèõ ìàòåð³àëàõ, ÿê øâèäêîð³çàëüíà ñòàëü Ð6Ì5,
áåçâîëüôðàìîâèé òâåðäèé ñïëàâ ÒÍ-20 (�î Ê� � � �( , ... , )8 9 9 0 10 6 1 [43]), ñïëàâ
a á
Ðèñ. 2. гâåíü çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü ó NbN-ïîêðèòò³ òîâùèíîþ 5 ìêì (à) òà ó (Ti, Al)N-
ïîêðèòò³ òîâùèíîþ 6 ìêì (á): 1 – ñóìàðí³ çàëèøêîâ³ íàïðóæåííÿ ó ñòàëåâèõ çðàçêàõ, îòðèìàí³
çà çàëåæí³ñòþ (1); 2 – ñòðóêòóðíà ñêëàäîâà çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü; 3 – ñêëàäîâà çàëèøêîâèõ
íàïðóæåíü, çóìîâëåíà ð³çíèöåþ ì³æ ÊÒÐ ñòàë³ ³ ïîêðèòòÿ; 4 – ñêëàäîâà çàëèøêîâèõ íàïðó-
æåíü, çóìîâëåíà ð³çíèöåþ ì³æ ÊÒÐ ìàòåð³àë³â îñíîâè (ÏÍÒÌ (à), ÂÊ8 (á)) ³ ïîêðèòòÿ; 5 –
ñóìàðí³ çàëèøêîâ³ íàïðóæåííÿ ó ïîêðèòòÿõ, íàíåñåíèõ íà ÏÍÒÌ (à) òà ÂÊ8 (á).
� ï
çàë , ÃÏà � ï
çàë , ÃÏà
122 ISSN 0556-171X. Ïðîáëåìû ïðî÷íîñòè, 2010, ¹ 4
Î. Á. Ñîðîêà, Ñ. À. Êëèìåíêî, Ì. Þ. Êîïºéê³íà
ÂÊ8, ð³çàëüíà êåðàì³êà ñèë³í³ò-Ð (�î Ê� � ( , ... , )3 8 4 2 10 6 1 [44]), ÏÍÒÌ íà
îñíîâ³ ÊÍÁ (ðèñ. 3).
Àíàë³ç çàëåæíîñò³ íà ðèñ. 3 ïîêàçóº, ùî ä³ëÿíêà êðèâî¿, ÿêà çíàõîäèòüñÿ
âèùå îñ³ àáñöèñ, â³äïîâ³äຠîñíîâàì (³íñòðóìåíòàëüí³ ñòàë³, ñïëàâ ÒÍ-20), äå
çíà÷åííÿ òåìïåðàòóðíî¿ ñêëàäîâî¿ çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü ó ïîêðèòò³ â³ä’ºìíå
(íàïðóæåííÿ ñòèñêó), òîáòî çá³ãàºòüñÿ çà çíàêîì ç³ ñòðóêòóðíîþ ñêëàäîâîþ.
³äïîâ³äíî ä³ëÿíêà êðèâî¿, ùî ðîçòàøîâàíà íèæ÷å îñ³ àáñöèñ, º ãåîìåòðè÷íèì
ì³ñöåì òî÷îê, ÿê³ õàðàêòåðèçóþòü òàêó êîìïîçèö³þ îñíîâà–ïîêðèòòÿ, äå çà-
ëèøêîâ³ íàïðóæåííÿ â ïîêðèòò³, çóìîâëåí³ òåðì³÷íèì ÷èííèêîì, º íàïðóæåí-
íÿìè ðîçòÿãó (îñíîâè: âîëüôðàìîêîáàëüòîâèé òâåðäèé ñïëàâ; ñèë³í³ò-Ð; ÏÍÒÌ
íà îñíîâ³ ÊÍÁ). Òî÷êà ïåðåòèíó êðèâîþ îñ³ àáñöèñ â³äïîâ³äຠíóëüîâîìó
çíà÷åííþ ïðè ð³âíîñò³ êîåô³ö³ºíò³â òåìïåðàòóðíîãî ðîçøèðåííÿ ìàòåð³àë³â
îñíîâè òà ïîêðèòòÿ.
Îòðèìàí³ ðåçóëüòàòè ðîçðàõóíê³â ñâ³ä÷àòü, ùî ç ðîñòîì â³äíîøåííÿ
� �ï o çíàê çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü ñòðóêòóðíîãî õàðàêòåðó íå çì³íþºòüñÿ,
äîëÿ çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü ñòèñêó òåðì³÷íîãî õàðàêòåðó çíèæóºòüñÿ, à ðîç-
òÿãó – ï³äâèùóºòüñÿ.
Òàêèì ÷èíîì, çàïðîïîíîâàíèé åêñïåðèìåíòàëüíî-ðîçðàõóíêîâèé ìåòîä
äîçâîëÿº âèçíà÷èòè âåëè÷èíó çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü ³ ¿õ ñêëàäîâèõ ó âàêóóì-
ïëàçìîâèõ ïîêðèòòÿõ ïðè íàíåñåíí³ íà îñíîâó ç áóäü-ÿêèõ ìàòåð³àë³â (òâåðä³
ñïëàâè, ð³çàëüíà êåðàì³êà, ïîë³êðèñòàë³÷í³ íàäòâåðä³ ìàòåð³àëè ³íñòðóìåí-
òàëüíîãî ïðèçíà÷åííÿ).
Çàëåæí³ñòü çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü â³ä øîðñòêîñò³ îñíîâè. Âðàõîâó-
þ÷è, ùî çàëèøêîâ³ íàïðóæåííÿ ó PVD-ïîêðèòòÿõ ó çíà÷í³é ì³ð³ çóìîâëåí³
ñòðóêòóðíîþ ñêëàäîâîþ, äîðå÷íî çðîáèòè ïðèïóùåííÿ ïðî çàëåæí³ñòü ¿õ
ð³âíÿ â³ä øîðñòêîñò³ îñíîâè. Íà ðèñ. 4 ïðåäñòàâëåíî çàëåæí³ñòü çàëèøêîâèõ
íàïðóæåíü ñòèñêó â TiN-ïîêðèòò³ â³ä øîðñòêîñò³ ñòàë³ Ð6Ì5 ï³ñëÿ ð³çíèõ
âèä³â îáðîáêè îñíîâíî¿ ïîâåðõí³: ÷îðíîâîãî (Ra0,895) ³ ÷èñòîâîãî (Ra0,253)
øë³ôóâàííÿ òà ïîë³ðóâàííÿ (Ra0,07).
Ðèñ. 3. Çàëåæí³ñòü â³äíîøåííÿ òåðì³÷íî¿ ñêëàäîâî¿ çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü äî ñòðóêòóðíî¿ ó
NbN-ïîêðèòò³ òîâùèíîþ 5 ìêì â³ä � �ï o äëÿ ð³çíèõ ìàòåð³àë³â îñíîâè.
� �ï
ò.çàë
ï
ñ.çàë
� �ï î
ISSN 0556-171X. Ïðîáëåìû ïðî÷íîñòè, 2010, ¹ 4 123
Îö³íêà çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü ...
Àíàë³ç íàâåäåíèõ çàëåæíîñòåé ïîêàçóº, ùî ç³ çðîñòàííÿì øîðñòêîñò³
îñíîâè ï³äâèùóºòüñÿ ð³âåíü çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü. Íàéá³ëüø ñóòòºâî òàêà
çàëåæí³ñòü ïðîÿâëÿºòüñÿ äëÿ á³ëüø òîíêèõ ïîêðèòò³â. Îòðèìàí³ ðåçóëüòàòè
óçãîäæóþòüñÿ ç äàíèìè, íàâåäåíèìè â ðîáîò³ [45].
Òðåáà çàçíà÷èòè, ùî øîðñòê³ñòü ïîâåðõí³ ç ïîêðèòòÿì ïåðåâèùóº âèõ³ä-
íó øîðñòê³ñòü îñíîâè. Ïðè öüîìó øîðñòê³ñòü ïîâåðõí³ çàëåæèòü â³ä òåõíî-
ëî㳿 ïîïåðåäíüî¿ îáðîáêè ³ ð³âíÿ øîðñòêîñò³ îñíîâè. Òàê, øîðñòê³ñòü ïîïå-
ðåäíüî ïîë³ðîâàíî¿ ïîâåðõí³ ç TiN-ïîêðèòòÿì òîâùèíîþ 2 ìêì çá³ëüøóºòüñÿ
ïðèáëèçíî â 2,5 ðàçà ïîð³âíÿíî ç âèõ³äíîþ øîðñòê³ñòþ, ï³ñëÿ ÷èñòîâîãî
øë³ôóâàííÿ âîíà ï³äâèùóºòüñÿ ïðèáëèçíî â 1,3 ðàçà, â òîé ÷àñ ÿê ï³ñëÿ
÷îðíîâîãî øë³ôóâàííÿ ïðàêòè÷íî íå çì³íþºòüñÿ (ðèñ. 5).
Çíèæåííÿ ð³âíÿ çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü ó ïîêðèòòÿõ øëÿõîì çìåíøåííÿ
øîðñòêîñò³ îñíîâè íå çàâæäè äîö³ëüíî, îñê³ëüêè õàðàêòåð îáðîáêè ïîâåðõí³
îñíîâè âïëèâຠíà àäãåç³éíó ì³öí³ñòü ó ñèñòåì³ îñíîâà–ïîêðèòòÿ [46], ³
íèçüêà øîðñòê³ñòü îñíîâè ¿¿ ïîã³ðøóº. Ç óðàõóâàííÿì öüîãî, à òàêîæ òîãî, ùî
øîðñòê³ñòü ïîâåðõí³ òåðòÿ ç ïîêðèòòÿì (³íñòðóìåíòó àáî äåòàë³ ïàðè òåðòÿ)
çíà÷íî âïëèâຠíà ¿¿ äîâãîâ³÷í³ñòü [47], âèâ÷èòè öå ïèòàííÿ íåîáõ³äíî îêðåìî.
Ðèñ. 4. Çàëåæí³ñòü àáñîëþòíèõ çíà÷åíü çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü ñòèñêó � ï
çàë â TiN-ïîêðèòò³, ùî
ìຠð³çíó òîâùèíó, â³ä øîðñòêîñò³ îñíîâè: 1 – h � 2 ìêì; 2 – h � 6 ìêì.
� ï
çàë , ÃÏà
Ra, ìêì
Ra, ìêì
Ðèñ. 5. Øîðñòê³ñòü ïîâåðõí³ çðàçê³â ç³ øâèäêîð³çàëüíî¿ ñòàë³ Ð6Ì5, îáðîáëåíèõ ïîë³ðóâàí-
íÿì (1), ÷èñòîâèì (2) òà ÷îðíîâèì øë³ôóâàííÿì (3), äî (ñâ³òë³ ïðÿìîêóòíèêè) ³ ï³ñëÿ (òåìí³
ïðÿìîêóòíèêè) íàíåñåííÿ TiN-ïîêðèòòÿ.
124 ISSN 0556-171X. Ïðîáëåìû ïðî÷íîñòè, 2010, ¹ 4
Î. Á. Ñîðîêà, Ñ. À. Êëèìåíêî, Ì. Þ. Êîïºéê³íà
Çàëèøêîâ³ íàïðóæåííÿ â ïîêðèòòÿõ äèñêðåòíîãî òèïó. Àíàë³ç çíà÷åíü
çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü, îòðèìàíèõ åêñïåðèìåíòàëüíî-ðîçðàõóíêîâèì ìåòîäîì
íà îñíîâ³ âèì³ðþâàííÿ ïðîãèíó äåôîðìîâàíî¿ ïëàñòèíè ç ïîäàëüøèì ðîçðà-
õóíêîì çà ôîðìóëîþ (1), ïîêàçóº, ùî â (Ti, Al)N-ïîêðèòòÿõ äèñêðåòíîãî òèïó
ïîð³âíÿíî ³ç ñóö³ëüíèìè ïîêðèòòÿìè ñïîñòåð³ãàºòüñÿ çíèæåííÿ çàëèøêîâèõ
íàïðóæåíü ç³ çìåíøåííÿì ðîçì³ð³â äèñêðåòíèõ ä³ëÿíîê (ðèñ. 6). Íåîáõ³äíî
çàçíà÷èòè, ùî íàâåäåí³ ðåçóëüòàòè îòðèìàí³ äëÿ ïîêðèòò³â äèñêðåòíîãî òèïó ç
îäíàêîâîþ ù³ëüí³ñòþ (��57%), ùî ñâ³ä÷èòü ïðî ðåëàêñàö³þ íàïðóæåíü ó
ïîêðèòò³ äèñêðåòíî¿ òîïîãðàô³¿, à íå ëèøå ïðî çìåíøåííÿ ïðîãèíó çðàçêà çà
ðàõóíîê çìåíøåííÿ ïëîù³, â ìåæàõ ÿêî¿ ä³þòü íàïðóæåííÿ. dz çðîñòàííÿì
òîâùèíè ïîêðèòò³â çíèæóºòüñÿ âïëèâ ðîçì³ðó äèñêðåòíî¿ ä³ëÿíêè íà âåëè-
÷èíè çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü ñòèñêó. ×èì ìåíøèé ðîçì³ð äèñêðåòíî¿ ä³ëÿíêè,
òèì ìåíøèé âïëèâ òîâùèíè ïîêðèòò³â íà âåëè÷èíè çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü.
Òàêèì ÷èíîì, çìåíøåííÿ ðîçì³ð³â äèñêðåòíèõ ä³ëÿíîê ïîêðèòòÿ ïðè
çáåðåæåíí³ éîãî ù³ëüíîñò³ äîçâîëÿº îáìåæèòè çàëèøêîâ³ íàïðóæåííÿ ñòèñêó.
 è ñ í î â ê è
1. Äëÿ ïîêðèòò³â, ñôîðìîâàíèõ ìåòîäàìè PVD, õàðàêòåðí³ çíà÷í³ çàëèø-
êîâ³ íàïðóæåííÿ ñòèñêó, îáóìîâëåí³ äâîìà ìåõàí³çìàìè: òåìïåðàòóðíèì ³
ñòðóêòóðíèì. Íà çíà÷åííÿ çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü ñòèñêó âïëèâàþòü ñêëàä
ïîêðèòòÿ òà éîãî òîâùèíà. dz çðîñòàííÿì òîâùèíè ïîêðèòòÿ ð³âåíü íàïðó-
æåíü çìåíøóºòüñÿ.
2. Çàïðîïîíîâàíî ï³äõ³ä, ùî äຠìîæëèâ³ñòü âèçíà÷àòè çíà÷åííÿ êîåô³-
ö³ºíò³â òåðì³÷íîãî ðîçøèðåííÿ ìàòåð³àëó ïîêðèòò³â, âåëè÷èíó çàëèøêîâèõ
íàïðóæåíü ³ ¿õ ñêëàäîâèõ ó âàêóóì-ïëàçìîâèõ ïîêðèòòÿõ ó âèïàäêó íàíåñåííÿ
íà îñíîâó ç ð³çíèõ ìàòåð³àë³â, íàïðèêëàä íà òâåðä³ ñïëàâè òà ïîë³êðèñòàë³÷í³
íàäòâåðä³ ìàòåð³àëè ³íñòðóìåíòàëüíîãî ïðèçíà÷åííÿ.
3. Âñòàíîâëåíî, ùî ç³ çðîñòàííÿì øîðñòêîñò³ îñíîâè ï³äâèùóºòüñÿ
ð³âåíü çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü ó ïîêðèòò³.
Ðèñ. 6. Çàëåæí³ñòü àáñîëþòíèõ çíà÷åíü çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü ñòèñêó � ï
çàë â³ä òîâùèíè
ïîêðèòòÿ hï äëÿ ñóö³ëüíîãî (1) òà äèñêðåòíîãî òèïó ç ðîçì³ðàìè ä³ëÿíîê 0 25 0 25, ,� (2),
0 1 0 1, ,� (3), 0 08 0 08, ,� (4) ³ 0 04 0 04, ,� ìì (5).
ISSN 0556-171X. Ïðîáëåìû ïðî÷íîñòè, 2010, ¹ 4 125
Îö³íêà çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü ...
� ï
çàë , ÃÏà
hï , ìêì
4. Ïîêàçàíî, ùî çíèçèòè ð³âåíü çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü ìîæíà øëÿõîì
ñòâîðåííÿ äèñêðåòíî¿ òîïîãðàô³¿ ïîâåðõí³. Âåëè÷èíà çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü
ó ïîêðèòòÿõ äèñêðåòíîãî òèïó çàëåæèòü â³ä ðîçì³ðó äèñêðåòíèõ ä³ëÿíîê. Öå
äîçâîëÿº çàáåçïå÷èòè íåîáõ³äíèé ð³âåíü çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü íà ïðîåêòó-
âàëüí³é òà òåõíîëîã³÷í³é ñòàä³ÿõ.
Ð å ç þ ì å
 âàêóóì-ïëàçìåííûõ ïîêðûòèÿõ èç íèòðèäîâ òèòàíà, àëþìèíèÿ è íèîáèÿ
ìåòîäîì ãèáêîãî îáðàçöà îïðåäåëåíû âåëè÷èíû îñòàòî÷íûõ íàïðÿæåíèé.
Ïðåäëîæåíà ýêñïåðèìåíòàëüíî-ðàñ÷åòíàÿ ìåòîäèêà âûäåëåíèÿ ñòðóêòóðíîé è
òåðìè÷åñêîé ñîñòàâëÿþùèõ îñòàòî÷íûõ íàïðÿæåíèé, êîòîðàÿ ïîçâîëÿåò îïðå-
äåëèòü êîýôôèöèåíòû òåðìè÷åñêîãî ðàñøèðåíèÿ ìàòåðèàëîâ ïîêðûòèé è
îáùèé óðîâåíü îñòàòî÷íûõ íàïðÿæåíèé â ïîêðûòèÿõ íà îñíîâå èç ëþáîãî
ìàòåðèàëà. Óñòàíîâëåíà çàâèñèìîñòü îñòàòî÷íûõ íàïðÿæåíèé îò øåðîõîâà-
òîñòè ïîâåðõíîñòè îñíîâû. Ïîêàçàíà âîçìîæíîñòü óðåãóëèðîâàíèÿ óðîâíÿ
îñòàòî÷íûõ íàïðÿæåíèé â ïîêðûòèÿõ ïóòåì ôîðìèðîâàíèÿ äèñêðåòíîé òîïî-
ãðàôèè ïîâåðõíîñòè.
1. Âíóêîâ Þ. Í., Ìàðêîâ À. À., Ëàâðîâà Ë. Â., Áåðäûøåâ Í. Þ. Íàíåñåíèå
èçíîñîñòîéêèõ ïîêðûòèé íà áûñòðîðåæóùèé èíñòðóìåíò / Ïîä îáù. ðåä.
Þ. Í. Âíóêîâà. – Êèåâ: Òåõí³êà, 1992. – 143 ñ.
2. Vijgen R. O. E. and Dautzenderg J. H. Mechanical measurement of the
residual stress in thin PVD films // Thin Solid Films. – 1995. – 270, No. 2. –
P. 264 – 269.
3. US Pat. 5075181. High Hardness/High Compressive Stress Multilayer Coated
Tool / D. T. Quinto, J. H. Kaufmann. – Publ. 24.12.91.
4. Carvalho N. J. M., Zoestbergen Å., Kooi B. J., and De Hosson J.Th. M. Stress
analysis and microstructure of PVD monolayer TiN and multilayer TiN/(TI,
Al)N coatings // Thin Solid Films. – 2003. – 429, No. 1-2. – P. 179 – 189.
5. Oettel H., Wiedemann R., and Preissler S. Residual stresses in nitride hard
coatings prepared by magnetron sputtering and arc evaporation // Surface
Coatings Technol. – 1995. – 74-75, Pt. 1. – P. 273 – 278.
6. Leoni M., Scardi P., Rossi S., et al. (Ti, Cr)N and Ti/TiN PVD coatings on
304 stainless steel substrates: Texture and residual stress // Thin Solid Films. –
1999. – 345, No. 2. – P. 263 – 269.
7. Sheng-Sheng Zhoa, Hao Du, Wei-Gang Hua, et al. The depth distribution of
residual stresses in (Ti, Al)N films: Measurement and analysis // J. Mater.
Res. – 2007. – 22, No. 10. – P. 2659 – 2662.
8. Falub C. V., Karimi À., Ante M., and Kalls W. Interdependence between stress
and texture in arc evaporated Ti–Al–N thin films // Surface Coatings Technol.
– 2007. – 201, No. 12. – P. 5891 – 5898.
9. Lamastra F. R., Leonardi F., Montanan R., et al. X-ray residual stress
analysis on CrN/Cr/CrN multilayer PVD coatings deposited on different steel
substrates // Ibid. – 2006. – 200, No. 22-23. – P. 6172 – 6175.
126 ISSN 0556-171X. Ïðîáëåìû ïðî÷íîñòè, 2010, ¹ 4
Î. Á. Ñîðîêà, Ñ. À. Êëèìåíêî, Ì. Þ. Êîïºéê³íà
10. Keller D. A., Hirsch T., Hora P., und Tomala V. Einfluss der Eigenspannungen
in Schichtverbundwerkstoffen bei Trockenreibung // Blech, Rohre, Profile. –
1993. – 40, No. 11. – S. 834 – 842.
11. Klocke F. and Krieg T. Coatted tools for metal cutting – features and
applications // CIRP Ann. – 1999. – 48, No. 2. – P. 515 – 525.
12. Òàáàêîâ Â. Ï., Ñìèðíîâ Ì. Þ., Öèðêèí À. Â. Ìåõàíèçì ðàçðóøåíèÿ
èçíîñîñòîéêèõ ïîêðûòèé ðåæóùåãî èíñòðóìåíòà â ïðîöåññå ðåçàíèÿ //
Óïðî÷íÿþùèå òåõíîëîãèè è ïîêðûòèÿ. – 2006. – ¹ 6. – C. 41 – 45.
13. Òðàïåçîí À. Ã., Ëÿøåíêî Á. À., Ðóòêîâñêèé À. Â. Î âëèÿíèè âàêóóìíûõ
ïîêðûòèé íà ñîïðîòèâëåíèå óñòàëîñòè òåõíè÷åñêîãî òèòàíà // Ïðîáë.
ïðî÷íîñòè. – 1995. – ¹ 11-12. – Ñ. 32 – 40.
14. Ðóòêîâñêèé À. Â., Ëÿøåíêî Á. À., Ãîïêàëî À. Ï., Ñîðîêà Å. Á. Îá óïðî÷-
íÿþùåé ðîëè âàêóóì-ïëàçìåííûõ ïîêðûòèé // Òàì æå. – 1999. – ¹ 6. –
Ñ. 123 – 126.
15. Rickerby D. S. Internal stress and adherence of titanium nitride coatings // J.
Vacuum Sci. Technol. – 1986. – 4, No. 6. – P. 2809 – 2814.
16. Choi H. C. and Kim K. S. Analysis of the spontaneous interfacial decohesion
of a thin surface film // J. Mech. Phys. Solids. – 1992. – 40, No. 1. – P. 75 –
103.
17. Rickerby D. S. and Newbery R. B. Structure, properties and applications of
TiN coatings produced by sputter ion plating // Vacuum. – 1988. – 38, No. 3.
– P. 161 – 166.
18. Rossi S., Fedrizzi L., Leoni M., et al. (Ti, Cr)N and Ti/TiN PVD coatings on
304 stainless steel substrates: wear-corrision behaviour // Thin Solid Films. –
1999. – 350, No. 1-2. – P. 161 – 167.
19. Kamiya S., Nagasawa Í., Yamanobe K., and Saka Ì. A comparative study of
the mechanical strength of chemical vapor-deposited diamond and physical
vapor-deposited hard coatings // Ibid. – 2005. – 473, No. 1. – P. 123 – 131.
20. Laukkanen À., Holmberg K., Koskinen J., et al. Tribological contact analysis
of a ball sliding on a flat coating surface. Pt. III: Fracture toughness
calculation and influence of residual stresses // Surface Coatings Technol. –
2006. – 200, No. 12-13. – P. 3824 – 3844.
21. Bemporad Å., Sebastiani Ì., Pecchio Ñ., and Rossi S. High thickness Ti/TiN
multilayer thin coatings for wear resistant applications // Ibid. – 2006. – 201,
No. 6. – P. 2155 – 2165.
22. Àíäðååâ À. À., Ñàáëåâ Ë. Ï., Øóëàåâ Â. Ì., Ãðèãîðüåâ Ñ. Í. Âàêóóìíî-
äóãîâûå óñòðîéñòâà è ïîêðûòèÿ. – Õàðüêîâ: ÍÍÖ ÕÔÒÈ, 2005. – 235 ñ.
23. Âåðåùàêà À. Ñ., Êàðïóøåâñêè Á., Äþáíåð Ë. Ã. Àíàëèç îñíîâíûõ àñïåê-
òîâ ïðîáëåìû ïðèìåíåíèÿ ìíîãîñëîéíî-êîìïîçèöèîííûõ íàíî-ñòðóêòó-
ðèðîâàííûõ ôóíêöèîíàëüíûõ ïîêðûòèé äëÿ ðåæóùåãî èíñòðóìåíòà //
Ñó÷àñí³ òåõíîëî㳿 â ìàøèíîáóäóâàíí³. – Õàðê³â: ÍÒÓ “Õϲ”, 2008. –
Âèï. 2. – Ñ. 87 – 100.
24. Bromark Ì., Larson Ì., Hedenqvist Ð., and Hogmark S. Wear of Ti/TiN multi-
layer coatings // Surface Coating Technol. – 1997. – 90, No. 3. – P. 217 – 223.
ISSN 0556-171X. Ïðîáëåìû ïðî÷íîñòè, 2010, ¹ 4 127
Îö³íêà çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü ...
25. Castanho J. M. and Vieira M. T. Effect of ductile layers in mechanical
behaviour of TiAlN thin coatings // J. Mater. Proc. Technol. – 2003. –
143-144, No. 1. – P. 352 – 357.
26. Gerth J. and Wiklund U. The influence of metallic interlayers on the adhesion
of PVD TiN coatings on high-speed steel // Wear. – 2008. – 264, No. 9-10. –
P. 885 – 892.
27. Kim G. S., Lee S. Y., Hahn J. H., et al. Effects of the thickness of Ti buffer
layer on the mechanical properties of TiN coatings // Surface Coatings
Technol. – 2002. – 171, No. 1-3. – P. 83 – 90.
28. Ëÿøåíêî Á. À., Ðóòêîâñêèé À. Â., Ñîðîêà Å. Á., Ëèïèíñêàÿ Í. Â. Î ñíèæå-
íèè îñòàòî÷íûõ íàïðÿæåíèé â âàêóóì-ïëàçìåííûõ ïîêðûòèÿõ // Ïðîáë.
ïðî÷íîñòè. – 2001. – ¹ 4. – Ñ. 62 – 68.
29. Veprek S. and Reiprich S. A concept for the design of novel superhard
coatings // Thin Solid Films. – 1995. – 268, No. 1-2. – P. 64 – 71.
30. Ëÿøåíêî Á. À., Ìîâøîâè÷ À. ß., Äîëìàòîâ À. È. Óïðî÷íÿþùèå ïîêðûòèÿ
äèñêðåòíîé ñòðóêòóðû // Òåõíîë. ñèñòåìû. – 2001. – ¹ 4 (10). – Ñ. 17 –
25.
31. Ïàò. 68303 Óêðà¿íà, ÌÏÊ Ñ23 Ñ14/32. Ñïîñ³á íàíåñåííÿ çíîñîñò³éêèõ
íåñóö³ëüíèõ ïîêðèòò³â / Â. À. Ðóòêîâñüêèé, Â. Ñ. Àíòîíþê, Â. Ì. Âîëêî-
ãîí è äð. – ×èííèé ç 15.07.2004, Áþë. ¹ 7.
32. Ñîëîâûõ Å. Ê., Ëÿøåíêî Á. À., Ðóòêîâñêèé À. Â. è äð. Òåõíîëîãè÷åñêîå
îáåñïå÷åíèå âàêóóì-ïëàçìåííûõ ïîêðûòèé äèñêðåòíîé ñòðóêòóðû //
Òåõíîë. ñèñòåìû. – 2007. – ¹ 2. – Ñ. 22 – 27.
33. Ëÿøåíêî Á. À., Àíòîíþê Â. Ñ., Ñîðîêà Å. Á., Ðóòêîâñêèé À. Â. Î ñíè-
æåíèè îñòàòî÷íûõ íàïðÿæåíèé â âàêóóì-ïëàçìåííûõ ïîêðûòèÿõ äèñêðåò-
íîé ñòðóêòóðû // Ñâåðõòâåðäûå ìàòåðèàëû. – 2005. – ¹ 2. – Ñ. 72 – 75.
34. Sun Y., Bloyce A., and Bell T. Finite element analysis of plastic deformation of
various TiN coating/substrate systems under normal contact with a rigid
sphere // Thin Solid Films. – 1995. – 271, No. 1-2. – P. 122 – 131.
35. Ñîðîêà Î. Á., Êîïºéê³íà Ì. Þ., Àíòîíþê Â. Ñ., Êëèìåíêî Ñ. À. Îö³íêà
çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü â âàêóì-ïëàçìîâèõ ïîêðèòòÿõ / // Âiñí. ÆÄÒÓ.
Òåõí. íàóêè. – 2007. – ¹ 3 (42). – Ñ. 41 – 45.
36. À.ñ. 1675689 ÑÑÑÐ, ÌÊÈ G 01 L1/00. Ñïîñîá îïðåäåëåíèÿ îñòàòî÷íûõ
íàïðÿæåíèé â ïîëîñîâûõ çàãîòîâêàõ / Ã. Ë. Êîëìîãîðîâ. – Îïóáë. 19.10.
88, Áþë. ¹ 33.
37. Õàñóé À. Òåõíèêà íàïûëåíèÿ: Ïåð. ñ ÿï. – Ì.: Ìàøèíîñòðîåíèå, 1975. –
288 ñ.
38. Ìåòîäû èñïûòàíèÿ, êîíòðîëÿ è èññëåäîâàíèÿ ìàøèíîñòðîèòåëüíûõ
ìàòåðèàëîâ / Ïîä îáù. ðåä. À. Ò. Òóìàíîâà. – Ì.: Ìàøèíîñòðîåíèå,
1974. – Ò. 1.– 320 ñ.
39. Valvoda V., Cerny R., Kuzel R., et al. Dependence of microstructure of TiN
coating on their thickness // Thin Solid Films. – 1988. – 158, No. 2. – P. 225 –
232.
128 ISSN 0556-171X. Ïðîáëåìû ïðî÷íîñòè, 2010, ¹ 4
Î. Á. Ñîðîêà, Ñ. À. Êëèìåíêî, Ì. Þ. Êîïºéê³íà
40. Àïïåí À. À. Îñíîâíûå ôèçèêî-õèìè÷åñêèå ïðèíöèïû ñîçäàíèÿ æàðîñòîé-
êèõ íåîðãàíè÷åñêèõ ïîêðûòèé // Æàðîñòîéêèå ïîêðûòèÿ. – Ì.: Íàóêà,
1965. – Ñ. 3 – 54.
41. Êëèìåíêî Ñ. À., Áåðåñíåâ Â. Ì., Êîïåéêèíà Ì. Þ., Ãðèöåíêî Â. È.
Ñëîèñòûå âàêóóìíî-äóãîâûå ïîêðûòèÿ Ti–NbN–Al2O3, Nb–NbN–Al2O3 íà
èíñòðóìåíòàõ, îñíàùåííûõ ïîëèêðèñòàëëè÷åñêèìè ñâåðõòâåðäûìè ìàòå-
ðèàëàìè íà îñíîâå êóáè÷åñêîãî íèòðèäà áîðà // Ôèçè÷åñêàÿ èíæåíåðèÿ
ïîâåðõíîñòè. – 2007. – 5, ¹ 1-2. – Ñ. 57 – 61.
42. Êîïåéêèíà Ì. Þ., Êëèìåíêî Ñ. À., Ìåëüíè÷óê Þ. À., Áåðåñíåâ Â. Ì.
Ïîâûøåíèå ðàáîòîñïîñîáíîñòè ðåæóùèõ èíñòðóìåíòîâ, îñíàùåííûõ
ÏÑÒÌ íà îñíîâå ÊÍÁ, âàêóóìíî-äóãîâûìè ïîêðûòèÿìè // Ñâåðõòâåðäûå
ìàòåðèàëû. – 2008. – ¹ 5. – Ñ. 87 – 97.
43. Ñàìîéëîâ Â. Ñ., Ýéõìàíñ Ý. Ô., Ôàëüêîâñêèé Â. À. è äð. Ìåòàëëîîáðà-
áàòûâàþùèé òâåðäîñïëàâíûé èíñòðóìåíò: Ñïðàâî÷íèê – Ì.: Ìàøèíî-
ñòðîåíèå, 1988. – 368 ñ.
44. Ãíåñèí Ã. Ã., Îñèïîâà È. È., Ðîíòàëü Ã. Ä. è äð. Êåðàìè÷åñêèå èíñòðó-
ìåíòàëüíûå ìàòåðèàëû. – Êèåâ: Òåõí³êà, 1991. – 388 ñ.
45. Attar F. and Johannesson T. Adhesion evalution of thin ceramic coatings on
tool steel using the scratch testing technique // Surface Coatings Technol. –
1996. – 78, No. 1-3. – P. 87 – 102.
46. Bouzakis K.-D., Michailidis N., Skordaris G., et al. Effect on PVD coated
cemented carbide inserts cutting performance of micro-blasting and lapping of
their substrates // Ibid. – 2005. – 200, ¹ 1-4. – P. 128 – 132.
47. Cóñëîâ À. Ã. Êà÷åñòâî ïîâåðõíîñòíîãî ñëîÿ äåòàëåé ìàøèí. – Ì.: Ìàøè-
íîñòðîåíèå, 2000. – 320 ñ.
Ïîñòóïèëà 10. 03. 2009
ISSN 0556-171X. Ïðîáëåìû ïðî÷íîñòè, 2010, ¹ 4 129
Îö³íêà çàëèøêîâèõ íàïðóæåíü ...
<<
/ASCII85EncodePages false
/AllowTransparency false
/AutoPositionEPSFiles true
/AutoRotatePages /All
/Binding /Left
/CalGrayProfile (Dot Gain 20%)
/CalRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1)
/CalCMYKProfile (U.S. Web Coated \050SWOP\051 v2)
/sRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1)
/CannotEmbedFontPolicy /Warning
/CompatibilityLevel 1.4
/CompressObjects /Tags
/CompressPages true
/ConvertImagesToIndexed true
/PassThroughJPEGImages true
/CreateJDFFile false
/CreateJobTicket false
/DefaultRenderingIntent /Default
/DetectBlends true
/DetectCurves 0.0000
/ColorConversionStrategy /LeaveColorUnchanged
/DoThumbnails false
/EmbedAllFonts true
/EmbedOpenType false
/ParseICCProfilesInComments true
/EmbedJobOptions true
/DSCReportingLevel 0
/EmitDSCWarnings false
/EndPage -1
/ImageMemory 1048576
/LockDistillerParams false
/MaxSubsetPct 100
/Optimize true
/OPM 1
/ParseDSCComments true
/ParseDSCCommentsForDocInfo true
/PreserveCopyPage true
/PreserveDICMYKValues true
/PreserveEPSInfo true
/PreserveFlatness true
/PreserveHalftoneInfo false
/PreserveOPIComments false
/PreserveOverprintSettings true
/StartPage 1
/SubsetFonts true
/TransferFunctionInfo /Apply
/UCRandBGInfo /Preserve
/UsePrologue false
/ColorSettingsFile ()
/AlwaysEmbed [ true
]
/NeverEmbed [ true
]
/AntiAliasColorImages false
/CropColorImages true
/ColorImageMinResolution 300
/ColorImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleColorImages true
/ColorImageDownsampleType /Bicubic
/ColorImageResolution 300
/ColorImageDepth -1
/ColorImageMinDownsampleDepth 1
/ColorImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeColorImages true
/ColorImageFilter /DCTEncode
/AutoFilterColorImages true
/ColorImageAutoFilterStrategy /JPEG
/ColorACSImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/ColorImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/JPEG2000ColorACSImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/JPEG2000ColorImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/AntiAliasGrayImages false
/CropGrayImages true
/GrayImageMinResolution 300
/GrayImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleGrayImages true
/GrayImageDownsampleType /Bicubic
/GrayImageResolution 300
/GrayImageDepth -1
/GrayImageMinDownsampleDepth 2
/GrayImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeGrayImages true
/GrayImageFilter /DCTEncode
/AutoFilterGrayImages true
/GrayImageAutoFilterStrategy /JPEG
/GrayACSImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/GrayImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/JPEG2000GrayACSImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/JPEG2000GrayImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/AntiAliasMonoImages false
/CropMonoImages true
/MonoImageMinResolution 1200
/MonoImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleMonoImages true
/MonoImageDownsampleType /Bicubic
/MonoImageResolution 1200
/MonoImageDepth -1
/MonoImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeMonoImages true
/MonoImageFilter /CCITTFaxEncode
/MonoImageDict <<
/K -1
>>
/AllowPSXObjects false
/CheckCompliance [
/None
]
/PDFX1aCheck false
/PDFX3Check false
/PDFXCompliantPDFOnly false
/PDFXNoTrimBoxError true
/PDFXTrimBoxToMediaBoxOffset [
0.00000
0.00000
0.00000
0.00000
]
/PDFXSetBleedBoxToMediaBox true
/PDFXBleedBoxToTrimBoxOffset [
0.00000
0.00000
0.00000
0.00000
]
/PDFXOutputIntentProfile ()
/PDFXOutputConditionIdentifier ()
/PDFXOutputCondition ()
/PDFXRegistryName ()
/PDFXTrapped /False
/Description <<
/CHS <FEFF4f7f75288fd94e9b8bbe5b9a521b5efa7684002000500044004600206587686353ef901a8fc7684c976262535370673a548c002000700072006f006f00660065007200208fdb884c9ad88d2891cf62535370300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c676562535f00521b5efa768400200050004400460020658768633002>
/CHT <FEFF4f7f752890194e9b8a2d7f6e5efa7acb7684002000410064006f006200650020005000440046002065874ef653ef5728684c9762537088686a5f548c002000700072006f006f00660065007200204e0a73725f979ad854c18cea7684521753706548679c300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c4f86958b555f5df25efa7acb76840020005000440046002065874ef63002>
/DAN <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>
/DEU <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>
/ESP <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>
/FRA <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>
/ITA <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>
/JPN <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>
/KOR <FEFFc7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020b370c2a4d06cd0d10020d504b9b0d1300020bc0f0020ad50c815ae30c5d0c11c0020ace0d488c9c8b85c0020c778c1c4d560002000410064006f0062006500200050004400460020bb38c11cb97c0020c791c131d569b2c8b2e4002e0020c774b807ac8c0020c791c131b41c00200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002e>
/NLD (Gebruik deze instellingen om Adobe PDF-documenten te maken voor kwaliteitsafdrukken op desktopprinters en proofers. De gemaakte PDF-documenten kunnen worden geopend met Acrobat en Adobe Reader 5.0 en hoger.)
/NOR <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>
/PTB <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>
/SUO <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>
/SVE <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>
/ENU (Use these settings to create Adobe PDF documents for quality printing on desktop printers and proofers. Created PDF documents can be opened with Acrobat and Adobe Reader 5.0 and later.)
>>
/Namespace [
(Adobe)
(Common)
(1.0)
]
/OtherNamespaces [
<<
/AsReaderSpreads false
/CropImagesToFrames true
/ErrorControl /WarnAndContinue
/FlattenerIgnoreSpreadOverrides false
/IncludeGuidesGrids false
/IncludeNonPrinting false
/IncludeSlug false
/Namespace [
(Adobe)
(InDesign)
(4.0)
]
/OmitPlacedBitmaps false
/OmitPlacedEPS false
/OmitPlacedPDF false
/SimulateOverprint /Legacy
>>
<<
/AddBleedMarks false
/AddColorBars false
/AddCropMarks false
/AddPageInfo false
/AddRegMarks false
/ConvertColors /NoConversion
/DestinationProfileName ()
/DestinationProfileSelector /NA
/Downsample16BitImages true
/FlattenerPreset <<
/PresetSelector /MediumResolution
>>
/FormElements false
/GenerateStructure true
/IncludeBookmarks false
/IncludeHyperlinks false
/IncludeInteractive false
/IncludeLayers false
/IncludeProfiles true
/MultimediaHandling /UseObjectSettings
/Namespace [
(Adobe)
(CreativeSuite)
(2.0)
]
/PDFXOutputIntentProfileSelector /NA
/PreserveEditing true
/UntaggedCMYKHandling /LeaveUntagged
/UntaggedRGBHandling /LeaveUntagged
/UseDocumentBleed false
>>
]
>> setdistillerparams
<<
/HWResolution [2400 2400]
/PageSize [612.000 792.000]
>> setpagedevice
|