АСМ-дослідження поверхні металічних конденсатів на монокристалічному кремнії та енергетичні параметри міжфазової взаємодії в системі «металічний конденсат—напівпровідник»

У роботі за результатами атомно-силової мікроскопії досліджено топологію поверхні та структуру конденсатів міді, алюмінію та хрому на підложжях монокристалічного кремнію площини (111) для характерних товщин d: 2,5, 10, 50, 100 нм. Виконано кластерну статистичну аналізу поверхні одержаних конденсатів...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2015
Автори:	Коман, Б.П., Ровецький, І.М., Юзевич, В.М.
Формат:	Стаття
Мова:	Ukrainian
Опубліковано:	Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2015
Назва видання:	Металлофизика и новейшие технологии
Теми:	Металлические поверхности и плёнки
Онлайн доступ:	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/112435
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	АСМ-дослідження поверхні металічних конденсатів на монокристалічному кремнії та енергетичні параметри міжфазової взаємодії в системі «металічний конденсат—напівпровідник» / Б. П. Коман, І. М. Ровецький, В. М. Юзевич // Металлофизика и новейшие технологии. — 2015. — Т. 37, № 11. — С. 1443-1460. — Бібліогр.: 19 назв. — укр.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	irk-123456789-112435
record_format	dspace
spelling	irk-123456789-1124352017-01-22T03:02:38Z АСМ-дослідження поверхні металічних конденсатів на монокристалічному кремнії та енергетичні параметри міжфазової взаємодії в системі «металічний конденсат—напівпровідник» Коман, Б.П. Ровецький, І.М. Юзевич, В.М. Металлические поверхности и плёнки У роботі за результатами атомно-силової мікроскопії досліджено топологію поверхні та структуру конденсатів міді, алюмінію та хрому на підложжях монокристалічного кремнію площини (111) для характерних товщин d: 2,5, 10, 50, 100 нм. Виконано кластерну статистичну аналізу поверхні одержаних конденсатів з використанням алґоритму Хошена—Копельмана, визначено характерні геометричні параметри кластерних наноутворень. Для досліджуваних металів з використанням макроскопічного підходу, що базується на співвідношеннях нерівноважної термодинаміки та фізики поверхні, оцінено енергетичні параметри міжфазової взаємодії у системі «металічний конденсат—кремній»: енергію міжфазової взаємодії, міжфазовий натяг, енергію адгезійних зв’язків та роботу адгезії. Обґрунтовуються відмінності морфології металічних конденсатів на кремнії. В работе по результатам атомно-силовой микроскопии исследована топология поверхности и структура конденсатов меди, алюминия и хрома на подложках монокристаллического кремния плоскости (111) для характерных толщин d: 2,5, 10, 50, 100 нм. Выполнен кластерный статистический анализ поверхности полученных конденсатов с использованием алгоритма Хошена—Копельмана, определены характерные геометрические параметры кластерных нанообразований. Для исследованных металлов с использованием макроскопического подхода, базирующегося на соотношениях неравновесной термодинамики и физики поверхности, оценены энергетические параметры межфазного взаимодействия в системе «металлический конденсат—кремний»: энергия межфазного взаимодействия, межфазное натяжение, энергия адгезионных связей и работа адгезии. Обосновываются отличия морфологии металлических конденсатов на кремнии. In this paper, the results of atomic force microscopy are used to investigate the surface topology and structure of condensates of copper, aluminium, and chromium on the (111) plane of monocrystalline silicon substrates with the characteristic thicknesses d: 2.5, 10, 50, and 100 nm. A cluster statistical analysis of obtained condensates’ surface is performed by means of the Hoshen—Kopelman algorithm; the character geometric parameters of cluster nanoformations are determined. For studied metals, the energy parameters of interphase interactions in the ‘metallic condensate—silicon’ system, such as energy of interface interaction, interfacial tension, adhesive bond energy and the work of adhesion, are estimated using macroscopic approach based on the relations of the surface non-equilibrium thermodynamics and physics. Differences in the morphology of metallic condensates on silicon are substantiated. 2015 Article АСМ-дослідження поверхні металічних конденсатів на монокристалічному кремнії та енергетичні параметри міжфазової взаємодії в системі «металічний конденсат—напівпровідник» / Б. П. Коман, І. М. Ровецький, В. М. Юзевич // Металлофизика и новейшие технологии. — 2015. — Т. 37, № 11. — С. 1443-1460. — Бібліогр.: 19 назв. — укр. 1024-1809 PACS: 68.35.Ct, 68.35.Gy, 68.35.Md, 68.35.Np, 68.37.Ps, 68.55.J-, 81.15.Gh http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/112435 uk Металлофизика и новейшие технологии Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
language	Ukrainian
topic	Металлические поверхности и плёнки Металлические поверхности и плёнки
spellingShingle	Металлические поверхности и плёнки Металлические поверхности и плёнки Коман, Б.П. Ровецький, І.М. Юзевич, В.М. АСМ-дослідження поверхні металічних конденсатів на монокристалічному кремнії та енергетичні параметри міжфазової взаємодії в системі «металічний конденсат—напівпровідник» Металлофизика и новейшие технологии
description	У роботі за результатами атомно-силової мікроскопії досліджено топологію поверхні та структуру конденсатів міді, алюмінію та хрому на підложжях монокристалічного кремнію площини (111) для характерних товщин d: 2,5, 10, 50, 100 нм. Виконано кластерну статистичну аналізу поверхні одержаних конденсатів з використанням алґоритму Хошена—Копельмана, визначено характерні геометричні параметри кластерних наноутворень. Для досліджуваних металів з використанням макроскопічного підходу, що базується на співвідношеннях нерівноважної термодинаміки та фізики поверхні, оцінено енергетичні параметри міжфазової взаємодії у системі «металічний конденсат—кремній»: енергію міжфазової взаємодії, міжфазовий натяг, енергію адгезійних зв’язків та роботу адгезії. Обґрунтовуються відмінності морфології металічних конденсатів на кремнії.
format	Article
author	Коман, Б.П. Ровецький, І.М. Юзевич, В.М.
author_facet	Коман, Б.П. Ровецький, І.М. Юзевич, В.М.
author_sort	Коман, Б.П.
title	АСМ-дослідження поверхні металічних конденсатів на монокристалічному кремнії та енергетичні параметри міжфазової взаємодії в системі «металічний конденсат—напівпровідник»
title_short	АСМ-дослідження поверхні металічних конденсатів на монокристалічному кремнії та енергетичні параметри міжфазової взаємодії в системі «металічний конденсат—напівпровідник»
title_full	АСМ-дослідження поверхні металічних конденсатів на монокристалічному кремнії та енергетичні параметри міжфазової взаємодії в системі «металічний конденсат—напівпровідник»
title_fullStr	АСМ-дослідження поверхні металічних конденсатів на монокристалічному кремнії та енергетичні параметри міжфазової взаємодії в системі «металічний конденсат—напівпровідник»
title_full_unstemmed	АСМ-дослідження поверхні металічних конденсатів на монокристалічному кремнії та енергетичні параметри міжфазової взаємодії в системі «металічний конденсат—напівпровідник»
title_sort	асм-дослідження поверхні металічних конденсатів на монокристалічному кремнії та енергетичні параметри міжфазової взаємодії в системі «металічний конденсат—напівпровідник»
publisher	Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
publishDate	2015
topic_facet	Металлические поверхности и плёнки
url	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/112435
citation_txt	АСМ-дослідження поверхні металічних конденсатів на монокристалічному кремнії та енергетичні параметри міжфазової взаємодії в системі «металічний конденсат—напівпровідник» / Б. П. Коман, І. М. Ровецький, В. М. Юзевич // Металлофизика и новейшие технологии. — 2015. — Т. 37, № 11. — С. 1443-1460. — Бібліогр.: 19 назв. — укр.
series	Металлофизика и новейшие технологии
work_keys_str_mv	AT komanbp asmdoslídžennâpoverhnímetalíčnihkondensatívnamonokristalíčnomukremníítaenergetičníparametrimížfazovoívzaêmodíívsistemímetalíčnijkondensatnapívprovídnik AT rovecʹkijím asmdoslídžennâpoverhnímetalíčnihkondensatívnamonokristalíčnomukremníítaenergetičníparametrimížfazovoívzaêmodíívsistemímetalíčnijkondensatnapívprovídnik AT ûzevičvm asmdoslídžennâpoverhnímetalíčnihkondensatívnamonokristalíčnomukremníítaenergetičníparametrimížfazovoívzaêmodíívsistemímetalíčnijkondensatnapívprovídnik
first_indexed	2024-03-30T09:22:12Z
last_indexed	2024-03-30T09:22:12Z
_version_	1796149886412914688

Репозитарії

Схожі ресурси