АСМ-дослідження поверхні металічних конденсатів на монокристалічному кремнії та енергетичні параметри міжфазової взаємодії в системі «металічний конденсат—напівпровідник»
У роботі за результатами атомно-силової мікроскопії досліджено топологію поверхні та структуру конденсатів міді, алюмінію та хрому на підложжях монокристалічного кремнію площини (111) для характерних товщин d: 2,5, 10, 50, 100 нм. Виконано кластерну статистичну аналізу поверхні одержаних конденсатів...
Збережено в:
Видавець: | Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
---|---|
Дата: | 2015 |
Автори: | Коман, Б.П., Ровецький, І.М., Юзевич, В.М. |
Формат: | Стаття |
Мова: | Ukrainian |
Опубліковано: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2015
|
Назва видання: | Металлофизика и новейшие технологии |
Теми: | |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/112435 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Цитувати: | АСМ-дослідження поверхні металічних конденсатів на монокристалічному кремнії та енергетичні параметри міжфазової взаємодії в системі «металічний конденсат—напівпровідник» / Б. П. Коман, І. М. Ровецький, В. М. Юзевич // Металлофизика и новейшие технологии. — 2015. — Т. 37, № 11. — С. 1443-1460. — Бібліогр.: 19 назв. — укр. |
Репозиторії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
-
Розмірна залежність механічних напружень у металічних конденсатах на кремнії
за авторством: Коман, Б.П., та інші
Опубліковано: (2014) -
Формування металевої електропровідності у плівках вакуумних конденсатів металів
за авторством: Бігун, Р.І., та інші
Опубліковано: (2014) -
Вплив підшарів ґерманію на перенесення заряду в плівках хрому нанометрової товщини
за авторством: Бігун, Р.І., та інші
Опубліковано: (2016) -
Анализ структурного состояния поверхностного слоя после электроэрозионного легирования. I. Особенности формирования электроэрозионных покрытий на стали 45
за авторством: Тарельник, В.Б., та інші
Опубліковано: (2018) -
Формирование нанослоя оксида на поверхности Мо(110)
за авторством: Осовский, В.Д., та інші
Опубліковано: (2011)