Определение толщины слоёв многослойных периодических покрытий методом резерфордовского обратного рассеяния
Методом резерфордовского обратного рассеяния были определены толщины слоёв кобальта и углерода в многослойном периодическом покрытии [Со/С]₁₀, изготовленном методом магнетронного распыления. Полученные результаты хорошо согласуются (расхождение менее 6%) с толщинами слоёв из моделирования измеренног...
Збережено в:
| Дата: | 2016 |
|---|---|
| Автори: | , , , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2016
|
| Назва видання: | Металлофизика и новейшие технологии |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/112579 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Определение толщины слоёв многослойных периодических покрытий методом резерфордовского обратного рассеяния / В.Н. Коломиец, И.Н. Кононенко, С.Н. Кравченко, М.И. Захарец, В.Е. Сторижко, В.И. Возный, А.Н. Бугай, А.Ю. Девизенко // Металлофизика и новейшие технологии. — 2016. — Т. 38, № 6. — С. 815-823. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-112579 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1125792017-01-24T03:02:18Z Определение толщины слоёв многослойных периодических покрытий методом резерфордовского обратного рассеяния Коломиец, В.Н. Кононенко, И.Н. Кравченко, С.Н. Захарец, М.И. Сторижко, В.Е. Возный, В.И. Бугай, А.Н. Девизенко, А.Ю. Взаимодействия излучения и частиц с конденсированным веществом Методом резерфордовского обратного рассеяния были определены толщины слоёв кобальта и углерода в многослойном периодическом покрытии [Со/С]₁₀, изготовленном методом магнетронного распыления. Полученные результаты хорошо согласуются (расхождение менее 6%) с толщинами слоёв из моделирования измеренного спектра малоугловой рентгеновской дифракции покрытия. Методою Резерфордового зворотнього розсіяння було визначено товщини шарів кобальту та вуглецю у багатошаровому періодичному покритті [Со/С]₁₀, виготовленому методою магнетронного розпорошення. Одержані результати добре узгоджуються (розбіжність менше 6%) з товщиною шарів за даними моделювання виміряного спектру малокутової рентґенівської дифракції покриття. The periodic multilayer [Со/С]₁₀ coating is deposited by means of the magnetron sputtering. The thicknesses of the cobalt and carbon layers are determined by the Rutherford backscattering (RBS) method. These results are in a good agreement (with divergence less than 6%) with results of simulation of small-angle X-ray diffraction. 2016 Article Определение толщины слоёв многослойных периодических покрытий методом резерфордовского обратного рассеяния / В.Н. Коломиец, И.Н. Кононенко, С.Н. Кравченко, М.И. Захарец, В.Е. Сторижко, В.И. Возный, А.Н. Бугай, А.Ю. Девизенко // Металлофизика и новейшие технологии. — 2016. — Т. 38, № 6. — С. 815-823. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. 1024-1809 PACS: 29.30.Ep, 34.50.-s, 61.05.cf, 61.05.cp, 68.55.J-, 81.15.Cd, 82.80.Yc DOI: 10.15407/mfint.38.06.0815 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/112579 ru Металлофизика и новейшие технологии Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Взаимодействия излучения и частиц с конденсированным веществом Взаимодействия излучения и частиц с конденсированным веществом |
| spellingShingle |
Взаимодействия излучения и частиц с конденсированным веществом Взаимодействия излучения и частиц с конденсированным веществом Коломиец, В.Н. Кононенко, И.Н. Кравченко, С.Н. Захарец, М.И. Сторижко, В.Е. Возный, В.И. Бугай, А.Н. Девизенко, А.Ю. Определение толщины слоёв многослойных периодических покрытий методом резерфордовского обратного рассеяния Металлофизика и новейшие технологии |
| description |
Методом резерфордовского обратного рассеяния были определены толщины слоёв кобальта и углерода в многослойном периодическом покрытии [Со/С]₁₀, изготовленном методом магнетронного распыления. Полученные результаты хорошо согласуются (расхождение менее 6%) с толщинами слоёв из моделирования измеренного спектра малоугловой рентгеновской дифракции покрытия. |
| format |
Article |
| author |
Коломиец, В.Н. Кононенко, И.Н. Кравченко, С.Н. Захарец, М.И. Сторижко, В.Е. Возный, В.И. Бугай, А.Н. Девизенко, А.Ю. |
| author_facet |
Коломиец, В.Н. Кононенко, И.Н. Кравченко, С.Н. Захарец, М.И. Сторижко, В.Е. Возный, В.И. Бугай, А.Н. Девизенко, А.Ю. |
| author_sort |
Коломиец, В.Н. |
| title |
Определение толщины слоёв многослойных периодических покрытий методом резерфордовского обратного рассеяния |
| title_short |
Определение толщины слоёв многослойных периодических покрытий методом резерфордовского обратного рассеяния |
| title_full |
Определение толщины слоёв многослойных периодических покрытий методом резерфордовского обратного рассеяния |
| title_fullStr |
Определение толщины слоёв многослойных периодических покрытий методом резерфордовского обратного рассеяния |
| title_full_unstemmed |
Определение толщины слоёв многослойных периодических покрытий методом резерфордовского обратного рассеяния |
| title_sort |
определение толщины слоёв многослойных периодических покрытий методом резерфордовского обратного рассеяния |
| publisher |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| publishDate |
2016 |
| topic_facet |
Взаимодействия излучения и частиц с конденсированным веществом |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/112579 |
| citation_txt |
Определение толщины слоёв многослойных периодических покрытий методом резерфордовского обратного рассеяния / В.Н. Коломиец, И.Н. Кононенко, С.Н. Кравченко, М.И. Захарец, В.Е. Сторижко, В.И. Возный, А.Н. Бугай, А.Ю. Девизенко // Металлофизика и новейшие технологии. — 2016. — Т. 38, № 6. — С. 815-823. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
| series |
Металлофизика и новейшие технологии |
| work_keys_str_mv |
AT kolomiecvn opredelenietolŝinysloëvmnogoslojnyhperiodičeskihpokrytijmetodomrezerfordovskogoobratnogorasseâniâ AT kononenkoin opredelenietolŝinysloëvmnogoslojnyhperiodičeskihpokrytijmetodomrezerfordovskogoobratnogorasseâniâ AT kravčenkosn opredelenietolŝinysloëvmnogoslojnyhperiodičeskihpokrytijmetodomrezerfordovskogoobratnogorasseâniâ AT zaharecmi opredelenietolŝinysloëvmnogoslojnyhperiodičeskihpokrytijmetodomrezerfordovskogoobratnogorasseâniâ AT storižkove opredelenietolŝinysloëvmnogoslojnyhperiodičeskihpokrytijmetodomrezerfordovskogoobratnogorasseâniâ AT voznyjvi opredelenietolŝinysloëvmnogoslojnyhperiodičeskihpokrytijmetodomrezerfordovskogoobratnogorasseâniâ AT bugajan opredelenietolŝinysloëvmnogoslojnyhperiodičeskihpokrytijmetodomrezerfordovskogoobratnogorasseâniâ AT devizenkoaû opredelenietolŝinysloëvmnogoslojnyhperiodičeskihpokrytijmetodomrezerfordovskogoobratnogorasseâniâ |
| first_indexed |
2024-03-30T09:23:00Z |
| last_indexed |
2024-03-30T09:23:00Z |
| _version_ |
1796149900692422656 |