Magnetic field influence on the discharge parameters of two-stage gas-metal plasma source

The discharge parameters and vacuum regimes of the two-stage gas-metal plasma source are presented for three configurations of magnetic field. Distributions of deposited flows, current and voltage characteristics of the discharge, current characteristics for reflective electrodes and target are pr...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Видавець:Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Дата:2016
Автори: Shariy, S.V., Yuferov, V.B., Shvets, M.O., Tkachov, V.I., Katrechko, V.V.
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2016
Назва видання:Вопросы атомной науки и техники
Теми:
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/115449
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Цитувати:Magnetic field influence on the discharge parameters of two-stage gas-metal plasma source / S.V. Shariy, V.B. Yuferov, M.O. Shvets, V.I. Tkachov, V.V. Katrechko // Вопросы атомной науки и техники. — 2016. — № 6. — С. 191-194. — Бібліогр.: 4 назв. — англ.

Репозиторії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine