Адгезия толстых углеродных пленок, полученных электронно-лучевым испарением углерода

• Дата: 2015
• Автори: Курапов, Ю.А., Борецкий, В.В.
• Формат: Стаття
• Мова: Russian
• Опубліковано: Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України 2015
• Назва видання: Современная электрометаллургия
• Теми: Новые материалы
• Онлайн доступ: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/115551
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Адгезия толстых углеродных пленок, полученных электронно-лучевым испарением углерода / Ю.А. Курапов, В.В. Борецкий // Современная электрометаллургия. — 2015. — № 4 (121). — С. 47-51. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.

Изучена макрокартина формирования толстых углеродных покрытий, полученных с помощью отраженного парового потока углерода при испарении его через жидкую ванну вольфрама. Установлено, что толстые углеродные пленки, полученные электронно-лучевым испарением углерода, в диапазоне температур конденсации 100…500 ⁰С формируются в виде плоского углеродного материала, склонного к расслоению. Зафиксировано, что вследствие структурных особенностей формирования графитовых плоскостей при данных температурах, материал углеродной пленки склонен к сворачиванию в трубки в диапазоне температур 200…300 ⁰С. Показано, что только тонкие углеродные пленки (0,3…0,8 мкм) имеют адгезию с полированной поверхностью различных подложек (стекло, кремний, нержавеющая сталь) в исследуемом интервале температур. С увеличением толщины (0,8…5,0 мкм) уровень внутренних напряжений в материале из-за склонности его к сворачиванию в трубки, превышает уровень адгезии пленки к поверхности подложки. Поэтому при температурах 100…300 ⁰С пленка отслаивается и, осыпаясь, скручивается в трубки. Отмечено, что при температурах 300…450 ⁰С пленка опять частично удерживается на поверхности подложки, что свидетельствует о снижении уровня внутренних напряжений, срывающих пленку.