Сканирующий ионный гелиевый микроскоп
Описан опыт использования сканирующего гелиевого микроскопа ORION (Carl Zeiss) в исследованиях, проводимых в Междисциплинарном Ресурсном Центре по направлению «нанотехнологии» (Санкт-Петербург, Россия). Затронуты вопросы о формировании и стабильности гелиевого одноатомного источника, о процессах вза...
Збережено в:
| Дата: | 2012 |
|---|---|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Видавничий дім "Академперіодика" НАН України
2012
|
| Назва видання: | Наука та інновації |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/116085 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Сканирующий ионный гелиевый микроскоп / Ю.В. Петров // Наука та інновації. — 2012. — Т. 8, № 2. — С. 23-25. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-116085 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1160852017-04-21T03:02:25Z Сканирующий ионный гелиевый микроскоп Петров, Ю.В. Світ інновацій Описан опыт использования сканирующего гелиевого микроскопа ORION (Carl Zeiss) в исследованиях, проводимых в Междисциплинарном Ресурсном Центре по направлению «нанотехнологии» (Санкт-Петербург, Россия). Затронуты вопросы о формировании и стабильности гелиевого одноатомного источника, о процессах взаимодействия ионов гелия с исследуемым веществом; описаны возможности применения ионной гелиевой микроскопии и литографии. Описано досвід використання скануючого гелієвого мікроскопа ORION (Carl Zeiss) в дослідженнях, що проводяться в Міждисциплінарному Ресурсному Центрі за напрямком «нанотехнології» (С-Петербург, Росія). Порушені питання про формування та стабільність гелієвого одноатомного джерела, про процеси взаємодії іонів гелію з досліджуваною речовиною; описані можливості застосування іонної гелієвої мікроскопії та літографії. This article describes the experience of using helium microscope ORION (Carl Zeiss) at the Interdisciplinary Resource Center of «Nanotechnology» (St.Petersburg, Russia). Author discusses the formation and stability of helium single atom source, the processes of interaction of helium ions with the investigated substance, describes the possibility of applying helium ion microscopy and lithography. 2012 Article Сканирующий ионный гелиевый микроскоп / Ю.В. Петров // Наука та інновації. — 2012. — Т. 8, № 2. — С. 23-25. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 1815-2066 DOI: doi.org/10.15407/scin8.02.023 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/116085 ru Наука та інновації Видавничий дім "Академперіодика" НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Світ інновацій Світ інновацій |
| spellingShingle |
Світ інновацій Світ інновацій Петров, Ю.В. Сканирующий ионный гелиевый микроскоп Наука та інновації |
| description |
Описан опыт использования сканирующего гелиевого микроскопа ORION (Carl Zeiss) в исследованиях, проводимых в Междисциплинарном Ресурсном Центре по направлению «нанотехнологии» (Санкт-Петербург, Россия). Затронуты вопросы о формировании и стабильности гелиевого одноатомного источника, о процессах взаимодействия ионов гелия с исследуемым веществом; описаны возможности применения ионной гелиевой микроскопии и литографии. |
| format |
Article |
| author |
Петров, Ю.В. |
| author_facet |
Петров, Ю.В. |
| author_sort |
Петров, Ю.В. |
| title |
Сканирующий ионный гелиевый микроскоп |
| title_short |
Сканирующий ионный гелиевый микроскоп |
| title_full |
Сканирующий ионный гелиевый микроскоп |
| title_fullStr |
Сканирующий ионный гелиевый микроскоп |
| title_full_unstemmed |
Сканирующий ионный гелиевый микроскоп |
| title_sort |
сканирующий ионный гелиевый микроскоп |
| publisher |
Видавничий дім "Академперіодика" НАН України |
| publishDate |
2012 |
| topic_facet |
Світ інновацій |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/116085 |
| citation_txt |
Сканирующий ионный гелиевый микроскоп / Ю.В. Петров // Наука та інновації. — 2012. — Т. 8, № 2. — С. 23-25. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
| series |
Наука та інновації |
| work_keys_str_mv |
AT petrovûv skaniruûŝijionnyjgelievyjmikroskop |
| first_indexed |
2023-10-18T20:26:51Z |
| last_indexed |
2023-10-18T20:26:51Z |
| _version_ |
1796150219587452928 |