2025-02-23T11:15:06-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-116699%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T11:15:06-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-116699%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T11:15:06-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T11:15:06-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Химико-механическое полирование кристаллов твердых растворов на основе теллуридов висмута и сурьмы бромвыделяющими композициями

Химико-механическое полирование кристаллов твердых растворов на основе теллуридов висмута и сурьмы бромвыделяющими композициями

Исследован процесс химико-механического полирования (ХМП) поверхности полупроводниковых кристаллов Ві₂Te₃ и твердых растворов n-(Bi₂Te₃)₀,₉ (Sb₂Te₃)₀,₀₅(Sb₂Se₃)₀,₀₅ и p-(Bi₂Te₃)₀,₂₅(Sb₂Te₃)₀,₇₂(Sb₂Se₃)₀,₀₃ бромвыделяющими травителями. Изучены зависимости скоростей ХМП от разбавления базового полирую...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Павлович, И.И., Томашик, В.Н., Томашик, З.Ф., Стратийчук, И.Б., Копыл, А.И.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2011
Series:Оптоэлектроника и полупроводниковая техника
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/116699
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
id irk-123456789-116699
record_format dspace
spelling irk-123456789-1166992017-05-14T03:02:32Z Химико-механическое полирование кристаллов твердых растворов на основе теллуридов висмута и сурьмы бромвыделяющими композициями Павлович, И.И. Томашик, В.Н. Томашик, З.Ф. Стратийчук, И.Б. Копыл, А.И. Исследован процесс химико-механического полирования (ХМП) поверхности полупроводниковых кристаллов Ві₂Te₃ и твердых растворов n-(Bi₂Te₃)₀,₉ (Sb₂Te₃)₀,₀₅(Sb₂Se₃)₀,₀₅ и p-(Bi₂Te₃)₀,₂₅(Sb₂Te₃)₀,₇₂(Sb₂Se₃)₀,₀₃ бромвыделяющими травителями. Изучены зависимости скоростей ХМП от разбавления базового полирующего травителя органическими компонентами, а также состояние поверхности после полирования. Оптимизированы составы полирующих смесей и режимы проведения операций для формирования высококачественной полированной поверхности. The process of chemical-mechanical polishing (CMP) of the surface of semiconductor crystals of Bi₂Te₃, n-(Bi₂Te₃)₀,₉(Sb₂Te₃)₀,₀₅(Sb₂Se₃)₀,₀₅ and p-(Bi₂Te₃)₀,₂₅(Sb₂Te₃)₀,₇₂ (Sb₂Se₃)₀,₀₃ by etchants, which release bromine, was investigated. The dependence of CMP rate on dissolution of basic polishing etchant by organic compounds and the state of the surface after polishing was studied. The compositions of polishing compounds and modes of operation for the formation of high-quality polished surface were optimized. 2011 Article Химико-механическое полирование кристаллов твердых растворов на основе теллуридов висмута и сурьмы бромвыделяющими композициями / И.И. Павлович, В.Н. Томашик, З.Ф. Томашик, И.Б. Стратийчук, А.И. Копыл // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2011. — Вип. 46. — С. 68-73. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. 0233-7577 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/116699 621.794.4 : 546.87'24 ru Оптоэлектроника и полупроводниковая техника Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
description Исследован процесс химико-механического полирования (ХМП) поверхности полупроводниковых кристаллов Ві₂Te₃ и твердых растворов n-(Bi₂Te₃)₀,₉ (Sb₂Te₃)₀,₀₅(Sb₂Se₃)₀,₀₅ и p-(Bi₂Te₃)₀,₂₅(Sb₂Te₃)₀,₇₂(Sb₂Se₃)₀,₀₃ бромвыделяющими травителями. Изучены зависимости скоростей ХМП от разбавления базового полирующего травителя органическими компонентами, а также состояние поверхности после полирования. Оптимизированы составы полирующих смесей и режимы проведения операций для формирования высококачественной полированной поверхности.
format Article
author Павлович, И.И.
Томашик, В.Н.
Томашик, З.Ф.
Стратийчук, И.Б.
Копыл, А.И.
spellingShingle Павлович, И.И.
Томашик, В.Н.
Томашик, З.Ф.
Стратийчук, И.Б.
Копыл, А.И.
Химико-механическое полирование кристаллов твердых растворов на основе теллуридов висмута и сурьмы бромвыделяющими композициями
Оптоэлектроника и полупроводниковая техника
author_facet Павлович, И.И.
Томашик, В.Н.
Томашик, З.Ф.
Стратийчук, И.Б.
Копыл, А.И.
author_sort Павлович, И.И.
title Химико-механическое полирование кристаллов твердых растворов на основе теллуридов висмута и сурьмы бромвыделяющими композициями
title_short Химико-механическое полирование кристаллов твердых растворов на основе теллуридов висмута и сурьмы бромвыделяющими композициями
title_full Химико-механическое полирование кристаллов твердых растворов на основе теллуридов висмута и сурьмы бромвыделяющими композициями
title_fullStr Химико-механическое полирование кристаллов твердых растворов на основе теллуридов висмута и сурьмы бромвыделяющими композициями
title_full_unstemmed Химико-механическое полирование кристаллов твердых растворов на основе теллуридов висмута и сурьмы бромвыделяющими композициями
title_sort химико-механическое полирование кристаллов твердых растворов на основе теллуридов висмута и сурьмы бромвыделяющими композициями
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 2011
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/116699
citation_txt Химико-механическое полирование кристаллов твердых растворов на основе теллуридов висмута и сурьмы бромвыделяющими композициями / И.И. Павлович, В.Н. Томашик, З.Ф. Томашик, И.Б. Стратийчук, А.И. Копыл // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2011. — Вип. 46. — С. 68-73. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.
series Оптоэлектроника и полупроводниковая техника
work_keys_str_mv AT pavlovičii himikomehaničeskoepolirovaniekristallovtverdyhrastvorovnaosnovetelluridovvismutaisurʹmybromvydelâûŝimikompoziciâmi
AT tomašikvn himikomehaničeskoepolirovaniekristallovtverdyhrastvorovnaosnovetelluridovvismutaisurʹmybromvydelâûŝimikompoziciâmi
AT tomašikzf himikomehaničeskoepolirovaniekristallovtverdyhrastvorovnaosnovetelluridovvismutaisurʹmybromvydelâûŝimikompoziciâmi
AT stratijčukib himikomehaničeskoepolirovaniekristallovtverdyhrastvorovnaosnovetelluridovvismutaisurʹmybromvydelâûŝimikompoziciâmi
AT kopylai himikomehaničeskoepolirovaniekristallovtverdyhrastvorovnaosnovetelluridovvismutaisurʹmybromvydelâûŝimikompoziciâmi
first_indexed 2023-10-18T20:28:10Z
last_indexed 2023-10-18T20:28:10Z
_version_ 1796150277239209984

Similar Items