2025-02-23T14:02:51-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-116715%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T14:02:51-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-116715%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T14:02:51-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T14:02:51-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Інтерференційна фотолітографія на основі ефекту фототравлення в тонких шарах халькогенідних стекол

Інтерференційна фотолітографія на основі ефекту фототравлення в тонких шарах халькогенідних стекол

Виявлено ефект фотостимульованого підвищення розчинності відпалених плівок халькогенідних скловидних напівпровідників (ХСН) в селективних протравлювачах на основі амінів. Встановлено, що швидкість травлення підвищується при збільшенні інтенсивності опромінення, а її спектральна залежність корелює з...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Данько, В.А., Індутний, І.З., Минько, В.І., Шепелявий, П.Є., Литвин, О.С., Луканюк, М.В.
Format: Article
Language:Ukrainian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2012
Series:Оптоэлектроника и полупроводниковая техника
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/116715
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!

Similar Items

2025-02-23T14:02:51-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&rows=40&rows=5&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-116715%22&qt=morelikethis
2025-02-23T14:02:51-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&rows=40&rows=5&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-116715%22&qt=morelikethis
2025-02-23T14:02:51-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T14:02:51-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response

Similar Items