Деградация контакта Шоттки при термическом отжиге

Деградация контакта Шоттки при термическом отжиге

Исследован процесс деградации контакта Шоттки NbN–GaAs методом измерения спектральных характеристик латеральной фотоЭДС. Результаты позволяют установить закономерную связь между формой спектральных кривых, концентрацией азота в пленке NbN и температурой отжига образцов. Показано, что после отжига пр...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2012
Автори: Венгер, Е.Ф., Готовы, И., Шеховцов, Л.В.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2012
Назва видання:Оптоэлектроника и полупроводниковая техника
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/116719
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Деградация контакта Шоттки при термическом отжиге / Е.Ф. Венгер, И. Готовы, Л.В. Шеховцов // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2012. — Вип. 47. — С. 77-83. — Бібліогр.: 19 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-116719
record_format dspace
spelling irk-123456789-1167192017-05-15T03:02:41Z Деградация контакта Шоттки при термическом отжиге Венгер, Е.Ф. Готовы, И. Шеховцов, Л.В. Исследован процесс деградации контакта Шоттки NbN–GaAs методом измерения спектральных характеристик латеральной фотоЭДС. Результаты позволяют установить закономерную связь между формой спектральных кривых, концентрацией азота в пленке NbN и температурой отжига образцов. Показано, что после отжига при Т = 850 °С спектральные зависимости всех исследованных образцов с содержанием азота в пленке NbN от 2 до 20 % имеют одинаковую форму с двумя максимумами противоположного знака, что указывает на формирование контакта Шоттки между NbN и GaAs. Отжиг при Т = 900 °С приводит к изменению формы спектральной характеристики для образцов с концентрацией азота в пленке NbN 15 и 20 %, формированию проводящего переходного слоя в области истощения контакта Шоттки и ухудшению его электрофизических характеристик. Вследствие отжига при Т = 950 °С происходит деградация контакта Шоттки для всего исследованного диапазона концентрации азота в пленке NbN. We studied the degradation process in NbN-GaAs Schottky contact by measuring spectral characteristics of lateral emf. The results obtained made it possible to establish a link between the spectrum form, nitrogen concentration in the NbN film and annealing temperature. After thermal annealing at T = 850 °C all the samples studied, with nitrogen content in the NbN film from 2 up to 20 %, demonstrate spectra of the same form, with two peaks of opposite signs. This indicates formation of Schottky contact between NbN and GaAs. Annealing at T = 900 °C results in a change of spectral characteristic form for the samples with nitrogen concentration in the NbN film of 15 an 20 % as well as formation of a conducting transition layer in the depletion region of Schottky contact and deterioration of its electrical characteristics. Annealing at T = 950 °C leads to Schottky contact degradation for the whole range of nitrogen concentration in the NbN film. 2012 Article Деградация контакта Шоттки при термическом отжиге / Е.Ф. Венгер, И. Готовы, Л.В. Шеховцов // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2012. — Вип. 47. — С. 77-83. — Бібліогр.: 19 назв. — рос. 0233-7577 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/116719 535.215.6 ru Оптоэлектроника и полупроводниковая техника Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
description Исследован процесс деградации контакта Шоттки NbN–GaAs методом измерения спектральных характеристик латеральной фотоЭДС. Результаты позволяют установить закономерную связь между формой спектральных кривых, концентрацией азота в пленке NbN и температурой отжига образцов. Показано, что после отжига при Т = 850 °С спектральные зависимости всех исследованных образцов с содержанием азота в пленке NbN от 2 до 20 % имеют одинаковую форму с двумя максимумами противоположного знака, что указывает на формирование контакта Шоттки между NbN и GaAs. Отжиг при Т = 900 °С приводит к изменению формы спектральной характеристики для образцов с концентрацией азота в пленке NbN 15 и 20 %, формированию проводящего переходного слоя в области истощения контакта Шоттки и ухудшению его электрофизических характеристик. Вследствие отжига при Т = 950 °С происходит деградация контакта Шоттки для всего исследованного диапазона концентрации азота в пленке NbN.
format Article
author Венгер, Е.Ф.
Готовы, И.
Шеховцов, Л.В.
spellingShingle Венгер, Е.Ф.
Готовы, И.
Шеховцов, Л.В.
Деградация контакта Шоттки при термическом отжиге
Оптоэлектроника и полупроводниковая техника
author_facet Венгер, Е.Ф.
Готовы, И.
Шеховцов, Л.В.
author_sort Венгер, Е.Ф.
title Деградация контакта Шоттки при термическом отжиге
title_short Деградация контакта Шоттки при термическом отжиге
title_full Деградация контакта Шоттки при термическом отжиге
title_fullStr Деградация контакта Шоттки при термическом отжиге
title_full_unstemmed Деградация контакта Шоттки при термическом отжиге
title_sort деградация контакта шоттки при термическом отжиге
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 2012
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/116719
citation_txt Деградация контакта Шоттки при термическом отжиге / Е.Ф. Венгер, И. Готовы, Л.В. Шеховцов // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2012. — Вип. 47. — С. 77-83. — Бібліогр.: 19 назв. — рос.
series Оптоэлектроника и полупроводниковая техника
work_keys_str_mv AT vengeref degradaciâkontaktašottkipritermičeskomotžige
AT gotovyi degradaciâkontaktašottkipritermičeskomotžige
AT šehovcovlv degradaciâkontaktašottkipritermičeskomotžige
first_indexed 2023-10-18T20:28:13Z
last_indexed 2023-10-18T20:28:13Z
_version_ 1796150279365722112

Схожі ресурси