Методи створення і властивості омічних контактів до фосфіду індію (огляд)
Систематизовано результати дослідження питомого опору омічних контактів до фосфіду індію. Розглянуто методи формування, матеріали омічних контактів, міжфазні взаємодії у процесі термічного відпалу та вказано оптимальну температуру відпалу для кожного з розглянутих типів металізації. На основі провед...
Збережено в:
| Дата: | 2015 |
|---|---|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2015
|
| Назва видання: | Оптоэлектроника и полупроводниковая техника |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/116751 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Методи створення і властивості омічних контактів до фосфіду індію (огляд) / Я.Я. Кудрик // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2015. — Вип. 50. — С. 58-72. — Бібліогр.: 11 назв. — укр. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-116751 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1167512017-05-15T03:02:36Z Методи створення і властивості омічних контактів до фосфіду індію (огляд) Кудрик, Я.Я. Систематизовано результати дослідження питомого опору омічних контактів до фосфіду індію. Розглянуто методи формування, матеріали омічних контактів, міжфазні взаємодії у процесі термічного відпалу та вказано оптимальну температуру відпалу для кожного з розглянутих типів металізації. На основі проведеного аналізу дано рекомендації щодо оптимізації шарових структур омічного контакту в залежності від області його використання і необхідних параметрів. The investigation results of specific resistivity of ohmic contacts to InP have been systematized. The comparison of different formation methods, materials to the ohmic contacts, interfacial interactions during thermal annealing have been considered and the optimal annealing temperature for each type of considered metallization has been obtained. Being based on the performed analysis, recommendations have been given to optimize the ohmic contact layer structures, depending on the area of their application and required parameters. 2015 Article Методи створення і властивості омічних контактів до фосфіду індію (огляд) / Я.Я. Кудрик // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2015. — Вип. 50. — С. 58-72. — Бібліогр.: 11 назв. — укр. 0233-7577 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/116751 621.382 uk Оптоэлектроника и полупроводниковая техника Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Ukrainian |
| description |
Систематизовано результати дослідження питомого опору омічних контактів до фосфіду індію. Розглянуто методи формування, матеріали омічних контактів, міжфазні взаємодії у процесі термічного відпалу та вказано оптимальну температуру відпалу для кожного з розглянутих типів металізації. На основі проведеного аналізу дано рекомендації щодо оптимізації шарових структур омічного контакту в залежності від області його використання і необхідних параметрів. |
| format |
Article |
| author |
Кудрик, Я.Я. |
| spellingShingle |
Кудрик, Я.Я. Методи створення і властивості омічних контактів до фосфіду індію (огляд) Оптоэлектроника и полупроводниковая техника |
| author_facet |
Кудрик, Я.Я. |
| author_sort |
Кудрик, Я.Я. |
| title |
Методи створення і властивості омічних контактів до фосфіду індію (огляд) |
| title_short |
Методи створення і властивості омічних контактів до фосфіду індію (огляд) |
| title_full |
Методи створення і властивості омічних контактів до фосфіду індію (огляд) |
| title_fullStr |
Методи створення і властивості омічних контактів до фосфіду індію (огляд) |
| title_full_unstemmed |
Методи створення і властивості омічних контактів до фосфіду індію (огляд) |
| title_sort |
методи створення і властивості омічних контактів до фосфіду індію (огляд) |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2015 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/116751 |
| citation_txt |
Методи створення і властивості омічних контактів до фосфіду індію (огляд) / Я.Я. Кудрик // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2015. — Вип. 50. — С. 58-72. — Бібліогр.: 11 назв. — укр. |
| series |
Оптоэлектроника и полупроводниковая техника |
| work_keys_str_mv |
AT kudrikââ metodistvorennâívlastivostíomíčnihkontaktívdofosfíduíndíûoglâd |
| first_indexed |
2023-10-18T20:28:17Z |
| last_indexed |
2023-10-18T20:28:17Z |
| _version_ |
1796150282346823680 |