Структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал W-Si, изготовленных методом магнетронного распыления

Структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал W-Si, изготовленных методом магнетронного распыления

Методами рентгеновской дифрактометрии и рентгеновской рефлектометрии (λ = 0,154 нм) исследованы структура и фазовый состав многослойных рентгеновских зеркал (МРЗ) W/Si, изготовленных методом прямоточного магнетронного распыления. Показано, что в результате взаимодействия компонентов в многослойной с...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2016
Автори: Першин, Ю.П., Девизенко, А.Ю., Мамон, В.В., Чумак, В.С., Кондратенко, В.В.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2016
Назва видання:Журнал физики и инженерии поверхности
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/116806
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал W-Si, изготовленных методом магнетронного распыления / Ю.П. Першин, А.Ю. Девизенко, В.В. Мамон, В.С. Чумак, В.В. Кондратенко // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2016. — Т. 1, № 1. — С. 27-41. — Бібліогр.: 15 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-116806
record_format dspace
spelling irk-123456789-1168062017-05-17T03:02:31Z Структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал W-Si, изготовленных методом магнетронного распыления Першин, Ю.П. Девизенко, А.Ю. Мамон, В.В. Чумак, В.С. Кондратенко, В.В. Методами рентгеновской дифрактометрии и рентгеновской рефлектометрии (λ = 0,154 нм) исследованы структура и фазовый состав многослойных рентгеновских зеркал (МРЗ) W/Si, изготовленных методом прямоточного магнетронного распыления. Показано, что в результате взаимодействия компонентов в многослойной системе на межфазных границах формируются асимметричные силицидные прослойки как по составу, так и по толщине. Сделаны оценки плотности каждого из слоев МРЗ W/Si. Предложена модель строения аморфных МРЗ W/Si. Методами рентгенівської дифрактометрії та рентгенівської рефрактометрії (λ = 0,154 нм) досліджені структура та фазовий склад багатошарових рентгенівських дзеркал (БРД) W/Si, виготовлених методом магнетронного розпилення. Встановлено, що в результаті взаємодії компонентів у багатошаровій системі на міжфазних межах формуються асиметричні силіцидні прошарки неоднакового складу та товщини. Зроблена оцінка густини кожного шару БРД W/Si. Запропонована модель будови БРД W/Si. By methods of X-ray diffractometry and relectometry (λ = 0.154 nm) the structure and phase composition of W/Si multilayer X-ray mirrors (MXMs) deposited with DC magnetron sputtering are studied. It is shown that as a result of component interaction during the deposition process asymmetric silicide interlayers are formed at interfaces of multilayer system. The adjacent interlayers within the MXM period differ both by composition and thickness. The densities of each layer are estimated. Model of W/Si MXM construction is proposed. 2016 Article Структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал W-Si, изготовленных методом магнетронного распыления / Ю.П. Першин, А.Ю. Девизенко, В.В. Мамон, В.С. Чумак, В.В. Кондратенко // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2016. — Т. 1, № 1. — С. 27-41. — Бібліогр.: 15 назв. — рос. 2519-2485 PACS: 61.05.cm, 61.43.Dq, 68.65.Ac, 41.50.+h, 07.85.Fv http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/116806 523.9-739 : 535.34 : 321.386.8 : 681.7.062.12 ru Журнал физики и инженерии поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
description Методами рентгеновской дифрактометрии и рентгеновской рефлектометрии (λ = 0,154 нм) исследованы структура и фазовый состав многослойных рентгеновских зеркал (МРЗ) W/Si, изготовленных методом прямоточного магнетронного распыления. Показано, что в результате взаимодействия компонентов в многослойной системе на межфазных границах формируются асимметричные силицидные прослойки как по составу, так и по толщине. Сделаны оценки плотности каждого из слоев МРЗ W/Si. Предложена модель строения аморфных МРЗ W/Si.
format Article
author Першин, Ю.П.
Девизенко, А.Ю.
Мамон, В.В.
Чумак, В.С.
Кондратенко, В.В.
spellingShingle Першин, Ю.П.
Девизенко, А.Ю.
Мамон, В.В.
Чумак, В.С.
Кондратенко, В.В.
Структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал W-Si, изготовленных методом магнетронного распыления
Журнал физики и инженерии поверхности
author_facet Першин, Ю.П.
Девизенко, А.Ю.
Мамон, В.В.
Чумак, В.С.
Кондратенко, В.В.
author_sort Першин, Ю.П.
title Структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал W-Si, изготовленных методом магнетронного распыления
title_short Структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал W-Si, изготовленных методом магнетронного распыления
title_full Структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал W-Si, изготовленных методом магнетронного распыления
title_fullStr Структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал W-Si, изготовленных методом магнетронного распыления
title_full_unstemmed Структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал W-Si, изготовленных методом магнетронного распыления
title_sort структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал w-si, изготовленных методом магнетронного распыления
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
publishDate 2016
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/116806
citation_txt Структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал W-Si, изготовленных методом магнетронного распыления / Ю.П. Першин, А.Ю. Девизенко, В.В. Мамон, В.С. Чумак, В.В. Кондратенко // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2016. — Т. 1, № 1. — С. 27-41. — Бібліогр.: 15 назв. — рос.
series Журнал физики и инженерии поверхности
work_keys_str_mv AT peršinûp strukturafazovyjsostavimodelʹrostaamorfnyhmnogoslojnyhrentgenovskihzerkalwsiizgotovlennyhmetodommagnetronnogoraspyleniâ
AT devizenkoaû strukturafazovyjsostavimodelʹrostaamorfnyhmnogoslojnyhrentgenovskihzerkalwsiizgotovlennyhmetodommagnetronnogoraspyleniâ
AT mamonvv strukturafazovyjsostavimodelʹrostaamorfnyhmnogoslojnyhrentgenovskihzerkalwsiizgotovlennyhmetodommagnetronnogoraspyleniâ
AT čumakvs strukturafazovyjsostavimodelʹrostaamorfnyhmnogoslojnyhrentgenovskihzerkalwsiizgotovlennyhmetodommagnetronnogoraspyleniâ
AT kondratenkovv strukturafazovyjsostavimodelʹrostaamorfnyhmnogoslojnyhrentgenovskihzerkalwsiizgotovlennyhmetodommagnetronnogoraspyleniâ
first_indexed 2023-10-18T20:28:25Z
last_indexed 2023-10-18T20:28:25Z
_version_ 1796150287694561280

Схожі ресурси