2025-02-23T13:56:55-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-116806%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T13:56:55-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-116806%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T13:56:55-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T13:56:55-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал W-Si, изготовленных методом магнетронного распыления

Структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал W-Si, изготовленных методом магнетронного распыления

Методами рентгеновской дифрактометрии и рентгеновской рефлектометрии (λ = 0,154 нм) исследованы структура и фазовый состав многослойных рентгеновских зеркал (МРЗ) W/Si, изготовленных методом прямоточного магнетронного распыления. Показано, что в результате взаимодействия компонентов в многослойной с...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Першин, Ю.П., Девизенко, А.Ю., Мамон, В.В., Чумак, В.С., Кондратенко, В.В.
Format: Article
Language:Russian
Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2016
Series:Журнал физики и инженерии поверхности
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/116806
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!

Internet

http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/116806

Similar Items