Структурно-фазовое состояние поверхности при высокодозной ионной имплантации титана в монокристаллы Cu
Приведены результаты экспериментальных исследований профилей раздела концентрации внедренных ионов и попутных примесей по глубине поверхности монокристаллов меди в результате высокодозной имплантации ионами титана. Установлено, что в результате воздействия ионами титана вблизи поверхности формируютс...
Збережено в:
| Дата: | 2016 |
|---|---|
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2016
|
| Назва видання: | Журнал физики и инженерии поверхности |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/116864 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Структурно-фазовое состояние поверхности при высокодозной ионной имплантации титана в монокристаллы Cu / А.Д. Погребняк, Аид Куссей Джаруллах // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2016. — Т. 1, № 1. — С. 57-61. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-116864 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1168642017-05-18T03:02:06Z Структурно-фазовое состояние поверхности при высокодозной ионной имплантации титана в монокристаллы Cu Погребняк, А.Д. Аид Куссей Джаруллах Приведены результаты экспериментальных исследований профилей раздела концентрации внедренных ионов и попутных примесей по глубине поверхности монокристаллов меди в результате высокодозной имплантации ионами титана. Установлено, что в результате воздействия ионами титана вблизи поверхности формируются тонкие аморфные углеродные и окисленные пленки, а также карбид титана. Наведені результати експериментальних досліджень профілів розділу концентрації впроваджених іонів і попутних домішок за глибиною поверхні монокристалів міді в результаті високодозної імплантації іонами титану. Встановлено, що в результаті впливу іонами титану поблизу поверхні формуються тонкі аморфні вуглецеві і окислені плівки, а також карбід титану. The results of experimental research of the concentration interface profiles of the implanted ions and the co product impurities over the depth of the surface of copper single crystals as a result of high-dose implantation of titanium ions are shown. It is found that thin amorphous carbon and oxidized films and titanium carbide are formed close to the surface as a result of titanium ions impact. 2016 Article Структурно-фазовое состояние поверхности при высокодозной ионной имплантации титана в монокристаллы Cu / А.Д. Погребняк, Аид Куссей Джаруллах // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2016. — Т. 1, № 1. — С. 57-61. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. 2519-2485 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/116864 539.121.8.04 ru Журнал физики и инженерии поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| description |
Приведены результаты экспериментальных исследований профилей раздела концентрации внедренных ионов и попутных примесей по глубине поверхности монокристаллов меди в результате высокодозной имплантации ионами титана. Установлено, что в результате воздействия ионами титана вблизи поверхности формируются тонкие аморфные углеродные и окисленные пленки, а также карбид титана. |
| format |
Article |
| author |
Погребняк, А.Д. Аид Куссей Джаруллах |
| spellingShingle |
Погребняк, А.Д. Аид Куссей Джаруллах Структурно-фазовое состояние поверхности при высокодозной ионной имплантации титана в монокристаллы Cu Журнал физики и инженерии поверхности |
| author_facet |
Погребняк, А.Д. Аид Куссей Джаруллах |
| author_sort |
Погребняк, А.Д. |
| title |
Структурно-фазовое состояние поверхности при высокодозной ионной имплантации титана в монокристаллы Cu |
| title_short |
Структурно-фазовое состояние поверхности при высокодозной ионной имплантации титана в монокристаллы Cu |
| title_full |
Структурно-фазовое состояние поверхности при высокодозной ионной имплантации титана в монокристаллы Cu |
| title_fullStr |
Структурно-фазовое состояние поверхности при высокодозной ионной имплантации титана в монокристаллы Cu |
| title_full_unstemmed |
Структурно-фазовое состояние поверхности при высокодозной ионной имплантации титана в монокристаллы Cu |
| title_sort |
структурно-фазовое состояние поверхности при высокодозной ионной имплантации титана в монокристаллы cu |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| publishDate |
2016 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/116864 |
| citation_txt |
Структурно-фазовое состояние поверхности при высокодозной ионной имплантации титана в монокристаллы Cu / А.Д. Погребняк, Аид Куссей Джаруллах // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2016. — Т. 1, № 1. — С. 57-61. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
| series |
Журнал физики и инженерии поверхности |
| work_keys_str_mv |
AT pogrebnâkad strukturnofazovoesostoâniepoverhnostiprivysokodoznojionnojimplantaciititanavmonokristallycu AT aidkussejdžarullah strukturnofazovoesostoâniepoverhnostiprivysokodoznojionnojimplantaciititanavmonokristallycu |
| first_indexed |
2024-03-30T09:35:07Z |
| last_indexed |
2024-03-30T09:35:07Z |
| _version_ |
1796150293565538304 |