Влияние угла падения пучка ионов на внутренние напряжения в осаждаемом покрытии
В модели нелокального термоупругого пика низкоэнергетического иона получена формула для внутренних напряжений в покрытии, осаждаемом из наклонного пучка ионов в режимах постоянного и импульсного потенциала смещения. Предполагается, что деформация при ионной бомбардировке определяется плотностью дефе...
Збережено в:
Дата: | 2016 |
---|---|
Автори: | , , |
Формат: | Стаття |
Мова: | Russian |
Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2016
|
Назва видання: | Журнал физики и инженерии поверхности |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/117055 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Цитувати: | Влияние угла падения пучка ионов на внутренние напряжения в осаждаемом покрытии / А.И. Калиниченко, С.С. Перепёлкин, В.Е. Стрельницкий // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2016. — Т. 1, № 4. — С. 338-345. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineРезюме: | В модели нелокального термоупругого пика низкоэнергетического иона получена формула для внутренних напряжений в покрытии, осаждаемом из наклонного пучка ионов в режимах постоянного и импульсного потенциала смещения. Предполагается, что деформация при ионной бомбардировке определяется плотностью дефектов, порождаемых первичным ионом, за вычетом дефектов, удаляемых в процессе ионного распыления. Проведен расчет напряжений в TiN покрытии, осаждаемом из потока ионов Ti в режиме импульсного потенциала при различных углах падения ионов. Показано, что напряжения при углах падения α ≠ 0 могут быть как меньше, так и больше напряжений, возникающих при нормальном падении ионов, в зависимости от величины потенциала. Установлено немонотонное поведение внутренних напряжений с возрастанием угла падения. |
---|