Влияние угла падения пучка ионов на внутренние напряжения в осаждаемом покрытии

В модели нелокального термоупругого пика низкоэнергетического иона получена формула для внутренних напряжений в покрытии, осаждаемом из наклонного пучка ионов в режимах постоянного и импульсного потенциала смещения. Предполагается, что деформация при ионной бомбардировке определяется плотностью дефе...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2016
Автори:	Калиниченко, А.И., Перепёлкин, С.С., Стрельницкий, В.Е.
Формат:	Стаття
Мова:	Russian
Опубліковано:	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2016
Назва видання:	Журнал физики и инженерии поверхности
Онлайн доступ:	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/117055
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Влияние угла падения пучка ионов на внутренние напряжения в осаждаемом покрытии / А.И. Калиниченко, С.С. Перепёлкин, В.Е. Стрельницкий // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2016. — Т. 1, № 4. — С. 338-345. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	irk-123456789-117055
record_format	dspace
spelling	irk-123456789-1170552017-05-20T03:03:16Z Влияние угла падения пучка ионов на внутренние напряжения в осаждаемом покрытии Калиниченко, А.И. Перепёлкин, С.С. Стрельницкий, В.Е. В модели нелокального термоупругого пика низкоэнергетического иона получена формула для внутренних напряжений в покрытии, осаждаемом из наклонного пучка ионов в режимах постоянного и импульсного потенциала смещения. Предполагается, что деформация при ионной бомбардировке определяется плотностью дефектов, порождаемых первичным ионом, за вычетом дефектов, удаляемых в процессе ионного распыления. Проведен расчет напряжений в TiN покрытии, осаждаемом из потока ионов Ti в режиме импульсного потенциала при различных углах падения ионов. Показано, что напряжения при углах падения α ≠ 0 могут быть как меньше, так и больше напряжений, возникающих при нормальном падении ионов, в зависимости от величины потенциала. Установлено немонотонное поведение внутренних напряжений с возрастанием угла падения. У моделі нелокального термопружного піка низькоенергетичного іона отримана формула для внутрішніх напружень в покритті, що осаджується з похилого пучка іонів у режимах постійного та імпульсного потенціалу. Припускається, що деформація при іонному бомбардуванні визначається щільністю дефектів, які породжуються первинним іоном, за виключенням дефектів, які видаляються в процесі іонного розпилення. Проведено розрахунок напружень в TiN покритті, що осаджується з потоку іонів Ti в режимі імпульсного потенціалу при різних кутах падіння іонів. Показано, що напруження при кутах падіння α ≠ 0 можуть бути як менше, так і більше напружень, що виникають при нормальному падінні іонів в залежності від величини потенціалу. Встановлено немонотонне поводження внутрішніх напружень зі зростанням кута падіння. In the model of the nonlocal thermoelastic peak of low energy ion, formula for intrinsic stress in the coating deposited from an inclined beam of ions in the modes of continuous and pulsed bias potential is obtained. It is shown that deformation of the coating by ion bombardment depends on the density of defects generated by primary ion minus those defects which are removed in the sputtering process. With the help of obtained formula the stress calculation is carried out for TiN coating deposited from beam of Ti ions in the pulse potential mode for different incident angles. Calculation shows that stresses at incident angles α ≠ 0 can be both less and more than stress arising at normal incidence of the ions, depending on the bias potential. Non-monotonic behavior of intrinsic stress with incidence angle increasing is established 2016 Article Влияние угла падения пучка ионов на внутренние напряжения в осаждаемом покрытии / А.И. Калиниченко, С.С. Перепёлкин, В.Е. Стрельницкий // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2016. — Т. 1, № 4. — С. 338-345. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 2519-2485 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/117055 539.21: 621.793 ru Журнал физики и инженерии поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
language	Russian
description	В модели нелокального термоупругого пика низкоэнергетического иона получена формула для внутренних напряжений в покрытии, осаждаемом из наклонного пучка ионов в режимах постоянного и импульсного потенциала смещения. Предполагается, что деформация при ионной бомбардировке определяется плотностью дефектов, порождаемых первичным ионом, за вычетом дефектов, удаляемых в процессе ионного распыления. Проведен расчет напряжений в TiN покрытии, осаждаемом из потока ионов Ti в режиме импульсного потенциала при различных углах падения ионов. Показано, что напряжения при углах падения α ≠ 0 могут быть как меньше, так и больше напряжений, возникающих при нормальном падении ионов, в зависимости от величины потенциала. Установлено немонотонное поведение внутренних напряжений с возрастанием угла падения.
format	Article
author	Калиниченко, А.И. Перепёлкин, С.С. Стрельницкий, В.Е.
spellingShingle	Калиниченко, А.И. Перепёлкин, С.С. Стрельницкий, В.Е. Влияние угла падения пучка ионов на внутренние напряжения в осаждаемом покрытии Журнал физики и инженерии поверхности
author_facet	Калиниченко, А.И. Перепёлкин, С.С. Стрельницкий, В.Е.
author_sort	Калиниченко, А.И.
title	Влияние угла падения пучка ионов на внутренние напряжения в осаждаемом покрытии
title_short	Влияние угла падения пучка ионов на внутренние напряжения в осаждаемом покрытии
title_full	Влияние угла падения пучка ионов на внутренние напряжения в осаждаемом покрытии
title_fullStr	Влияние угла падения пучка ионов на внутренние напряжения в осаждаемом покрытии
title_full_unstemmed	Влияние угла падения пучка ионов на внутренние напряжения в осаждаемом покрытии
title_sort	влияние угла падения пучка ионов на внутренние напряжения в осаждаемом покрытии
publisher	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
publishDate	2016
url	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/117055
citation_txt	Влияние угла падения пучка ионов на внутренние напряжения в осаждаемом покрытии / А.И. Калиниченко, С.С. Перепёлкин, В.Е. Стрельницкий // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2016. — Т. 1, № 4. — С. 338-345. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.
series	Журнал физики и инженерии поверхности
work_keys_str_mv	AT kaliničenkoai vliânieuglapadeniâpučkaionovnavnutrennienaprâženiâvosaždaemompokrytii AT perepëlkinss vliânieuglapadeniâpučkaionovnavnutrennienaprâženiâvosaždaemompokrytii AT strelʹnickijve vliânieuglapadeniâpučkaionovnavnutrennienaprâženiâvosaždaemompokrytii
first_indexed	2023-10-18T20:28:55Z
last_indexed	2023-10-18T20:28:55Z
_version_	1796150313811443712

Влияние угла падения пучка ионов на внутренние напряжения в осаждаемом покрытии

Репозитарії

Схожі ресурси