2025-02-23T18:02:02-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-117055%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T18:02:02-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-117055%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T18:02:02-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T18:02:02-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response

Влияние угла падения пучка ионов на внутренние напряжения в осаждаемом покрытии

В модели нелокального термоупругого пика низкоэнергетического иона получена формула для внутренних напряжений в покрытии, осаждаемом из наклонного пучка ионов в режимах постоянного и импульсного потенциала смещения. Предполагается, что деформация при ионной бомбардировке определяется плотностью дефе...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Калиниченко, А.И., Перепёлкин, С.С., Стрельницкий, В.Е.
Format: Article
Language:Russian
Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2016
Series:Журнал физики и инженерии поверхности
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/117055
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!